[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

$) M2  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 lcLDCt?  

+_{cq@c  
gj iFpW4  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） ($!uBF-b  
lQiw8qD  
建模任务 d'&OEGb<  
Io"3wL)2  
+_kA&Q(t  
&Nh zEl1  
单次FMM仿真结果 A|4om=MO  
E=CAWj\  
rT=C/SKP  
jo0XF]  
参数扫描（1D） a0+q^*\d\R  
YR? E z<p  
"]uPke@  
3~7!=s\v  
参数扫描（2D） YXZP-=fB>i  
   "G~!J
\  
cWG%>.`5r