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&qbEF3p^@ 摘要 nI3p`N8j* VukbvBWPN &GLDoLk6[ ,[;O'g?,g 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 BdD]HXB|_ :Q`Of}# 建模任务 TnQ>v{Rx i%o%bib# H@(O{ 9Yl; QATRrIj{e 由于组件倾斜引起的干涉条纹 X,49(-~\ x'L=p01 wa@Rlzij> #&.Znk:@.f 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 K+~?yOQj KPToyCyR1 H q6%$!q
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