9&*
7+! 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中，可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与
参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定
结构在不同配置下的性能。
Z)| ~ :Vxt2@p { 
3?B1oIHQ 傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA）
E.*hY+kGZ &^$@LH3 建模任务 6vK`J"d{~D
c$ /.Xp
Gt*<Awn8 'b.jKkW7 单次FMM仿真结果 Xgx/ubca0
q( qm3OxYo
W_wC"?A% \r
IOnZ.WK 参数扫描（1D） l?) >"^
sR/Y v
*R+M#l9D` ={xRNNUj_ 参数扫描（2D） fR[8O\U~ y7pBcyWTE= 
&Z~_BT
