最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多，大多数问题和客户一起解决了。
%xt;&HE 新柯隆中和器因为是自匹配（没有手调的地方），所以一旦发生问题，很多客户都是一头雾水。
Tp46K\}Uf 我在这里普及一点我知道的知识，希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
e5RF6roxO b?{MXJ| 很多中和器问题的原因1：阴极的材质
FKZ'6KM&A 新柯隆老款是镍，新款是钽。（中间有掺杂，并非纯的）
{W+IUvn 镍的优点是软，容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
g(_xo\ 我客户新旧两款中和器上，同样的副厂镍电极，同样的冷却时间。
1aI&jdJk 老款中和器稳定运行，但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
Qy ghNImp （陶瓷杯内部很多渣，产品表面麻点，中和器不稳定）
IR2=dQS 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
; b{yu| GYZP?E p* 钽的优点是耐氧化，但是一旦加热就会变脆，一旦变形无法修正。
Hr_5N,
原厂的钽电极一般寿命在1年左右。（根据我客户问我购买的频度推测）
rjffp U JDJ"D\85 问题的原因2：阴极的形状和
工艺 N0DzFXp K| dI'TnW 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状，大大减小了变形。
N5[^W`Qf 副厂中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易变形。
+0}z3T1L （接近改进前的原厂部品，寿命在3~6个月左右）
2&"qNpPtE ;,8 )%[ 问题的原因3：电气连接
[rkw k\m* 中和器是高温部件，螺丝螺母等连接件很容易氧化。
WNY:H H 推荐定时更换镀金螺丝螺母，不要用普通螺丝
X=+|(A,BdY （原因1：普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2：普通螺丝易咬死）
u,V_ j|(e 1:JwqbZKJ 问题的原因4：陶瓷
5U-SIG* 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了，因为阴极电压并不高。
vPz$+&{I 但是也有碰到品质极差的，比如说内部孔隙过多（气体析出造成中和器打火）
hkb&]XWi[ 材质不对（不是AL2O3，高温下发生变形）。
-MRX@ a^1 9X?RJ."J 问题的原因4：气体
Ptz## o'{5 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
FnKC| X 如果中和器有漏气，比如说波纹管漏气，气嘴和底座间隙不好，
~ NZL~p 可以试下增加气体流量来补偿。
?3lA ogB !&xci})7a 最后说一点：
z auDw V= 但是如果产品要求高的话，还是推荐原厂陶瓷。
MyZVx|7 E 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的，内部还是会有孔隙。
X n8&&w" 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
$xT9e 实际上综合考虑使用寿命，原厂件不是最贵的。
[ 此帖被ouyuu在2022-11-16 21:17重新编辑 ]
