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mA']*)L1 LO
M-i> 内容简介 6J%yo[A(w Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 +d,Z_ 6F 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 \TXCq@ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 #x5?RHX56 讯技科技股份有限公司 -85W/%
T0P_&E@X >-Q=o,cl%3 目录 ju?D=n@i Preface 1 6.gk6 内容简介 2 <ULydBom 目录 i o@tc 1 引言 1 H)O I&? 2 光学薄膜基础 2 ; )J\k2 2.1 一般规则 2 l^E)XWd 2.2 正交入射规则 3 |jE0H!j 2.3 斜入射规则 6 ww$Ec 2.4 精确计算 7 2uM\?*T@ 2.5 相干性 8 I9;,qd%<T 2.6 参考文献 10 u~q6?*5 3 Essential Macleod的快速预览 10 lr_c 4 Essential Macleod的特点 32 80;^]l
4.1 容量和局限性 33 H|*Ual 4.2 程序在哪里? 33 ,$<="kJk 4.3 数据文件 35 &+zS4)UK 4.4 设计规则 35 R k@xv;t; 4.5 材料数据库和资料库 37 VgyY7INx9 4.5.1材料损失 38 ,c9K]>8m` 4.5.1材料数据库和导入材料 39 B(h%>mT[ 4.5.2 材料库 41 ZQY?wO: [ 4.5.3导出材料数据 43 p? L*vcU 4.6 常用单位 43 q,v)X 4.7 插值和外推法 46 XPQY*.l&. 4.8 材料数据的平滑 50 y$C\b\hM 4.9 更多光学常数模型 54 ];8S<KiS~ 4.10 文档的一般编辑规则 55 5>u,Qh 4.11 撤销和重做 56 Th>ff)~e 4.12 设计文档 57 T.?}iz=ZEq 4.10.1 公式 58 5VR=D\j 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 qaZQ1<e 4.10.3 沉积密度 59 kx31g,cf]w 4.10.4 平行和楔形介质 60 dcbE<W#ss 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 ].r~?9'/ 4.10.4 性能 61 Usz O--.C 4.10.5 保存设计和性能 64 R7ze~[oF 4.10.6 默认设计 64 SM8Wg> 4.11 图表 64 !b 4v}70, 4.11.1 合并曲线图 67 -b$m<\0* 4.11.2 自适应绘制 68 )LDBvpJyQ 4.11.3 动态绘图 68 ,Vr-E 4.11.4 3D绘图 69 C
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xsh 4.12 导入和导出 73 Z(:q.{"r 4.12.1 剪贴板 73 ^M6R l0 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 ,A9_xdv5 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ;Qq<5I"y 4.13 背景 77 Vc*"Q8aZ~ 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 H=v=)cUe[ 4.15 生成Rugate 84 zW9/[Db 4.16 参考文献 91 r"xs?P&/$ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 c%@<
h6 5.1 Jobs 92 s_}q 5.2 创建一个新Job(工作) 93 vMYL( ]e 5.3 输入材料 94 g?E8zf ` 5.4 设计数据文件夹 95 2D)B%nM[ 5.5 默认设计 95 ^n~bx*f 6 细化和合成 97 HP2J`>oo 6.1 优化介绍 97 X([p0W
9V( 6.2 细化 (Refinement) 98 L~|_C Rw 6.3 合成 (Synthesis) 100 IC6r? 6.4 目标和评价函数 101 ^aR^M\38 6.4.1 目标输入 102
BDfJ 6.4.2 目标 103 45A|KaVpg 6.4.3 特殊的评价函数 104 p!>DA?vF 6.5 层锁定和连接 104 [PX%p;"D 6.6 细化技术 104 I_\?w SNGM 6.6.1 单纯形 105 Lq2ZgKd! 6.6.1.1 单纯形参数 106 Tnoy#w}Ve 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 W:8pmI 6.6.2.1 Optimac参数 108 <N{Y*,^z 6.6.3 模拟退火算法 109 z9Nial`p 6.6.3.1 模拟退火参数 109 ]8f$&gw&A 6.6.4 共轭梯度 111 w8}jmpnI 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 7!/!a*zg 6.6.5 拟牛顿法 112 I/* ULR,
6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~CuJ$(9Y 6.6.6 针合成 113 F4PWL|1 6.6.6.1 针合成参数 114 crQ_@@X?< 6.6.7 差分进化 114 Ubm]V{7 6.6.8非局部细化 115 1+9!W 6.6.8.1非局部细化参数 115 7sq15oL 6.7 我应该使用哪种技术? 116 L@"&s#~=3 6.7.1 细化 116 t?wVh0gT 6.7.2 合成 117 Q6;bORN 6.8 参考文献 117 <f#pS[A 7 导纳图及其他工具 118 yT|44
D2j 7.1 简介 118 >|aVGY 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 4Z.Dz@.c( 7.2.1 四分之一波长规则 119 _N:GZLG 7.2.2 导纳图 120 +CN!3(r 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
