最近接到新柯隆射频离子源的中和器问题的问询比较多，大多数问题和客户一起解决了。
^[#=L4 新柯隆中和器因为是自匹配（没有手调的地方），所以一旦发生问题，很多客户都是一头雾水。
4iwf\# 我在这里普及一点我知道的知识，希望大家碰到问题的时候能够给一些帮助。
47 KNT7C {t&*>ma6) 很多中和器问题的原因1：阴极的材质
byafb+ x 新柯隆老款是镍，新款是钽。（中间有掺杂，并非纯的）
>E, Q 镍的优点是软，容易修正形状。但是镍在300度以上很容易氧化。
f_rp<R>Uu 我客户新旧两款中和器上，同样的副厂镍电极，同样的冷却时间。
" rsSW 3_ 老款中和器稳定运行，但是新款
设备的镍电极很快就氧化了。
8yn4}`Nc@ （陶瓷杯内部很多渣，产品表面麻点，中和器不稳定）
#*^e,FF< 估计是新老两款中和器的温度或者散热速度不一样。
wZQ)jo7*g d , UCH 钽的优点是耐氧化，但是一旦加热就会变脆，一旦变形无法修正。
+, z) # 原厂的钽电极一般寿命在1年左右。（根据我客户问我购买的频度推测）
)AI?x@ c+8V| '4 问题的原因2：阴极的形状和
工艺 Apmw6cc B_hPcmB 新柯隆的原厂钽中和器阴极已经改进了形状，大大减小了变形。
H37Qg ApB 副厂中和器有先卷成筒然后切割的，也有先切后卷的，先卷后切的不易变形。
Hte[TRb M （接近改进前的原厂部品，寿命在3~6个月左右）
B[CA
5Ry :5jexz."M 问题的原因3：电气连接
T Ko<~? 中和器是高温部件，螺丝螺母等连接件很容易氧化。
/[%w*v*' 推荐定时更换镀金螺丝螺母，不要用普通螺丝
9mDn KW （原因1：普通螺丝易氧化造成电接触不良 原因2：普通螺丝易咬死）
W2hA-1 w//omF'` 问题的原因4：陶瓷
`"c' z; 国内大多数副厂的陶瓷其实已经够用了，因为阴极电压并不高。
o,1Dqg4P3 但是也有碰到品质极差的，比如说内部孔隙过多（气体析出造成中和器打火）
gX^ PSsp 材质不对（不是AL2O3，高温下发生变形）。
J:AMnUOcDi wN(&5rfS 问题的原因4：气体
OM)3Y6rK 气体流量不够或者过多都会造成不稳定。
{rDq_^ 如果中和器有漏气，比如说波纹管漏气，气嘴和底座间隙不好，
^^U%cu Kg 可以试下增加气体流量来补偿。
b!^@PIX >g]ON9CGH 最后说一点：
>La><.z~ 但是如果产品要求高的话，还是推荐原厂陶瓷。
&<Zdyf?[Ou 国内副厂的陶瓷大多数还是热烧结的，内部还是会有孔隙。
aBxiK[[` 孔隙造成的中和器打火是麻点的原因之一。
%m`zWg- 实际上综合考虑使用寿命，原厂件不是最贵的。
[ 此帖被ouyuu在2022-11-16 21:17重新编辑 ]
