ojM'8z 0Hn 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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*tqD:hiF 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
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U/Xi 建模任务 #]}Ii{1?Y
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xuXPVJdi 5 A0]+)5E8 单次FMM仿真结果 KhR3$|fH<
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Qt.*Z;Gs F $t]JM 参数扫描（1D） +f/
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apL$`{>US ~0PzRS ^o 参数扫描（2D） v'hc-Q9+> K#OL/2^
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