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RF`.xQ26= 摘要 )%`c_FL@N= h&M{]E9= .8 2P(}h >f|||H}Snw 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。
"0V.V>-p Wvq27YK' 建模任务 ]Oe2JfJwx 7LfAaj )!3V/`I )~GmU9f 由于组件倾斜引起的干涉条纹 OyU5DoDz1 4(#'_jS ]vz%iv_ 7z%L*z8V 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 5 )A1\ d8DV[{^ Ja|5 @
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