最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多，大多数问题和客户一起解决了。
LP:U6 Z 新柯隆中和器因为是自匹配（没有手调的地方），所以一旦发生问题，很多客户都是一头雾水。
&br_opNi 我在这里普及一点我知道的知识，希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
NU |vtD c3X8Wi7m 很多中和器问题的原因1：阴极的材质
dePI&z: 新柯隆老款是镍，新款是钽。（中间有掺杂，并非纯的）
RAY.]:}jr 镍的优点是软，容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
Hr/3nq}. 我客户新旧两款中和器上，同样的副厂镍电极，同样的冷却时间。
r]yI 5 ; 老款中和器稳定运行，但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
^h~oxZJ w （陶瓷杯内部很多渣，产品表面麻点，中和器不稳定）
0OF ]|hH 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
l>{+X ) yaW HGre 钽的优点是耐氧化，但是一旦加热就会变脆，一旦变形无法修正。
Zze a 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。（根据我客户问我购买的频度推测）
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]7+y } v$T1Cw 问题的原因2：阴极的形状和
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Ge"mY 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状，大大减小了变形。
r}~|,O3bc' 副厂中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易变形。
Y&y5^nG （接近改进前的原厂部品，寿命在3~6个月左右）
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{ g)UYpi?p-} 问题的原因3：电气连接
K.I \E 中和器是高温部件，螺丝螺母等连接件很容易氧化。
"u.4@^+i 推荐定时更换镀金螺丝螺母，不要用普通螺丝
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S'g# （原因1：普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2：普通螺丝易咬死）
3E`poE [bZASe h 问题的原因4：陶瓷
9!UFLZR 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了，因为阴极电压并不高。
y+K21(z. 但是也有碰到品质极差的，比如说内部孔隙过多（气体析出造成中和器打火）
+:m'a5Dm 材质不对（不是AL2O3，高温下发生变形）。
xGVL|/?8 dd|/I1 问题的原因4：气体
(25v7 Y ] 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
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SH`\ 如果中和器有漏气，比如说波纹管漏气，气嘴和底座间隙不好，
/m+q!yi & 可以试下增加气体流量来补偿。
1h0cId8d mbCY\vEl 最后说一点：
'l`T(_zL\% 但是如果产品要求高的话，还是推荐原厂陶瓷。
L.1pO2zPe 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的，内部还是会有孔隙。
RiNKUk{- 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
BR[f{)a5 实际上综合考虑使用寿命，原厂件不是最贵的。
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