DPM4v7 S 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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hx$bY 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
k8S`44vj VC.zmCglo^ 建模任务 ^o-)y"GJ
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('oA{,#L :\cid]y3 单次FMM仿真结果 4%"Df1U
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9?Q0O\&uP Rz:1(^oA 参数扫描(1D) v"8i2+j
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rk7d7`V z:)z]6 参数扫描(2D) .:9XpKbt 16|miK[@
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