8Qy |;T} 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
k/Q]Ke
fE}}>
zg"ZXZ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
Rznr9L [%q":Ig 建模任务 a$A
S?`L
XA%?35v~
@)wXP@7 D=]P9XDvb. 单次FMM仿真结果 eU*hqy?0
5=e@yIr'#
0\A[a4crj #2iA-5 参数扫描(1D) >MLqOUr#
\t3i9#Q
SOJHw6 =*N(8j>y 参数扫描(2D) 2Hj]QN7"
d7Z\
:-n4!z"k