E qiY\/S 可用于严格分析
光栅效率。在
VirtualLab Fusion中,可以设置光栅
系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与
参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定
结构在不同配置下的性能。
eMzk3eOJ !,PWb3S
XWw804ir 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)
n6v6K1 @4#vm@Yf_ 建模任务 6eCCmIdaM
zuCSj~
nk:)j:fr O6Y0XL 单次FMM仿真结果 V]^$S"Tv
`vV7c`K?
h+,@G,|D /L3: 参数扫描(1D) []T8k9g/-
\2z>?i)
Bw.i}3UT6 p
ll)Y 参数扫描(2D) $cgcX "N#Y gSr
dr"1s-D4IQ