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1PnWgu 摘要 a534@U4, 9Netnzv% 2SlOqH1 Y=YIz>u 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 59Lmv
&s Y!nxHRE 建模任务 (OT&:WwW -3T~+ k.("<) e9@7GaL`"S 由于组件倾斜引起的干涉条纹 i!DO c ]!Yb- ,+hH|$ m[%*O#_ 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 M73d^z >nOU 8 w|0w< |