?D]qw4 J 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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B_uAa5' 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
GTBT0$9g. Mz:t[rfs 建模任务 +/Vi"
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-mPrmapb3 %. -nZ C 单次FMM仿真结果 O:86*
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AQe~F H,5##@X 参数扫描(1D) J"W+9sI0
q1O}dSPwX
nbM7 >tnsk 'RjMwJy{ 参数扫描(2D) ;rJ 2`]_c=
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