n#Xi Co_\ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
\\XvVi:B 6gV-u~j [#
J3gJSRT@P 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
M eo(|U ;75K:_ 建模任务 Aq%TZ_m
rk:^^r>5Qi
m(SGE,("w Gs;wx_k^ 单次FMM仿真结果 )isz
}?Dj
Tt#4dm-
;QkUW<( {J;[
Hf5 参数扫描(1D) SYd4 3PA
42E]&=Cet
bHRH2Ss WG>Nm89 参数扫描(2D) ;+]
mcgN! G(W/.*
*Z\B9mx