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k8Xm n6X 摘要 H-%v3d>3 GL JMP^p 9cgUT@a 2%>FR4a 干涉测量法是一项用于 光学测量的重要技术。它被广泛应用于表面轮廓、缺陷、 机械和热变形的高 精度测量。作为一个典型示例,在非 序列场追迹技术的帮助下,于 VirtualLab Fusion中建立了具有相干 激光源的马赫-泽德 干涉仪。该例证明了 光学元件的倾斜和位移对干涉条纹图的影响。 l@\FWWQ xpI wrJO 建模任务 .o8t+X'G KgG4*< .l|$dE/E b2]Kx&! 由于组件倾斜引起的干涉条纹 ^GX)Z~ |' . XM}hUJJW <or2 由于偏移倾斜引起的干涉条纹 P&q7|ST%N
9akH m3ff;,
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