~S\8 ' 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 Q zp!)i 7.5 斜入射导纳图 141 ?=G{2E. 7.6 对称周期 141 SZvp%hS0 7.7 参考文献 142 uCoy~kt292 8 典型的镀膜实例 143 RTr"#[ 8.1 单层抗反射薄膜 145 9[R+m3V/` 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 MM6PaD{ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Q^*4FH!W 8.4 W-膜层 148 u#UtPF7q 8.5 V-膜层 149 wZVLpF+7 8.6 V-膜层高折射基底 150 !P3y+;S 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 Jl<pWjkZZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 P9W?sPnC5 8.9 四层抗反射薄膜 153 7{\6EC}d[& 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 1zgM$p 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 g}d[j
I9 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 f>|Wd;7l: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 $18?Q+?3 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 nNf*Q
r%Z 8.15十五层宽带抗反射膜 159 oqo7Ge2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ~G1B}c] 8.17 1/4波长堆栈 162 =b, m31 8.18 陷波滤波器 163 L;WFHIE 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 yKy
)%i 8.20 褶皱 165 %C_c%3d 8.21 消偏振分光器1 169 GI@;76Qf 8.22 消偏振分光器2 171 p3>Md?e 8.23 消偏振立体分光器 172 !%[fi[p 8.24 消偏振截止滤光片 173 1Tr%lO5?6 8.25 立体偏振分束器1 174 Xck`"RU<xA 8.26 立方偏振分束器2 177 51tZ:-1! 8.27 相位延迟器 178 aW}d=y[ 8.28 红外截止器 179 [8Fn0A 8.29 21层长波带通滤波器 180 Ckc5;:b&m 8.30 49层长波带通滤波器 181 |*^}e54 8.31 55层短波带通滤波器 182 BS
]:w(}[ 8.32 47 红外截止器 183 `Tei 8.33 宽带通滤波器 184 3 .K #, 8.34 诱导透射滤波器 186 = WHI/|& 8.35 诱导透射滤波器2 188 ;2$0j1> 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 q\-P/aN_ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 =K_&@|f+B 8.35 增益平坦滤波器 193 Wt=\hixj- 8.38 啁啾反射镜 1 196 j#xGB] 8.39 啁啾反射镜2 198 vCXmu_S4^> 8.40 啁啾反射镜3 199 4Y1dkg1y 8.41 带保护层的铝膜层 200 1 e]D=2y 8.42 增加铝反射率膜 201 L6#4A3yh 8.43 参考文献 202 56MY@ 9 多层膜 204 Zl{9G?abCT 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 v^)B[e! 9.2 内部透过率 204 CI-1>= "OE 9.3 内部透射率数据 205 i]OEhB
Y 9.4 实例 206 /4N ?v. jf 9.5 实例2 210 #d06wYz= 9.6 圆锥和带宽计算 212 1wm`a 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 u:Ye`]~o 10 光学薄膜的颜色 216 c2Exga_ 10.1 导言 216 f'w`< 10.2 色彩 216 jgS3# 10.3 主波长和纯度 220 qWx{eRp d 10.4 色相和纯度 221 E-($Xc 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 P]TT8Jgw 10.6 色差 226 G&@dJ &B 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 oe|8 10.8 颜色渲染指数 234 ^d@2Y0hH 10.9 色差计算 235 uE<8L(*B 10.10 参考文献 236 \<\H1;=.@' 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 H^54o$5 11.1 短脉冲 238 SF9N S*mr 11.2 群速度 239 TZ `Ypi7r 11.3 群速度色散 241 _RUL$Ds 11.4 啁啾(chirped) 245 ijUu{PG`X 11.5 光学薄膜—相变 245 >{9VXSc 11.6 群延迟和延迟色散 246 H
XFY 11.7 色度色散 246 6yO5{._M 11.8 色散补偿 249 tv`b## 11.9 空间光线偏移 256 .ZV='i()X 11.10 参考文献 258 2g~ @99` 12 公差与误差 260 em5~4;&' 12.1 蒙特卡罗模型 260 (wu ciKQ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 5!cp^[rGL 12.2.1 误差工具 267 LokH4A17U 12.2.2 灵敏度工具 271 M@P%k`6C 12.2.2.1 独立灵敏度 271 K~2sX>l 12.2.2.2 灵敏度分布 275 e9
