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m2\ZnC F1MPo;e 内容简介 iUSs) []H> Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 KqB(W,$ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 ]l&_Pv!! 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 JJ[J'xl@ 讯技科技股份有限公司 ~Uga=&
;i Ud3'* c)lMi}/ 目录 u QCQ$ Preface 1 u*PN1E 内容简介 2 Is%-r.i 目录 i 3D%I=p( 1 引言 1 +/AW6 2 光学薄膜基础 2 _L&C4 <e' 2.1 一般规则 2 ?;}2Z) 2.2 正交入射规则 3 `_z8DA}E 2.3 斜入射规则 6 /S P^fB*y 2.4 精确计算 7 @XB/9! 2.5 相干性 8 My=p>{s 2.6 参考文献 10 `)K1[& 3 Essential Macleod的快速预览 10 t[0gN:s 4 Essential Macleod的特点 32 ~
dmyS?Or 4.1 容量和局限性 33 ].`i`.T 4.2 程序在哪里? 33 Tpkm\_ 4.3 数据文件 35 _H@S(!
4.4 设计规则 35 opdi5e)jK 4.5 材料数据库和资料库 37 "TG}aS 4.5.1材料损失 38 h.G/HHz
4.5.1材料数据库和导入材料 39 Hz+edMUL 4.5.2 材料库 41 "4i(5|whp? 4.5.3导出材料数据 43 B
ljZ&wZW 4.6 常用单位 43 J
Wof<D, 4.7 插值和外推法 46 }&EPH}V2n 4.8 材料数据的平滑 50
;-U:t4 4.9 更多光学常数模型 54 \>M3E 4.10 文档的一般编辑规则 55 D1x~d<j 4.11 撤销和重做 56 Y+j|T`d 4.12 设计文档 57 7e>n{rl 4.10.1 公式 58 >a@-OJ.yOk 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 9?@M Zh 4.10.3 沉积密度 59 {n2jAR9nq 4.10.4 平行和楔形介质 60 _fa2ntuS=f 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 .gx*gX1< 4.10.4 性能 61 aElEV
e3 4.10.5 保存设计和性能 64 Tig`4d-% 4.10.6 默认设计 64 ZShRE"` 4.11 图表 64 ANi}q9SC 4.11.1 合并曲线图 67 \JN?3}_J 4.11.2 自适应绘制 68 jD'\\jAUdm 4.11.3 动态绘图 68 VbJGyjx 4.11.4 3D绘图 69 q9F(8-J
4.12 导入和导出 73 8T7[/"hi\ 4.12.1 剪贴板 73 :J}L| `U9 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 M|7xI 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 M)(
5S1ndq 4.13 背景 77 )0~zL} )? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 jQ(qaX&
4.15 生成Rugate 84 )>C,y`, 4.16 参考文献 91 `epO/Uu\~u 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 x>Q\j>^ 5.1 Jobs 92 3|l+&LF!IC 5.2 创建一个新Job(工作) 93 ?0Z?Z3)%w4 5.3 输入材料 94 h@@2vs2 5.4 设计数据文件夹 95 QUwSnotgU 5.5 默认设计 95 ixp(^>ZN 6 细化和合成 97 ##EMJi 6.1 优化介绍 97 $5s?m\!jZz 6.2 细化 (Refinement) 98 DF P0WXbOE 6.3 合成 (Synthesis) 100 0a ZplE, 6.4 目标和评价函数 101 3g^_Fq' 6.4.1 目标输入 102 H
Y\-sl^ 6.4.2 目标 103 $wub)^ 6.4.3 特殊的评价函数 104 fu"#C}{ 6.5 层锁定和连接 104 C`%cPl 6.6 细化技术 104 >5'C<jc C 6.6.1 单纯形 105 /*B-y$WQk 6.6.1.1 单纯形参数 106 &r;-=ASYzV 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 )Gh"(]-< 6.6.2.1 Optimac参数 108 Uf1i"VY 6.6.3 模拟退火算法 109 :Fm;0R@/k 6.6.3.1 模拟退火参数 109 M._9/
*C U 6.6.4 共轭梯度 111 +pkX$yz 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 4&Y{kNF 6.6.5 拟牛顿法 112 ,W'`rCxJ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ncuqo'r 6.6.6 针合成 113 i<m 1^a#C' 6.6.6.1 针合成参数 114 1 }%vZE2 6.6.7 差分进化 114 pIXbr($ 6.6.8非局部细化 115 []}E-
V 6.6.8.1非局部细化参数 115 5RrzRAxq 6.7 我应该使用哪种技术? 116 2g$PEwXe 6.7.1 细化 116 o $7:*jU 6.7.2 合成 117 XJ^dX]4 6.8 参考文献 117 /5b,& 7 导纳图及其他工具 118 fzT|{vG8 7.1 简介 118 wrSw> sE" 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 'avzESe~' 7.2.1 四分之一波长规则 119 (J
I4ibP 7.2.2 导纳图 120 ^_0zO$z, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 VJ8cls< 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 3MPmLV#f 7.5 斜入射导纳图 141 8E`A`z 7.6 对称周期 141 dUegHBw_`R 7.7 参考文献 142 qb'4x){ 8 典型的镀膜实例 143 e%Rg,dX 8.1 单层抗反射薄膜 145 o
EXN$SIs 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 HC_+7 O3A 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 pN|BtrN{ 8.4 W-膜层 148 E4idEQ}H 8.5 V-膜层 149 $Y&
