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?5U2D%t IC#>X5 内容简介 d_AK`wR Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。 FqkDKTS\& 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 $"`- ^ 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 3Vsc 9B"w 讯技科技股份有限公司 q`|LRz&al
uXI_M) l/BLUl~z 目录 GT~)nC9f Preface 1 *"R|4"uy 内容简介 2 ;lq;X{/ 目录 i /,1D)0 1 引言 1 dI*pDDq# 2 光学薄膜基础 2 5j:0Yt 2.1 一般规则 2 I'\kFjc 2.2 正交入射规则 3 *Nw&_<\9Q 2.3 斜入射规则 6 F|F]970 2.4 精确计算 7 ^:K3vC[h;c 2.5 相干性 8 WzAb|&? 2.6 参考文献 10 `kOD[* 3 Essential Macleod的快速预览 10 2]I4M[|&z 4 Essential Macleod的特点 32 flk=>h| 4.1 容量和局限性 33 _ 6O\W%it 4.2 程序在哪里? 33 7x#Ckep:I 4.3 数据文件 35 ,O.3&Nz,c 4.4 设计规则 35 d1T,eJ} 4.5 材料数据库和资料库 37 vK 7^*qr;j 4.5.1材料损失 38 cYFiJJLG] 4.5.1材料数据库和导入材料 39 4 d;|sI@ 4.5.2 材料库 41 pR
`>b 3 4.5.3导出材料数据 43 t]>Lh>G 4.6 常用单位 43 r9X?PA0f 4.7 插值和外推法 46 jL(qf~c_ 4.8 材料数据的平滑 50 =fu
:@+ 4.9 更多光学常数模型 54 ">~.$Jp_4 4.10 文档的一般编辑规则 55 "Weg7mc# 4.11 撤销和重做 56 iDMJicW!+F 4.12 设计文档 57 q+P|l5_
t 4.10.1 公式 58 Rz(QC\( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 xG}(5Tt 4.10.3 沉积密度 59 e:DkGy`-s 4.10.4 平行和楔形介质 60 Z&0'a 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 `^bgUmJ~ 4.10.4 性能 61 PH `9MXh 4.10.5 保存设计和性能 64 ^m?KRm2 4.10.6 默认设计 64 }~#pEX~j* 4.11 图表 64 6;C3RU] 4.11.1 合并曲线图 67 ] x\-$~E 4.11.2 自适应绘制 68 "[vu6 `m? 4.11.3 动态绘图 68 cU0s
p 4.11.4 3D绘图 69 Is]aj-#r 4.12 导入和导出 73 !xP8#|1 4.12.1 剪贴板 73 ZaeqOVp/j 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 *&?c(JU;< 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 Ae69>bkE0 4.13 背景 77 bSsh^Z 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 k9$K} 4.15 生成Rugate 84 cU ?0(z7 4.16 参考文献 91 ^[]}R: 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 8i6Ps$T 5.1 Jobs 92 "J+3w 5.2 创建一个新Job(工作) 93 $wmvKQc{lx 5.3 输入材料 94 |_o=^?z' 5.4 设计数据文件夹 95 SGh1 DB 5.5 默认设计 95 i-bJS6 6 细化和合成 97 %FXfqF9 6.1 优化介绍 97 T_sTC)&a 6.2 细化 (Refinement) 98 S>.SSXlM 6.3 合成 (Synthesis) 100 O<96/a' 6.4 目标和评价函数 101 fQ/
0R 6.4.1 目标输入 102 t=_J9| 6.4.2 目标 103 {LX.iH9}l 6.4.3 特殊的评价函数 104 XEn*?.e 6.5 层锁定和连接 104 { T4 6.6 细化技术 104 Gqcq,_?gt 6.6.1 单纯形 105 la( <8 6.6.1.1 单纯形参数 106 4!+pc-}- 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 '3TW [!m 6.6.2.1 Optimac参数 108 Swp;HW7x 6.6.3 模拟退火算法 109 uwa~-xX6 6.6.3.1 模拟退火参数 109 1U^A56CN 6.6.4 共轭梯度 111 ox:[f9.5 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 "`M?R;DH 6.6.5 拟牛顿法 112 2R=DB`3 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 rFaF
Bd 6.6.6 针合成 113 )t$,e2FY 6.6.6.1 针合成参数 114 p!sWYui 6.6.7 差分进化 114 }Z{=|rVE 6.6.8非局部细化 115 ta`N8vnf 6.6.8.1非局部细化参数 115 j7sKsbb 6.7 我应该使用哪种技术? 116 p3]_}Y
D[# 6.7.1 细化 116 2P/K
