m ol,iM*l 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
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w.q`E@ T* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
}PBme'kP d}\]!x3t 建模任务 S=_u3OH0
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a -qc'J<*^4 单次FMM仿真结果 &DWSf`:Hx
QPVi& *8_
= LNU%0m 0]4X/u#N 参数扫描(1D) CPJ21^
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g8Ex$,\, ~#E&E%sJ 参数扫描(2D) !|Q&4NS tnJ7m8JmC
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