8@/L 8.6 V-膜层高折射基底 150 6jyS]($q 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 JVy- Y 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 5 YjqN 8.9 四层抗反射薄膜 153 o/??w:' 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 2_k2t
? 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 4HG;v|Cp 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 G0*>S`:4 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 `=TV4h4 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 YGFE(t;lPU 8.15十五层宽带抗反射膜 159 %xv } 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^Y[.-MJt+ 8.17 1/4波长堆栈 162 oMey^]! 8.18 陷波滤波器 163 HG
kL6o= 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 U?]}K S;6 8.20 褶皱 165 1X.E: 8.21 消偏振分光器1 169 .{r 0Szm. 8.22 消偏振分光器2 171 .S4c<pMap 8.23 消偏振立体分光器 172 CNP!v\D 8.24 消偏振截止滤光片 173 \zOo[/-< 8.25 立体偏振分束器1 174 b{4@~>i 8.26 立方偏振分束器2 177 m
ioNMDG 8.27 相位延迟器 178 2aj9:S 8.28 红外截止器 179 K X0{dizZ 8.29 21层长波带通滤波器 180 X^Dklqqy 8.30 49层长波带通滤波器 181 +h*-9 8.31 55层短波带通滤波器 182 ^phgNzD 8.32 47 红外截止器 183 d!>.$|b 8.33 宽带通滤波器 184 tAPn? d5 8.34 诱导透射滤波器 186 at<N?r 8.35 诱导透射滤波器2 188 P)D2PVD
8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 3(&f!<Uy 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 uUmkk 8.35 增益平坦滤波器 193 q%&JAX= 8.38 啁啾反射镜 1 196 *BdKQ/Dk 8.39 啁啾反射镜2 198 K3g<NC 8.40 啁啾反射镜3 199 naOCa 8.41 带保护层的铝膜层 200 }(MI}o} 8.42 增加铝反射率膜 201 dbVMG-z8 8.43 参考文献 202 $F&m('aB8
9 多层膜 204 V7~tIhuJH 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 z.d1>w 9.2 内部透过率 204 WZh%iuI{C 9.3 内部透射率数据 205 , yd]R4M 9.4 实例 206 XWd;-%`< 9.5 实例2 210 v^A4%e<8^r 9.6 圆锥和带宽计算 212 u([|^~H] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 xOY
%14%Y 10 光学薄膜的颜色 216 @}{lp'8FYi 10.1 导言 216 `PoFKtVXM 10.2 色彩 216 =5l20
Um 10.3 主波长和纯度 220 Qvc$D{z 10.4 色相和纯度 221 ue8"_N 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 Xg4iH5!E 10.6 色差 226 oeKVcVP|'& 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 O-uno{Fd* 10.8 颜色渲染指数 234 !v fbgK 10.9 色差计算 235 <y`MUpf] 10.10 参考文献 236 A.YXK%A% 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 IoAG !cS 11.1 短脉冲 238 70Z#Ej 11.2 群速度 239 uCB>".'kM 11.3 群速度色散 241 ahoXQ8c:\} 11.4 啁啾(chirped) 245 6,~Y(# 11.5 光学薄膜—相变 245 =Ts5\1sc> 11.6 群延迟和延迟色散 246 Q# Yba 11.7 色度色散 246 ~vPR9\e 11.8 色散补偿 249 '73g~T%$^* 11.9 空间光线偏移 256 KHO@"+ 11.10 参考文献 258 C0`Bi:Ze 12 公差与误差 260 Q4R*yRk 12.1 蒙特卡罗模型 260 3bN]2\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 (/ qOY 12.2.1 误差工具 267 KkJrh@lk 12.2.2 灵敏度工具 271 'W_u1l/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271 "ZYdJHM 12.2.2.2 灵敏度分布 275 Vu=e|A# 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 t@vVE{` 12.3 参考文献 276 my]t[%Q{ 13 Runsheet 与Simulator 277 T1*%]6&V| 13.1 原理介绍 277 eJ
;a}{ 4% 13.2 截止滤光片设计 277 63PSYj(y 14 光学常数提取 289 =F<bAZ 14.1 介绍 289 b/soU2?^ 14.2 电介质薄膜 289 B?gFFU61 14.3 n 和k 的提取工具 295
YZdV0-S 14.4 基底的参数提取 302 x>!bvZ2 14.5 金属的参数提取 306 CqVeR';2 14.6 不正确的模型 306 ^ h?]$P 14.7 参考文献 311 JYw_Z*L=m 15 反演工程 313 ^:cc3wt'3[ 15.1 随机性和系统性 313 U_KCN09 15.2 常见的系统性问题 314 t6C2DHh7$ 15.3 单层膜 314 Fm#`}K_ 15.4 多层膜 314 7.y35y 15.5 含义 319 J\l'nqS" 15.6 反演工程实例 319 5Y4#aq 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 +ktubJ@Qgj 15.6.2 反演工程提取折射率 327 =nff;Xu 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 MHqk-4Mz 16.1 光学性质的热致偏移 329 dMw}4c3E 16.2 应力工具 335 MU>6s`6O 16.3 均匀性误差 339 uc>]-4
16.3.1 圆锥工具 339 : *8t,f~s^ 16.3.2 波前问题 341 <ebC]2j8cK 16.4 参考文献 343 ,CxIA^ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 'ju'O#A9 17.1 引言 345 wLa8&E |