@{[ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [ZC\8tP`V 12.3 参考文献 276 c9o]w8p/ 13 Runsheet 与Simulator 277 x0jaTlU/ 13.1 原理介绍 277 W$2\GPJt 13.2 截止滤光片设计 277 `/'p1?Z" 14 光学常数提取 289 {I0U 4] 14.1 介绍 289 09trFj$L 14.2 电介质薄膜 289 F_9
4k 14.3 n 和k 的提取工具 295 3;VH'hh_ 14.4 基底的参数提取 302 B :S8{ 14.5 金属的参数提取 306 < \fA}b 14.6 不正确的模型 306 5S2 j5M00 14.7 参考文献 311 p5tb=Zg_ 15 反演工程 313 JqZt1um 15.1 随机性和系统性 313 ]1XtV< 15.2 常见的系统性问题 314 @/|g|4 15.3 单层膜 314 }A,!|m4 15.4 多层膜 314 Yj*T'<e 15.5 含义 319 </D.}ia 15.6 反演工程实例 319 |JF,n~n 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 IW&*3I<K 15.6.2 反演工程提取折射率 327 `e~i<Pi 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 Du65>O 16.1 光学性质的热致偏移 329 s]OZ+^Z 16.2 应力工具 335 FU/:'/ L 16.3 均匀性误差 339 s~2o<# 16.3.1 圆锥工具 339 t-o,iaPG3 16.3.2 波前问题 341 {:*G/*1[. 16.4 参考文献 343 U5TkgHN{y 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 ygj%VG 17.1 引言 345 +_$s9`@]6 17.2 操作数 345 nDO7 18 如何在Function中编写脚本 351 >l><d!hw 18.1 简介 351 C?>d$G8 18.2 什么是脚本? 351 /;d 5p 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 |LZ{kD| 18.4 基础 352 #b;k+<n[X 18.4.1 Classes(类别) 352 YTZ :D/ 18.4.2 对象 352 }2LWDQ;po 18.4.3 信息(Messages) 352 "yh2+97l 18.4.4 属性 352 Yj>4*C9 18.4.5 方法 353 0)g]pG8&ro 18.4.6 变量声明 353 KpLaQb 18.5 创建对象 354 fdX|t"oz 18.5.1 创建对象函数 355 0m]QQGvJ{ 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 5,##p"O( 18.5.3 丢弃对象 356 =pi,]m 18.5.4 总结 356 ~!~i_L\V 18.6 脚本中的表格 357 Z!~_#_Ugl 18.6.1 方法1 357 XPqGv=CN 18.6.2 方法2 357 {l!{b1KJ 18.7 2D Plots in Scripts 358 ,7bhUE/VB 18.8 3D Plots in Scripts 359 }|2A6^FH. 18.9 注释 360 |8~)3P k 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 }xt^}:D 18.11 一个更高级的脚本 362 @ Do.Wgt 18.12 <esc>键 364 %LP4RZ 18.13 包含文件 365 E;s_=j1f 18.14 脚本被优化调用 366 (}6\_k[}m 18.15 脚本中的对话框 368 &U?4e'N)T 18.15.1 介绍 368 U)Hc7%
e 18.15.2 消息框-MsgBox 368 Vm\zLWNB 18.15.3 输入框函数 370 zps=~| 18.15.4 自定义对话框 371 ><D2of| 18.15.5 对话框编辑器 371 =E]tEi 18.15.6 控制对话框 377 YcX"Z~O6j= 18.15.7 更高级的对话框 380 \ui'~n_t] 18.16 Types语句 384 O2ktqAWx@ 18.17 打开文件 385 =TNFAt 18.18 Bags 387 p *42
@1, 18.13 进一步研究 388 og35Vs0 19 vStack 389 [pEb`s 19.1 vStack基本原理 389 {g1"{ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 ^gx~{9`RR 19.3 五棱镜 393 {+_p?8X 19.4 光束距离 396 Dt[+HCCY: 19.5 误差 399 BK4S$B 19.6 二向分色棱镜 399 z"yW):X 19.7 偏振泄漏 404 /"st
sF 19.8 波前误差—相位 405 JD0s0>q_ 19.9 其它计算参数 405 i&lW&] 20 报表生成器 406 :{)uD
; 20.1 入门 406 ;f[##=tm 20.2 指令(Instructions) 406 '+{yg+#/wV 20.3 页面布局指令 406 R|8L'H+1x 20.4 常见的参数图和三维图 407 .rO~a.kG 20.5 表格中的常见参数 408 X9|*`h < 20.6 迭代指令 408 X41Qkf{ 20.7 报表模版 408 (_ :82@c 20.8 开始设计一个报表模版 409 ,~38IIS>_ 21 一个新的project 413 B *O/>=_ 21.1 创建一个新Job 414 bj@R[!ss 21.2 默认设计 415 R[l`# I 21.3 薄膜设计 416 W[DoQ @q 21.4 误差的灵敏度计算 420 j0+D99{R 21.5 显色指数计算 422 1G12FV>M 21.6 电场分布 424 C^,baCX 后记 426 fi>.X99(G 有兴趣扫码联系
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