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'zi5ihiT VO#]IXaP 内容简介 ;:8_H0X'K Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》。
4\dc 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。 mY#[D;mUe 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。 ^nFa'= 讯技科技股份有限公司 m"X0Owx
?f CLiK u <D&RT 目录 [[oX$0Fp\! Preface 1 F+*:
>@3 内容简介 2 K?(ls$ 目录 i ]^/:Xsk$ 1 引言 1 ^HX={(ddK 2 光学薄膜基础 2 hTf]t 2.1 一般规则 2 r >u0Y 2.2 正交入射规则 3 DZR kK3 2.3 斜入射规则 6 P[%
W[E< 2.4 精确计算 7 #@3RYx 2.5 相干性 8 O&E1(M|*> 2.6 参考文献 10 gO gZ 3 Essential Macleod的快速预览 10 (s,Nq~O 4 Essential Macleod的特点 32 Uk6Y6mU V 4.1 容量和局限性 33 ZQsE07 4.2 程序在哪里? 33 8/ZJkI 4.3 数据文件 35 E9!IGci 4.4 设计规则 35 S2;{)"mS 4.5 材料数据库和资料库 37 v^HDR 3I 4.5.1材料损失 38 XDz![s 4.5.1材料数据库和导入材料 39 r/Qq-1E 4.5.2 材料库 41 H.v`JNs( 4.5.3导出材料数据 43 4Y Xtl+G 4.6 常用单位 43 ZgZ}^x 4.7 插值和外推法 46 n|yl3v 4.8 材料数据的平滑 50 EYcvD^!1g 4.9 更多光学常数模型 54 \aU^c24> 4.10 文档的一般编辑规则 55 q'hMf?_ 4.11 撤销和重做 56 $/Zsy6q: 4.12 设计文档 57 *x)WF;(]g 4.10.1 公式 58 B`T|M$Ug 4.10.2 更多关于膜层厚度 59 !M)! 4.10.3 沉积密度 59 2:&8FdU 4.10.4 平行和楔形介质 60 t \Fc < 4.10.5 渐变折射率和散射层 60 =LZj6' 4.10.4 性能 61 tA3]6SIK@ 4.10.5 保存设计和性能 64 zTAt% w5 4.10.6 默认设计 64 !b7]n-1zs 4.11 图表 64 R^f~aLl 4.11.1 合并曲线图 67 ^qIp+[/' 4.11.2 自适应绘制 68 {!o-y= 4.11.3 动态绘图 68 9K Ih}Q@P 4.11.4 3D绘图 69 />FrMz8;( 4.12 导入和导出 73 4ME8NEE 4.12.1 剪贴板 73 wU2y<?$\8 4.12.2 不通过剪贴板导入 76 7iLm_#M 4.12.3 不通过剪贴板导出 76 DSizr4R 4.13 背景 77 /FkLZm 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80 agM.-MK 4.15 生成Rugate 84 *P61q\2Z 4.16 参考文献 91 " 5synfO 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92 UH%oGp$ykX 5.1 Jobs 92 HP3~.1Sp 5.2 创建一个新Job(工作) 93 E@JxY 5.3 输入材料 94 L<1"u.3Z`} 5.4 设计数据文件夹 95 (=QaAn,,R 5.5 默认设计 95 -l`@pklQ 6 细化和合成 97 <{[AG3/Zj4 6.1 优化介绍 97 &Sa<&2W4S 6.2 细化 (Refinement) 98 x
+q"%9.c 6.3 合成 (Synthesis) 100 B(:Kw;r? 6.4 目标和评价函数 101 &A*oQ3 6.4.1 目标输入 102 K.*?\)& 6.4.2 目标 103 f0IljY!. 6.4.3 特殊的评价函数 104 P9B@2# 6.5 层锁定和连接 104 rPaD#GA[7 6.6 细化技术 104 3+EJ% 6.6.1 单纯形 105 _>dqz(8# 6.6.1.1 单纯形参数 106 2GqPS 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107 JAC W#'4hV 6.6.2.1 Optimac参数 108 vk5pnCM^3 6.6.3 模拟退火算法 109 [YHvyfk~_ 6.6.3.1 模拟退火参数 109 Wey-nsk 6.6.4 共轭梯度 111 pnxjuDN7}x 6.6.4.1 共轭梯度参数 111 (e=ksah3> 6.6.5 拟牛顿法 112 Jj fNH
~ 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112 H'q&1^w) 6.6.6 针合成 113 \xDu#/^ 6.6.6.1 针合成参数 114 Jtd@8fVi 6.6.7 差分进化 114 1.p?P]
. 6.6.8非局部细化 115 umcbIi(' 6.6.8.1非局部细化参数 115 ,^26.p$ 6.7 我应该使用哪种技术? 116 {;n?c$r 6.7.1 细化 116 7@fd[ 6.7.2 合成 117 ,RCjfXa 6.8 参考文献 117 }h+a8@ 7 导纳图及其他工具 118 nKu`Ta*fX 7.1 简介 118 R>/M>*C 7.2 薄膜作为导纳的变换 118 7KRc^ *pZs 7.2.1 四分之一波长规则 119 pr;<n\Y{ 7.2.2 导纳图 120 D'fP2?3FK 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124 'x+0
yd 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125 u\t[rC=yd 7.5 斜入射导纳图 141 0WF(Ga/o 7.6 对称周期 141 +GP"9S2%R 7.7 参考文献 142 >z>UtT: 8 典型的镀膜实例 143 puZ<cV
