最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多,大多数问题和客户一起解决了。
\iFE,z 新柯隆中和器因为是自匹配(没有手调的地方),所以一旦发生问题,很多客户都是一头雾水。
A.[T#ZB.4 我在这里普及一点我知道的知识,希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
kcle|B aozk,{9- 很多中和器问题的原因1:阴极的材质
$aG'.0HW 新柯隆老款是镍,新款是钽。(中间有掺杂,并非纯的)
WKG=d]5 镍的优点是软,容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
,3wo 我客户新旧两款中和器上,同样的副厂镍电极,同样的冷却时间。
{R K#W~h 老款中和器稳定运行,但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
wP%;9y2B (陶瓷杯内部很多渣,产品表面麻点,中和器不稳定)
;(V=disU/ 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
QO8/?^d &7 ,wdG 钽的优点是耐氧化,但是一旦加热就会变脆,一旦变形无法修正。
q~qig,$Y 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。(根据我客户问我购买的频度推测)
\vI_%su1N gU`QW_{ 问题的原因2:阴极的形状和
工艺 &+\wYa, R~`Y6>o~9: 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状,大大减小了变形。
E^g6,Y:i9 副厂中和器有先卷成筒然后切割的,也有先切后卷的,先卷后切的不易变形。
<^=k~7m (接近改进前的原厂部品,寿命在3~6个月左右)
-I -wdyDr .}tL:^'~o 问题的原因3:电气连接
Z5\6ca 中和器是高温部件,螺丝螺母等连接件很容易氧化。
[-l^,,E 推荐定时更换镀金螺丝螺母,不要用普通螺丝
o` e~1 (原因1:普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2:普通螺丝易咬死)
R{T4AZ@,' pH4i6B*5 问题的原因4:陶瓷
dgO2fI 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了,因为阴极电压并不高。
nP}/#Wy 但是也有碰到品质极差的,比如说内部孔隙过多(气体析出造成中和器打火)
{Z|C 材质不对(不是AL2O3,高温下发生变形)。
zmdOL9"a
+G?3j ,a\ 问题的原因4:气体
D!:Qy@Zw 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
`p!.K9r7 如果中和器有漏气,比如说波纹管漏气,气嘴和底座间隙不好,
Ss8`;> 可以试下增加气体流量来补偿。
ag3T[}L
z y"2c; *7[{ 最后说一点:
-/h$Yb 但是如果产品要求高的话,还是推荐原厂陶瓷。
DU;]Q:r{ 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的,内部还是会有孔隙。
$lO\eQGxB 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
Y$(G)Fs 实际上综合考虑使用寿命,原厂件不是最贵的。
[ 此帖被ouyuu在2022-11-16 21:17重新编辑 ]