最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多，大多数问题和客户一起解决了。
TM,Fab & 新柯隆中和器因为是自匹配（没有手调的地方），所以一旦发生问题，很多客户都是一头雾水。
/@LUD= 我在这里普及一点我知道的知识，希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
zf[KZ\6H ,T+.xB;Q@ 很多中和器问题的原因1：阴极的材质
*1U"uJno 新柯隆老款是镍，新款是钽。（中间有掺杂，并非纯的）
*k;%H'2g{} 镍的优点是软，容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
1@^*tffL: 我客户新旧两款中和器上，同样的副厂镍电极，同样的冷却时间。
YH0 utc 老款中和器稳定运行，但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
Tpp?(lT7r （陶瓷杯内部很多渣，产品表面麻点，中和器不稳定）
IvB)d}p 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
M#SGZ~=1r <e-hR$ 钽的优点是耐氧化，但是一旦加热就会变脆，一旦变形无法修正。
VyOpPIP 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。（根据我客户问我购买的频度推测）
H\=S_b1wo )'$'? Fn 问题的原因2：阴极的形状和
工艺 5?Rzyfwk| 5
r&n 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状，大大减小了变形。
TsI%M 副厂中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易变形。
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U&] （接近改进前的原厂部品，寿命在3~6个月左右）
*< ww ~^a -Dr)+Y 问题的原因3：电气连接
'o Zd Ml& 中和器是高温部件，螺丝螺母等连接件很容易氧化。
p}yp !(l 推荐定时更换镀金螺丝螺母，不要用普通螺丝
9Cq" Szs （原因1：普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2：普通螺丝易咬死）
%d#j%= e]3b0` E 问题的原因4：陶瓷
,V ) |A=ml 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了，因为阴极电压并不高。
I8 但是也有碰到品质极差的，比如说内部孔隙过多（气体析出造成中和器打火）
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Tj6hj) 材质不对（不是AL2O3，高温下发生变形）。
C+aL8_(R *nV*WU S3 问题的原因4：气体
'a=QCO
0 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
3;wOA4ur 如果中和器有漏气，比如说波纹管漏气，气嘴和底座间隙不好，
/"7_75
t 可以试下增加气体流量来补偿。
!mu1e=bY> Q>l5:2lq 最后说一点：
(aS Y.#; 但是如果产品要求高的话，还是推荐原厂陶瓷。
#CNK [y 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的，内部还是会有孔隙。
=~'{2gsB 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
pXoT@[} 实际上综合考虑使用寿命，原厂件不是最贵的。
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