P dhEQ}H 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
Zf65`K3
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:n.f_v}6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
?MgUY)X a{qM2P(S 建模任务 a*ushB
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+ EGD.S{ k=4N.*#`y 单次FMM仿真结果 xx{PespNt
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~s]iy9i A .EbXo/ 参数扫描(1D) K%F,='P}
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OVhE??# 参数扫描(2D) &'
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