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a*%>H(x 摘要 $i~DUT( $!KV]] i~l0XjQbs W W== 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 2}509X(* c&F"tLl 建模任务 oD!72W_: H;IG\k6C c9f~^}jNb WERK JA 由于组件倾斜引起的干涉条纹 &XgB-}^: pD`7N<F 3 ZH~m%sA 5:56l>0 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 P9Rq'u G9}[g)R* Ld+}T"Z&M>
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