l +*&:Q/ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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piy`zc- yu 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
g[H',)A) oGa^/:6L 建模任务 30>3 !Xqa
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8NBT|N~N CVNj- &vj 单次FMM仿真结果 #|[
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?W>qUrZ w[tmCn+ 参数扫描（1D） R :X0'zeRr
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#@HF<'H}mu i4JqT \q 参数扫描（2D） ryB}b1`D ':{>a28= 
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