' x{E#4A 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
j/h> G,>T= BY&+fK ae 
FK:Tni 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
>U2[]fu 9pPohR*#V 建模任务 8}A+{xVp8
`'gadCTb=
K9@F1ccQ/ xi!CZNz 单次FMM仿真结果 +)cjW "9
E#T6rd P
"T?hIX/p _ $QbaPmHW 参数扫描（1D） 0~;Owu
@h91: hb
?[`*z?} gTby%6- \| 参数扫描（2D） )j^~=Sio. ar#Xe;T! 
Alh"ZT^ *
