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jD0^,aiG B:ddlxT$ 内容简介 t-dN:1 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 00?^!'; 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 t d q;D 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ~FH''}3:3 讯技科技股份有限公司 &GwBxJ
2|tZ xlt- _]1dm)% 目录 ywmx6q4MFL Preface 1 !40{1U&@a` 内容简介 2 xZtA) Bp 目录 i -`]B4Nt6 1 引言 1 QV+(' 2 光学薄膜基础 2 1mL--m'r 2.1 一般规则 2 ckP&N:tC 2.2 正交入射规则 3 )HS|pS: 2.3 斜入射规则 6 m^U\l9LE 2.4 精确计算 7 ]N-K`c] 2.5 相干性 8
}CaL:kY8 2.6 参考文献 10 ^w^cYM, 3 Essential Macleod的快速预览 10 [:a;|t 4 Essential Macleod的特点 32 tNbCO+rZ
4.1 容量和局限性 33 Xo(K*eIN 4.2 程序在哪里? 33 ,V)yOLApVj 4.3 数据文件 35 [[JwHM8H& 4.4 设计规则 35 6;dB 4.5 材料数据库和资料库 37 LH]nJdq?) 4.5.1材料损失 38 ZNFn^iuQ 4.5.1材料数据库和导入材料 39 q ]rsp0P2 4.5.2 材料库 41 N-3w)23*: 4.5.3导出材料数据 43 -:pLlN-f 4.6 常用单位 43 X)fj& 4.7 插值和外推法 46 vBj{bnl 4.8 材料数据的平滑 50 }pPxN@X 4.9 更多光学常数模型 54 =4
&9!Z 4.10 文档的一般编辑规则 55 g[-'0d\1 4.11 撤销和重做 56 |w6:mtaS 4.12 设计文档 57 (BMFGyE3 4.10.1 公式 58 2aW&d=!ZV 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 3 _:yHwkD 4.10.3 沉积密度 59 ff-9NvW4v 4.10.4 平行和楔形介质 60 $>OWGueq64 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 L2P~moVIi 4.10.4 性能 61 i4'?/UPc 4.10.5 保存设计和性能 64 \4~uop,Nb+ 4.10.6 默认设计 64 `P)atQ 4.11 图表 64 m]=|%a6 4.11.1 合并曲线图 67 l *yml 4.11.2 自适应绘制 68 MCe=R R 4.11.3 动态绘图 68 ?*tpW75hR[ 4.11.4 3D绘图 69 TTmNPp4q 4.12 导入和导出 73 PS`v3|d}}} 4.12.1 剪贴板 73 _tb)F"4V 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 A"I:cw"KY 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 `WC~cb\ 4.13 背景 77 0#G&8*FMN 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 o{
\cCZ" 4.15 生成Rugate 84 e {N8|l 4.16 参考文献 91 ss236& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 Uj0DX>I 5.1 Jobs 92 >7@F4a 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ]|Vm*zO 5.3 输入材料 94 Goz9"yazg 5.4 设计数据文件夹 95 op"RrZAZBT 5.5 默认设计 95 HMS9_#[kE 6 细化和合成 97 w \i# 6.1 优化介绍 97 3vHEPm] 6.2 细化 (Refinement) 98 +<Uc42i7n 6.3 合成 (Synthesis) 100 ?#rDoYt/Sx 6.4 目标和评价函数 101 ?%iAkV 6.4.1 目标输入 102 B+*F?k[ 6.4.2 目标 103 |mc!v*O 6.4.3 特殊的评价函数 104 + 3aAL& 6.5 层锁定和连接 104 1
BAnf9
6.6 细化技术 104 fN?HF'7V 6.6.1 单纯形 105 j Bl I^ 6.6.1.1 单纯形参数 106 @Ej{sC!0T 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 nr!kx)j 6.6.2.1 Optimac参数 108 Fj7cI + 6.6.3 模拟退火算法 109 71@V|$Dy 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Yr,e7da 6.6.4 共轭梯度 111 DKF`uRvGN: 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 yg5 Ik{ 6.6.5 拟牛顿法 112 s0E:hn: 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 @L=xY[&{ 6.6.6 针合成 113 QApil 6.6.6.1 针合成参数 114 L/F!Y%=;[ 6.6.7 差分进化 114 :jT1=PfL 6.6.8非局部细化 115 R8W{[@ 6.6.8.1非局部细化参数 115 mPi4.p) 6.7 我应该使用哪种技术? 116 |*fGG?} 6.7.1 细化 116 WDP$w(M 6.7.2 合成 117 :&/'rMi<T 6.8 参考文献 117 /U`"Xx 7 导纳图及其他工具 118 SYw>P1 7.1 简介 118 |/Ggsfmby 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 A]WU*GL2H 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;xN4L 7.2.2 导纳图 120 <JuP+\JAm 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 ?N~rms
