\%qzTk.&r 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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oV(|51(f 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
h2b,( %a_ rYrL 建模任务 8%@![$q<g
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YPV@/n[N Em%0C@C 单次FMM仿真结果 &tAhRMa
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?>p(* xksd&X: 参数扫描(1D) Xiy9Oeq2uh
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; 7Nv$3 参数扫描(2D) b6mSPH@ \-]zXKl2k
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