最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多,大多数问题和客户一起解决了。
4E.9CjN1> 新柯隆中和器因为是自匹配(没有手调的地方),所以一旦发生问题,很多客户都是一头雾水。
tsg`c;{ 我在这里普及一点我知道的知识,希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
l[i4\ CT 4\-11!'08 很多中和器问题的原因1:阴极的材质
`]W9Fj<1j 新柯隆老款是镍,新款是钽。(中间有掺杂,并非纯的)
60%nQhb 镍的优点是软,容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
|^Y"*Y4*h 我客户新旧两款中和器上,同样的副厂镍电极,同样的冷却时间。
m,\+RUW' 老款中和器稳定运行,但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
vU%K%-yXG7 (陶瓷杯内部很多渣,产品表面麻点,中和器不稳定)
9jI muSZ 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
{*+J`H_G2a SN@>m pcJS 钽的优点是耐氧化,但是一旦加热就会变脆,一旦变形无法修正。
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LS`` 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。(根据我客户问我购买的频度推测)
+TqrvI. `\VtTS 问题的原因2:阴极的形状和
工艺 ~B{08%|oK OD~Q|I(j 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状,大大减小了变形。
3=n6NTL 副厂中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易变形。
0+iRgnd9? (接近改进前的原厂部品,寿命在3~6个月左右)
"mBM<rEn* d;dT4vx$[M 问题的原因3:电气连接
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wo 中和器是高温部件,螺丝螺母等连接件很容易氧化。
]^"Lc~w8& 推荐定时更换镀金螺丝螺母,不要用普通螺丝
H(;@7dh (原因1:普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2:普通螺丝易咬死)
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" g "Du]_, 问题的原因4:陶瓷
O=bkq} 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了,因为阴极电压并不高。
/g>-s&w 但是也有碰到品质极差的,比如说内部孔隙过多(气体析出造成中和器打火)
IoOOS5a 材质不对(不是AL2O3,高温下发生变形)。
Brxnl,%\ @@*x/"GJG 问题的原因4:气体
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气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
VX&g[5zr 如果中和器有漏气,比如说波纹管漏气,气嘴和底座间隙不好,
.pPuBJL]< 可以试下增加气体流量来补偿。
3?j:M]fR p7> 9
m 最后说一点:
+#wVe 但是如果产品要求高的话,还是推荐原厂陶瓷。
#+D][LH4 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的,内部还是会有孔隙。
*e [* 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
1f+A_k/@ 实际上综合考虑使用寿命,原厂件不是最贵的。
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