[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

[dzb{M6_  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 zG@!(  
|23 }~c,  
P$pl  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） uO^{+=;A=  
jG.*tuf  
建模任务 o9~qJnB/O  
MfL q h  
zJ9,iJyuD  
T.1z<l""  
单次FMM仿真结果 <0kRky$  
L7jz^g^  
sdO;vp^
:b  
C*78Zw
Z  
参数扫描（1D） yRgo1ow]  
Gf%o|kX]  
G2jEwi  
\2+xMv)8  
参数扫描（2D） eq@ v2o7  
   @+{S-iD"  
7=<PVJ*/