8]]@S"ZM,\ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
.hne)K%={y Ql8^]gbp+ 
c(&AnIlS 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
|*1xrM:v~ R8ZD#,; 建模任务
%mL5+d-oP
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mtX31 M4 WG\Q5k4Ba 单次FMM仿真结果 Gym#b{#":
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y9ip[Xn-$: h [y*CzG 参数扫描（1D） /N%zwj/*
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+Lhe, ydyG}XI7V 参数扫描（2D） O!,Ca1N pJocI_v9 
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