e 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 DKPX_:: 7.5 斜入射导纳图 141 NJI-8qTGI 7.6 对称周期 141 "S,,Bj L 7.7 参考文献 142 ol^OvG:TQ 8 典型的镀膜实例 143 ^GD"aerNr 8.1 单层抗反射薄膜 145 3T'9_v[Y 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u v%T0JA/ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 P bj &l0C 8.4 W-膜层 148 jav7V"$ 8.5 V-膜层 149 0/6f9A 8.6 V-膜层高折射基底 150 U,gg@!1GJo 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 ,gVA^]eDh 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 9G[!"eZ} 8.9 四层抗反射薄膜 153 >OgA3)X 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 D. fPHq 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4[44Eku\ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 Kyq/'9` 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 [6`8^-}? 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 ': 87.8$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 yTm/P!1S 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 H{x'I@+ 8.17 1/4波长堆栈 162 bX Q*d_]WT 8.18 陷波滤波器 163 6U Q~Fv`] 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 ]u?|3y^( 8.20 褶皱 165 b(Zh$ 86 8.21 消偏振分光器1 169 66(|3D X 8.22 消偏振分光器2 171 _D1Uc| 8.23 消偏振立体分光器 172 )\s{\u
\ 8.24 消偏振截止滤光片 173 x"9`w42\r 8.25 立体偏振分束器1 174 s!:'3[7+
8.26 立方偏振分束器2 177 "oz
: & #+ 8.27 相位延迟器 178 r7+"i9 8.28 红外截止器 179 J$F
1sy 8.29 21层长波带通滤波器 180 w[YiH $ 8.30 49层长波带通滤波器 181 1xP* 8.31 55层短波带通滤波器 182 <j,ZAA&5%Y 8.32 47 红外截止器 183 Z@2^> eC 8.33 宽带通滤波器 184
?12[8 8.34 诱导透射滤波器 186 t1}R#NB 8.35 诱导透射滤波器2 188 wXZ"}uT<} 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 eS-akx^@ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 mhVdsa 8.35 增益平坦滤波器 193
&OQ37(<_ 8.38 啁啾反射镜 1 196 'i+j;.
8.39 啁啾反射镜2 198 a> qB
k}) 8.40 啁啾反射镜3 199 JN)@bP 8.41 带保护层的铝膜层 200 PvF3a`&r 8.42 增加铝反射率膜 201 4zKmoYt 8.43 参考文献 202 I!1|);li 9 多层膜 204 >!sxX = < 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 1[p6v4qO{ 9.2 内部透过率 204 N!!=9'fGF 9.3 内部透射率数据 205 o1lhVM`15 9.4 实例 206 znnnqR0us 9.5 实例2 210 Gf71udaa 9.6 圆锥和带宽计算 212 o]/*YaB2> 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 tf[)Q:| 10 光学薄膜的颜色 216 CGw, RNV 10.1 导言 216 c||EXFS}O 10.2 色彩 216 %4' <0 10.3 主波长和纯度 220 >vQ8~*xd 10.4 色相和纯度 221 X!,huB^i 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 ^G(U@-0.. 10.6 色差 226 9UDanj P 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 SG\6qE~ 10.8 颜色渲染指数 234 rf?%- X(V 10.9 色差计算 235 eF-U
1ZJT 10.10 参考文献 236 fVf