K 6.7.2 合成 117 f 1w~!O9 6.8 参考文献 117 ?CC"Yij 7 导纳图及其他工具 118 kGdt1N[ 7.1 简介 118 #{k|I$ 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 FDVcow*] n 7.2.1 四分之一波长规则 119 kqce[hgs< 7.2.2 导纳图 120 w QNxL5B 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 YyTSyP4 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 ms!r ef4`+ 7.5 斜入射导纳图 141 TUHi5K 7.6 对称周期 141 SVv;q?jZ 7.7 参考文献 142 =+-Yxh|* 8 典型的镀膜实例 143 S+'rG+NJ 8.1 单层抗反射薄膜 145 +n<k)E@>J 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 Ga# :P F0 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 Z^]|o<.<I 8.4 W-膜层 148 @J5Jpt*IE 8.5 V-膜层 149 C8vOE`U,J 8.6 V-膜层高折射基底 150 UB 6mqjPK 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 JJ{9U(`_y6 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 z)z{3rR|PW 8.9 四层抗反射薄膜 153 5B&;uY 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 0
;b[QRmy 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 K_2|_MLlZ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &^}6
9 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 U Z|HJ8_ 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 PH>
b-n 8.15十五层宽带抗反射膜 159 VQ0fS!5' 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 Qu}W/j|3 8.17 1/4波长堆栈 162 &}?$i7x5 8.18 陷波滤波器 163 mt5KbA>nU 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 HsnLm67' 8.20 褶皱 165 l5g$vh\aQ] 8.21 消偏振分光器1 169 C4hx@abA 8.22 消偏振分光器2 171 ZTU&,1Y ; 8.23 消偏振立体分光器 172 ;x:rZV/ 8.24 消偏振截止滤光片 173 lY{FSGp 8.25 立体偏振分束器1 174 G7)Fk%> 8.26 立方偏振分束器2 177 'Hi:
2Wh 8.27 相位延迟器 178 GrTulN? 8.28 红外截止器 179 =e gW 8.29 21层长波带通滤波器 180 c%[#~;E 8.30 49层长波带通滤波器 181 #
eCjn 8.31 55层短波带通滤波器 182 e|&6$A>4] 8.32 47 红外截止器 183 ?V}j`r8|\4 8.33 宽带通滤波器 184 E\IlF 6 8.34 诱导透射滤波器 186 y_HN6 8.35 诱导透射滤波器2 188 2*N_5&9mE 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 /Nr*`l 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 t=u
Qb= 8.35 增益平坦滤波器 193 {X*^s5{;H 8.38 啁啾反射镜 1 196
1~l
I8 8.39 啁啾反射镜2 198 +&Hr4@pgW 8.40 啁啾反射镜3 199 N.4q. 8.41 带保护层的铝膜层 200 c-g)eV|)S 8.42 增加铝反射率膜 201 M)+$wp 8.43 参考文献 202 52b*[tZ 9 多层膜 204 t9Y=m6 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 f m(e3] 9.2 内部透过率 204 KAsS[ 9.3 内部透射率数据 205 {q<03d~9|G 9.4 实例 206 ,(.MmP` 9.5 实例2 210 N gLU$/y; 9.6 圆锥和带宽计算 212
bu=?N 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 6m VuyI 10 光学薄膜的颜色 216 K]U;?h&CZc 10.1 导言 216 Qc[3Fq,f 10.2 色彩 216 @ JvPx 0 10.3 主波长和纯度 220 DhX#E& 10.4 色相和纯度 221 % ,N< 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 52.>+GC 10.6 色差 226 $t5V=}m> 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 ,^gyH
\ 10.8 颜色渲染指数 234 <H0R&l\ 10.9 色差计算 235 :> & fV 10.10 参考文献 236 M:P0m6ie 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 '{[5M!B 11.1 短脉冲 238 }U
SC1J 11.2 群速度 239 BW"&6t#kA 11.3 群速度色散 241 FSRm| 11.4 啁啾(chirped) 245 McoK@q; 11.5 光学薄膜—相变 245 ifo7%XPcg 11.6 群延迟和延迟色散 246 gtYAHi 11.7 色度色散 246 w=|GJ0 11.8 色散补偿 249 _:+
KMR 11.9 空间光线偏移 256 >XOiu#kC 11.10 参考文献 258 [w\9as/ E 12 公差与误差 260 K_
lVISBQ 12.1 蒙特卡罗模型 260 :QWq"cBem 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 \`, [)` 12.2.1 误差工具 267 \}~s2Y5j 12.2.2 灵敏度工具 271 %L [&,a 12.2.2.1 独立灵敏度 271 W5^.-B,(K 12.2.2.2 灵敏度分布 275 .))v0 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 6YuY|JD 12.3 参考文献 276 peJKNX.!q 13 Runsheet 与Simulator 277 Z4){
