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nlQ<Aa-% Pwn"!pk 内容简介 Iww.Nd2 Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 {+_pyL 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 &`[y] E' 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 {f3&s4xj= 讯技科技股份有限公司 K4b#
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uO%G,b {{7%z4l 目录 [#S}L(
Preface 1 /ldE (!^n 内容简介 2 g}
7FR({b 目录 i -
|n\
1 引言 1 "E =\Vz 2 光学薄膜基础 2 TR/'L!EE 2.1 一般规则 2 5-3`@ (/ 2.2 正交入射规则 3 ^|M\vO 2.3 斜入射规则 6 1bs8fUPB3 2.4 精确计算 7 ;3wj(o0 2.5 相干性 8 Bt[OGa(q 2.6 参考文献 10 Hg\+:}k&9 3 Essential Macleod的快速预览 10 :oh(M|;/2 4 Essential Macleod的特点 32 {_ti*# 4.1 容量和局限性 33 P#H|at 4.2 程序在哪里? 33 I?nj_ as 4.3 数据文件 35 `@eo <6 4.4 设计规则 35 )xYv$6= 4.5 材料数据库和资料库 37 !g{9]"Z1T 4.5.1材料损失 38 O *^= 4.5.1材料数据库和导入材料 39 )y&}c7xW 4.5.2 材料库 41 k$1ya7-@ 4.5.3导出材料数据 43 C50&SrnBU1 4.6 常用单位 43 H)tnxD0) 4.7 插值和外推法 46 G66A]FIg 4.8 材料数据的平滑 50 jsL\{I^> 4.9 更多光学常数模型 54 V~ph1Boz2 4.10 文档的一般编辑规则 55 W!|A3V35\: 4.11 撤销和重做 56 yG -1g0 4.12 设计文档 57 M il
![A1 4.10.1 公式 58 HH
=sq 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 ov>Rvy 4.10.3 沉积密度 59 EooQLZ 4.10.4 平行和楔形介质 60 k9H7(nS{ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 c#X9d8> 4.10.4 性能 61 Bwv@D4bii 4.10.5 保存设计和性能 64 [!9dA.tF 4.10.6 默认设计 64 v).V&": 4.11 图表 64 -{H;w=9 4.11.1 合并曲线图 67 )vVt{g 4.11.2 自适应绘制 68 mNS7/I\ 4.11.3 动态绘图 68 Pl(+&k`} 4.11.4 3D绘图 69 Zo`Ku+RL2' 4.12 导入和导出 73 *c'nPa$+|S 4.12.1 剪贴板 73 Fr/3Qp@S 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 z<2!| 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 ,Y
1&[ 4.13 背景 77 -=_bXco} 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 &<8Q/m]5 4.15 生成Rugate 84 + <AD 4.16 参考文献 91 $U=E7JO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 0?kaXD 5.1 Jobs 92 ;4XvlcGo 5.2 创建一个新Job(工作) 93 {B^V_TX2 5.3 输入材料 94 9+<%74|, 5.4 设计数据文件夹 95 i
oCoFj 5.5 默认设计 95
7-a[W 6 细化和合成 97 rUZRYF4C 6.1 优化介绍 97 ).aQ}Gwx^ 6.2 细化 (Refinement) 98 TS0x8,'$q 6.3 合成 (Synthesis) 100 D4
{?f<G0F 6.4 目标和评价函数 101 Fe8JsB- 6.4.1 目标输入 102 F\&Sn1>k 6.4.2 目标 103 -<rQOPH% 6.4.3 特殊的评价函数 104 |X&.+RI 6.5 层锁定和连接 104 +-_71rJc. 6.6 细化技术 104 O:02LHE 6.6.1 单纯形 105 _hP siZY9 6.6.1.1 单纯形参数 106 ~x<nz/^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 VrL==aTYXs 6.6.2.1 Optimac参数 108 BQYj"Wi 6.6.3 模拟退火算法 109 gq9D#B 6.6.3.1 模拟退火参数 109 \~V
ZY 6.6.4 共轭梯度 111 / S 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 b~F(2[o 6.6.5 拟牛顿法 112 scmn-4j'{ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 ~F5JN^5Y 6.6.6 针合成 113 J6x#c`Y 6.6.6.1 针合成参数 114 fQ>=\*b9x^ 6.6.7 差分进化 114 Nxk3uF^ 6.6.8非局部细化 115 hw[ jVx 6.6.8.1非局部细化参数 115 3w&fN3
1 6.7 我应该使用哪种技术? 116 IT,d(UV_ 6.7.1 细化 116 2+KOUd&jS 6.7.2 合成 117 QF^ _4Yn 6.8 参考文献 117 ~ou1{NS 7 导纳图及其他工具 118 Be"Swz(n 7.1 简介 118 z;Pr] *F 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 rBBA`Ut@F 7.2.1 四分之一波长规则 119 ;zy[xg.7 7.2.2 导纳图 120 !3~VoNh, 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 =n
