'E)g )@^ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
vo"?a~ kY7 M\D25=( 
o^3X5})sv 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
|@Ze{\
1~ZFkcV_C 建模任务 *3A)s
O
~N]pB]/][
?BnX<dbi& [;pL15-}4 单次FMM仿真结果 ^u+#x2$Mg
.H}#,pQ}l
7U2?in}?Qi nU,~*Us 参数扫描（1D） !-~sxa280r
y7T<Auue`
l\_81o Z B'hN3. 参数扫描（2D） t8f :?
f/vsf&^O 
f taa~h *
