d"|XN{ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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Poacd;* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
B8_w3;x z$E+xZ 建模任务 Dqe/n_Z
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qDO4&NO 3Bz0B a 单次FMM仿真结果 A:EF#2)g
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0sRby! \c+)Y}:D 参数扫描(1D) *lg1iP{]
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%,GY&hTw &2{h]V6 参数扫描(2D) nv(Pwb3B o*\kg+8
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