7|~a 13.1 原理介绍 277 [ >^PRs 13.2 截止滤光片设计 277 DAg58
=qJ 14 光学常数提取 289 QI]Ih 14.1 介绍 289 7 ~ztwL 14.2 电介质薄膜 289 ~2d:Q6 14.3 n 和k 的提取工具 295 zZiJ 9 e 14.4 基底的参数提取 302 &20P,8@ 14.5 金属的参数提取 306 s/:Fwr4q#a 14.6 不正确的模型 306 A:y.s;<L0 14.7 参考文献 311 #q3l!3\mW 15 反演工程 313 9S[XTU 15.1 随机性和系统性 313 -`f04_@>d 15.2 常见的系统性问题 314 ]#/4Y_d 15.3 单层膜 314 JlKM+UE: 15.4 多层膜 314 ]I/Vb s 15.5 含义 319 cst}Ibfi 15.6 反演工程实例 319
`VQb-V 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 BZb]SoAL 15.6.2 反演工程提取折射率 327 83cW=?UgA 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 h;V,n 16.1 光学性质的热致偏移 329 r-kMLw/)
16.2 应力工具 335 ]APvp.Tw: 16.3 均匀性误差 339 Qp2I[Ioz3 16.3.1 圆锥工具 339 NNG}M(/V 16.3.2 波前问题 341 okq[ o90 16.4 参考文献 343 O+=vEp( 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 H0a/(4/xg 17.1 引言 345 ;NV'W] 17.2 操作数 345 Jdy<w&S 18 如何在Function中编写脚本 351 0)9"M.AIvo 18.1 简介 351 ?3Ij*}_O2 18.2 什么是脚本? 351 0W`LVue 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 yMLOUUWa8x 18.4 基础 352 kCUT ^ 18.4.1 Classes(类别) 352 aTGdmj! 18.4.2 对象 352 w(1Gi$Z(Q) 18.4.3 信息(Messages) 352 gPzL*6OSA 18.4.4 属性 352 qQxz(}REu9 18.4.5 方法 353 "Lh 18.4.6 变量声明 353 vRA',(]( 18.5 创建对象 354 BpO9As 1um 18.5.1 创建对象函数 355 *m+5Pr`7 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 K?#]("De6 18.5.3 丢弃对象 356 ,jy*1Hjd 18.5.4 总结 356 ^*R(!P^ 18.6 脚本中的表格 357 &X`u9 V 18.6.1 方法1 357 :L0/V~D 18.6.2 方法2 357 Io2mWvu?5 18.7 2D Plots in Scripts 358 .Qt4&B 18.8 3D Plots in Scripts 359 1Q}mf !Y 18.9 注释 360 ~un%4]U 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 `-B+JQmen 18.11 一个更高级的脚本 362 lEPAP|~uw 18.12 <esc>键 364 o@lWBfB*%e 18.13 包含文件 365 "`A :(<x 18.14 脚本被优化调用 366 *.f2VQ~H 18.15 脚本中的对话框 368 v_PdOp[
k 18.15.1 介绍 368 L6
6-LMkH 18.15.2 消息框-MsgBox 368 v|
z08\a[ 18.15.3 输入框函数 370 Qq0l*)mX 18.15.4 自定义对话框 371 V'Qn sI 18.15.5 对话框编辑器 371 6S?x
D5( 18.15.6 控制对话框 377 yy2Ie 18.15.7 更高级的对话框 380 FM^9}* 18.16 Types语句 384 K&A;Z>l,v5 18.17 打开文件 385 }xn_6 18.18 Bags 387 W( *V2<$o 18.13 进一步研究 388 ned2lC&'d> 19 vStack 389 h`MdKX$ 19.1 vStack基本原理 389 RE46k`44 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 @?B6aD|jE 19.3 五棱镜 393 $%c{06Oq( 19.4 光束距离 396 1M%S
gV-# 19.5 误差 399 N4^5rrkL 19.6 二向分色棱镜 399 s[3fqdLP& 19.7 偏振泄漏 404 F=@i6ERi 19.8 波前误差—相位 405 #P2;K
dDO 19.9 其它计算参数 405 /k:$l9C[ 20 报表生成器 406 SKXBrD=- 20.1 入门 406 8zQfY^/{M 20.2 指令(Instructions) 406 +1{fzb>9_ 20.3 页面布局指令 406 ((DzUyK 20.4 常见的参数图和三维图 407 2%rLoL$Y2+ 20.5 表格中的常见参数 408 2BB<mv
K4 20.6 迭代指令 408 S;@ay/*~ 20.7 报表模版 408 eE:&qy^ 20.8 开始设计一个报表模版 409 PE@+w#i7* 21 一个新的project 413 x%BF{Sw 21.1 创建一个新Job 414 (L69{n 21.2 默认设计 415 L&w.j0fq 21.3 薄膜设计 416 -rY 7)= 21.4 误差的灵敏度计算 420 vahoSc;sw 21.5 显色指数计算 422 ZykrQ\q9 21.6 电场分布 424 9zKBO* p` 后记 426 |w)5;uQ&\ 有兴趣扫码联系
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