y-vQ4G5F| 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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N>',[4pJ| 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
@mu=7_$U ,{sCI/ 建模任务 Fr]B]Hj
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\-RVPa8k 5db9C}0 单次FMM仿真结果 6" |+\
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crRYgr fC!+"g55 参数扫描(1D) CO"Nv
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|Whkq/Zg H05U{vR 参数扫描(2D) Ui05o7xg~p @ \JoICz
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