$@ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 vCC}IDd 7.5 斜入射导纳图 141 X8!=Xjl) 7.6 对称周期 141 B35zmFX|}N 7.7 参考文献 142 `c
3IS5 8 典型的镀膜实例 143 .ZSG nbJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 3/sKRU 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 npcB+6 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 p#vZYwe=L 8.4 W-膜层 148 ^B9rt\,q 8.5 V-膜层 149 $`q8-+{ 8.6 V-膜层高折射基底 150 -VK6Fq 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 oZvQ/|:p! 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 T';<;6J** 8.9 四层抗反射薄膜 153 (s?`*i:2 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 Lo,z7"8 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 ibDMhW$n 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 $V"NB`T 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 n^QOGT.s6` 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 W#cr9"'Ta 8.15十五层宽带抗反射膜 159 X1* 6qd+E 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 F",]*>r 8.17 1/4波长堆栈 162 ,#^<0u+zrF 8.18 陷波滤波器 163 Mwdh]I,# 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 c"ukV_6~J 8.20 褶皱 165 >:l;W4j 8.21 消偏振分光器1 169 j!r4 p, 8.22 消偏振分光器2 171 /BWJ)6#H 8.23 消偏振立体分光器 172 UA4Q9<>~ 8.24 消偏振截止滤光片 173 x}TDb0V 8.25 立体偏振分束器1 174 f_1#>] 8.26 立方偏振分束器2 177 fn|l9k~ <O 8.27 相位延迟器 178 a,Gd\.D 8.28 红外截止器 179 fgFBOpG%Gq 8.29 21层长波带通滤波器 180 7I;Give{ 8.30 49层长波带通滤波器 181 Y""-U3;T~ 8.31 55层短波带通滤波器 182 9GnNL I{ 8.32 47 红外截止器 183 o/I <)sa 8.33 宽带通滤波器 184 9%\<x 8.34 诱导透射滤波器 186 p},6W,f 8.35 诱导透射滤波器2 188 -&Fxg>FrYb 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 @+",f] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 IY|;}mIF 8.35 增益平坦滤波器 193 1E Lzzn 8.38 啁啾反射镜 1 196 ok5
{c 8.39 啁啾反射镜2 198 mwFI89J' 8.40 啁啾反射镜3 199 7BCCQsz< 8.41 带保护层的铝膜层 200 -B2>~#L 8.42 增加铝反射率膜 201 w<_.T# 8.43 参考文献 202 ]B>Y
+ 9 多层膜 204 P,RCbPC4 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 z602(mxGg 9.2 内部透过率 204 iV#JJ-OBq 9.3 内部透射率数据 205 |u)?h]> 9.4 实例 206 6w K= 9.5 实例2 210 HzB&+c?Z 9.6 圆锥和带宽计算 212 ToJV.AdfT 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 b:7;zOtF 10 光学薄膜的颜色 216 \()\pp~4 10.1 导言 216 ?8Cxt|o> 10.2 色彩 216 Kzxzz6R? 10.3 主波长和纯度 220 JGIN<J85e 10.4 色相和纯度 221 7\^b+* 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 gcr,?rE< 10.6 色差 226 E66e4?" 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ?PWD[mQE\ 10.8 颜色渲染指数 234 xMtl<Na
10.9 色差计算 235 MxxY MR 10.10 参考文献 236 NTiJEzW} 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 A<iF37. 11.1 短脉冲 238 :c,\8n 11.2 群速度 239 ?)Lktn9% 11.3 群速度色散 241 4UoUuKzt 11.4 啁啾(chirped) 245 Js qze'BGY 11.5 光学薄膜—相变 245 /-4i"| 11.6 群延迟和延迟色散 246 @{.rDz 11.7 色度色散 246 BW:&AP@B 11.8 色散补偿 249 +IVVsVp 11.9 空间光线偏移 256 r4NI(\gU 11.10 参考文献 258 ~=%eOoZP;c 12 公差与误差 260 <_MQC 12.1 蒙特卡罗模型 260 {AIP\ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 yyk[oH-Q 12.2.1 误差工具 267 t=S94^g 12.2.2 灵敏度工具 271 HeGGAjc 12.2.2.1 独立灵敏度 271 ]*}*zXN/E 12.2.2.2 灵敏度分布 275 +n9&q#ah 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 [x!T<jJ 12.3 参考文献 276 u4$d#0sA 13 Runsheet 与Simulator 277 ]V]~I. 13.1 原理介绍 277 PK3)M'[ 13.2 截止滤光片设计 277 n_v c}ame 14 光学常数提取 289 9{ i6g+ 14.1 介绍 289 bEbO){Fe 14.2 电介质薄膜 289 a%ec: % 14.3 n 和k 的提取工具 295 n5UcivyX
