[技术]使用傅里叶模态法分析闪耀光栅 [复制链接]

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可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中，可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果（例如光栅阶次汇集、单值等）。与参数运行结合使用，可以在给定的参数空间上进行扫描，以研究指定结构在不同配置下的性能。 oqY?#p/  
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    傅里叶模态法（FMM，也称为RCWA） IB?A]oN1{  
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建模任务 B{K'"uC  
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单次FMM仿真结果 H\b5]q%  
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参数扫描（1D） b:3hKW  
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参数扫描（2D） 0F3>kp4u  
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