~E vGNnTL 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
N] pw7S% pwB>$7(_h
F ^m;xy 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
Gq%,'amf +Z=y/wY 建模任务 r029E-
()n2 KT
u%=2g'+)_ lg{/5gQG 单次FMM仿真结果 5{v uN)K3
@Q&k6.{4Z
b d C (rq(y$N 参数扫描(1D) .*J /F$
_?eT[!oO8
XPnHi@x ::-*~CH) 参数扫描(2D) d'b9.ki\ EW+QVu@
0Fsa&<{6?