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HsgTHe 摘要 |nH0~P#! R.YGmT'2 >ya- +@],$=aE? 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 ='bmjXu *ckrn>E{h 建模任务 bq6{ty" \IZ4( Z zHs 33KPo0g7 由于组件倾斜引起的干涉条纹 {5tEsv g1*H|nh2 13&>w{S} ; ?lM|kK 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 sV'.Bomq ]>4Qs 5 EuJ
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