[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

)1M
2}11uS  
可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 hx9t{Zi  
]bh%pn  
*nJ,|T  
    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） K
maz"6A  
E~fb#6  
建模任务 E]/2u3p  
{G x=QNd  
d wG!]j>:_  
76@W:L*J$J  
单次FMM仿真结果 e3TKQ(  
5G\OINxy  
%\sE\]K  
.Vnb+o  
参数扫描（1D） 1_q!E~)  
\|QB;7u  
~nmFZ]y  
.-M5.1mo\(  
参数扫描（2D） CE96e y  
   JfWkg`LqL  
>\<eR]12