14.4 基底的参数提取 302 OdRXNk:k-j 14.5 金属的参数提取 306 3-32q)8 14.6 不正确的模型 306 ~n]:f7?I 14.7 参考文献 311 F#4?@W 15 反演工程 313 ..<(HH2 15.1 随机性和系统性 313 ]S,I}NP 15.2 常见的系统性问题 314 {FQ
dDIj# 15.3 单层膜 314 MnKEZ: 2 15.4 多层膜 314 |\?-k 15.5 含义 319 C_O7 15.6 反演工程实例 319 BAmH2" 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 QEUg=*3W= 15.6.2 反演工程提取折射率 327 ('
`) m 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 M0c"wi@S_ 16.1 光学性质的热致偏移 329 ~ ;)@a 16.2 应力工具 335 E_WiQ?p
16.3 均匀性误差 339 "5XD+qi 16.3.1 圆锥工具 339 5[I> l 16.3.2 波前问题 341 Jd1eOeS 16.4 参考文献 343 JEY%(UR8 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 3dadeu^{A 17.1 引言 345 o,bV.O.W 17.2 操作数 345 '.WYs! 18 如何在Function中编写脚本 351 f(D?g 18.1 简介 351 3zWY%(8t4? 18.2 什么是脚本? 351 }}t"^m s 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 R(pvUm&L 18.4 基础 352 34JkB+#a 18.4.1 Classes(类别) 352 3p!R4f)GN 18.4.2 对象 352 ?\$77k 18.4.3 信息(Messages) 352 \jq1F9, 18.4.4 属性 352 .h~)|"uzW 18.4.5 方法 353 w^R5/#F_r 18.4.6 变量声明 353 (jY.S|% 18.5 创建对象 354 J_rCo4} 18.5.1 创建对象函数 355 W'gCFX 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 \iowAo$ 18.5.3 丢弃对象 356 5Odi\SJ& 18.5.4 总结 356 a^Zn
}R r 18.6 脚本中的表格 357 Ku,Efr 18.6.1 方法1 357 !3yR?Xem} 18.6.2 方法2 357 D
?,P\cp 18.7 2D Plots in Scripts 358 {j:{wW. 18.8 3D Plots in Scripts 359 j nI)n* 18.9 注释 360 1+#Vj# 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 Fdc bmQ 18.11 一个更高级的脚本 362 T'Jw\u>"R 18.12 <esc>键 364 wQ.ild 18.13 包含文件 365 J=4S\0Z* 18.14 脚本被优化调用 366 LfgR[! 18.15 脚本中的对话框 368 b;soMilz 18.15.1 介绍 368 c$uV8_ V 18.15.2 消息框-MsgBox 368 & rw|fF|] 18.15.3 输入框函数 370 /#>?wy<s~ 18.15.4 自定义对话框 371 Pq7YJ"Z?: 18.15.5 对话框编辑器 371 lZn <v'y 18.15.6 控制对话框 377 Grjm9tbX} 18.15.7 更高级的对话框 380 Q~-g tEv+& 18.16 Types语句 384 >-)i_C2 18.17 打开文件 385 >b{%j8uM 18.18 Bags 387 zI7-xqZ 18.13 进一步研究 388 *"9b?`E 19 vStack 389 83TN6gW 19.1 vStack基本原理 389 KsUsj3J 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 L]HY*e 19.3 五棱镜 393 h+Dg"j<[ 19.4 光束距离 396 v`Sllv5bV 19.5 误差 399 :kFWUs= 19.6 二向分色棱镜 399 Z71"d" 19.7 偏振泄漏 404 i$og
v2J 19.8 波前误差—相位 405 sBRw#xyS 19.9 其它计算参数 405 Q`19YX 20 报表生成器 406 cHJ
&a`; 20.1 入门 406 ej!C^ 20.2 指令(Instructions) 406 2^qY,dL 20.3 页面布局指令 406 y'4= 20.4 常见的参数图和三维图 407 d(v )SS 20.5 表格中的常见参数 408 fep#Kb%"e 20.6 迭代指令 408 )}u.b-Nt. 20.7 报表模版 408 vNJ!i\bX 20.8 开始设计一个报表模版 409 AeUwih.
4 21 一个新的project 413 bcj7.rh]'h 21.1 创建一个新Job 414 rvr Ok 21.2 默认设计 415 C'5i>; 21.3 薄膜设计 416 vZXyc* 21.4 误差的灵敏度计算 420 ]Ff&zBJ 21.5 显色指数计算 422 umls=iz 21.6 电场分布 424 s*]1d*B! 后记 426
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