8/16<yZ 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
@cT= t0* 3.vQ~Fvl 
X&+*?Q^ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
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+*,|;? bo%v( 建模任务 ( /):
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M(+;AS?; IQ3]fLb 单次FMM仿真结果 5Rc^5Nv
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KE
k]<b= |m5 E%E 参数扫描（1D） SSh=r
; D a[jFP
rt5eN:'qY i9FtS7 参数扫描（2D） `4N{x. N C" =^ (HU 
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