U*b1yxt 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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=c:K(N qL 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
O8qA2@, ]hRCB=G 建模任务 !/2u O5
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:+06M@ UU~S{!*+L 单次FMM仿真结果 EVX*YGxx6
8Th{(J_
9l<f?OzAO >|IUjv2L 参数扫描（1D） Pv@Lx+ k
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< A"[Wk RDGefxv 参数扫描（2D） m`_ s_# j6}/pe*;;T 
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