@Ngvu 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 K}|zKTh:? 11.1 短脉冲 238 #1fL2nlP*E 11.2 群速度 239 Y%9$! 11.3 群速度色散 241 ]QC9y:3 11.4 啁啾(chirped) 245 .>#X *u 11.5 光学薄膜—相变 245 sg` 11.6 群延迟和延迟色散 246 QNbV=*F? 11.7 色度色散 246 ,="hI:*< 11.8 色散补偿 249 A |u-VXQ 11.9 空间光线偏移 256 )iX2r{ 11.10 参考文献 258 }TQa<;Q 12 公差与误差 260 ~aPe?{yIUa 12.1 蒙特卡罗模型 260 "hid3"G 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ;gGq\c 12.2.1 误差工具 267 ?7=c` 12.2.2 灵敏度工具 271 :A7\eN5 12.2.2.1 独立灵敏度 271 hKnAWKb0 12.2.2.2 灵敏度分布 275 =j~BAS*" 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [s4|+ 12.3 参考文献 276 bT7+$^NHf 13 Runsheet 与Simulator 277 rMWJ 13.1 原理介绍 277 3_bqDhVI5 13.2 截止滤光片设计 277 T<oDLJA\ 14 光学常数提取 289 7F2 WmMS 14.1 介绍 289 fn#qcZv? 14.2 电介质薄膜 289 %u}#|+8} 14.3 n 和k 的提取工具 295 Vx z` 14.4 基底的参数提取 302 P{,A% t 14.5 金属的参数提取 306 v}LI-~M>U 14.6 不正确的模型 306 ?wP/l 14.7 参考文献 311 `=V p 0tPI 15 反演工程 313 "%}24t% 15.1 随机性和系统性 313 )x+P9| 15.2 常见的系统性问题 314 'Zs3b4n8 15.3 单层膜 314 .0YcB 15.4 多层膜 314 gLm,;'h%u 15.5 含义 319 $J8g)cS 15.6 反演工程实例 319 =MU(!` 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 f$76p!pDa 15.6.2 反演工程提取折射率 327 C(8VXtx_ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 9>ajhFyOhX 16.1 光学性质的热致偏移 329 jB<B_" 16.2 应力工具 335 4< +f|(fIA 16.3 均匀性误差 339 ,eGguNA9 16.3.1 圆锥工具 339 cJerYRjsL 16.3.2 波前问题 341 Q6T"8K/ 16.4 参考文献 343 /WGD7\G'8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 }.a{;{y 17.1 引言 345 L{&>,ww 17.2 操作数 345 S B~opN 18 如何在Function中编写脚本 351
5@DCo 18.1 简介 351 Na$.VT 18.2 什么是脚本? 351 5vFM0 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 <2d)4@B= 18.4 基础 352 \ZM5J 18.4.1 Classes(类别) 352 B(WmJ6e 18.4.2 对象 352 yAAV,?:o[ 18.4.3 信息(Messages) 352 4E2#krE% 18.4.4 属性 352 =+LIGHIt 18.4.5 方法 353 4> uN H5 18.4.6 变量声明 353 _TLspqi 18.5 创建对象 354 NE.h/+4 18.5.1 创建对象函数 355 0SU v 5c 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 JH| D 18.5.3 丢弃对象 356 -oUGmV_ 18.5.4 总结 356 wmww7 18.6 脚本中的表格 357 el U %Z9 18.6.1 方法1 357 +oh |r'~ 18.6.2 方法2 357 =igTY1|af 18.7 2D Plots in Scripts 358 B{b?j*fHJ 18.8 3D Plots in Scripts 359 X!:J1'FE 18.9 注释 360 ep~+]7\ 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 wo+`WnDh 18.11 一个更高级的脚本 362 [(2^oTSRaq 18.12 <esc>键 364 ZJF"Yo 18.13 包含文件 365 `*cqT 18.14 脚本被优化调用 366 whYk"N 18.15 脚本中的对话框 368 je@&|9h 18.15.1 介绍 368 Td,d9M 18.15.2 消息框-MsgBox 368 >|, <9z`D 18.15.3 输入框函数 370 oKYa? 18.15.4 自定义对话框 371 *v%gNq 18.15.5 对话框编辑器 371 <o9AjASv\, 18.15.6 控制对话框 377 gyq6LRb
18.15.7 更高级的对话框 380 ZR
-RzT1 18.16 Types语句 384 qH0JZdk 18.17 打开文件 385 :1Nc6G 18.18 Bags 387 J90:c@O"w 18.13 进一步研究 388 BdMd\1eMw 19 vStack 389 ysZ(*K
n(? 19.1 vStack基本原理 389 $K+|bb 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 wm^1Fn-- 19.3 五棱镜 393 ^mjU3q{; 19.4 光束距离 396 KB^8Z@(+ 19.5 误差 399 %19~9Tw 19.6 二向分色棱镜 399 %f'=9pit 19.7 偏振泄漏 404 p6NPWaBR
19.8 波前误差—相位 405 U#[T!E 19.9 其它计算参数 405 H\V?QDn 20 报表生成器 406 kkfBVmuW 20.1 入门 406 X $V_ 20.2 指令(Instructions) 406 C+P.7]?& |