+}^ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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|(w x6H: 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
} nQHP4' ' _N > 建模任务 .EI/0"^
$T1c{T6n}
h7g9:10 k07O.9> 单次FMM仿真结果 $jm'uDvm
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<)M?qkjb 2WKA] l; 参数扫描(1D) k|w6&k3
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1[!Idl ?m bO-8<IjC_3 参数扫描(2D) h.DQ6!?;s pPh$Jvo]
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