ONFx -U] 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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n|B<rx?v 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
.dwbJT =JxEM7r 建模任务 G7r .Jm^q
$Xqc'4YOZ
X(Z(cY( 4P#4RB 单次FMM仿真结果 KWM}VZY:Z
wZ=@0al
w zi7pJjXh q(v|@l|)yO 参数扫描(1D) ST,+]p3L(
apnpy\in
f*VXg[&\\F (B03f$8}*_ 参数扫描(2D) G9@5 !- Q
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