e/ 8.1 单层抗反射薄膜 145 Ef%8+_ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146 u+I-!3J87 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147 _q6+] 8.4 W-膜层 148 2*K0~ b` 8.5 V-膜层 149 _N/]&|.. ! 8.6 V-膜层高折射基底 150 K8|6r|x 8.7 V-膜层高折射率基底b 151 *n}9_V% 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152 B|:{.U@ne 8.9 四层抗反射薄膜 153 1Y}gki^F 8.10 Reichert抗反射薄膜 154 R3?~+y& 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155 PO&xi9_ 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156 &=$8
v"&^ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157 82O`<Ci 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158 Zr}`W\ 8.15十五层宽带抗反射膜 159 5Hr(9) 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161 ^ /
f*5k 8.17 1/4波长堆栈 162 <(BA ws(X 8.18 陷波滤波器 163 a P{xMB#1h 8.19 厚度调制陷波滤波器 164 R)<Fqa7Tm 8.20 褶皱 165 hZ2PP ^ 8.21 消偏振分光器1 169 I=(O,*+PQ 8.22 消偏振分光器2 171 X){F^1CT{ 8.23 消偏振立体分光器 172 }-r"W7]k 8.24 消偏振截止滤光片 173 Tw!x* 8.25 立体偏振分束器1 174 6Otv[8^} 8.26 立方偏振分束器2 177 &cpRB&bf 8.27 相位延迟器 178 ?a}eRA7 8.28 红外截止器 179 \R79^ 8.29 21层长波带通滤波器 180 5VG@Q% 8.30 49层长波带通滤波器 181 *
+OAc`8 8.31 55层短波带通滤波器 182 f{3FoN=z 8.32 47 红外截止器 183 }PED#Uv 8.33 宽带通滤波器 184 Y Nq<%i!> 8.34 诱导透射滤波器 186 m.V mS7_I 8.35 诱导透射滤波器2 188 t8?+yG; 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190 (/@o7&>*50 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192 R`1$z8$ 8.35 增益平坦滤波器 193 $<ZX};/D 8.38 啁啾反射镜 1 196 =602%ef\ 8.39 啁啾反射镜2 198 \s~W;m 8.40 啁啾反射镜3 199 QQ!,W': 8.41 带保护层的铝膜层 200 l" sR\`~ 8.42 增加铝反射率膜 201 :-6_X< 8.43 参考文献 202 ^xqh! 9 多层膜 204 :"QRB#EC% 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204 BwEL\*$g 9.2 内部透过率 204 brTB
/(E 9.3 内部透射率数据 205 <78>6u/W% 9.4 实例 206 I gFz[)
9.5 实例2 210 ;nh7Elk 9.6 圆锥和带宽计算 212 VKR6 i 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214 OmoY] 8N} 10 光学薄膜的颜色 216 B"Fg`s+]U 10.1 导言 216 C
y&L, 10.2 色彩 216 c!841~p(Q 10.3 主波长和纯度 220 _')KDy7 10.4 色相和纯度 221 v
WhtClJ3 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222 P AKh v.7 10.6 色差 226 wkIH<w|jb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227 UyF]gO 10.8 颜色渲染指数 234 OKf/[hyu 10.9 色差计算 235 IF1?/D"< 10.10 参考文献 236 KRXe\Sx 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238 `mWg$e, 11.1 短脉冲 238 oa9T3gQ? 11.2 群速度 239 |faXl3| 11.3 群速度色散 241 tGf 11.4 啁啾(chirped) 245 PMTyiwlm 11.5 光学薄膜—相变 245 dvXu?F55 11.6 群延迟和延迟色散 246 ]"YG7|E U 11.7 色度色散 246 (JF\%Yj/ 11.8 色散补偿 249 *sw$OnVb 11.9 空间光线偏移 256 XDI@mQmzB 11.10 参考文献 258 T
%cN(0@ 12 公差与误差 260 ZAiQofQ:2 12.1 蒙特卡罗模型 260 J7l1- 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267 ml3]CcKn 12.2.1 误差工具 267 9^aMmN&6N2 12.2.2 灵敏度工具 271 n=yFw\w' 12.2.2.1 独立灵敏度 271 c3Mql+@ 12.2.2.2 灵敏度分布 275 `U;4O)`n 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276 \y0abxIHS 12.3 参考文献 276 U|y+k` 13 Runsheet 与Simulator 277 |~Z+Xla 13.1 原理介绍 277 0<P
-` |X 13.2 截止滤光片设计 277 7Y$p3]0e+ 14 光学常数提取 289 J@)6]d/, 14.1 介绍 289 $:<KG&Br 14.2 电介质薄膜 289 0&w.QoZY( 14.3 n 和k 的提取工具 295 43(+3$V M7 14.4 基底的参数提取 302 D vK}UAj= 14.5 金属的参数提取 306 NDI|; 14.6 不正确的模型 306 2pB@qi-] 14.7 参考文献 311 Q*lZ;~R 15 反演工程 313 |#MA?oz3T 15.1 随机性和系统性 313 ^c-1wV`/ 15.2 常见的系统性问题 314 WO
'33Q( 15.3 单层膜 314 eR;cl$ 15.4 多层膜 314 D+k5e= 15.5 含义 319 jLZ~9FXF2 15.6 反演工程实例 319 gE:qMs; 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320 ^(a %B 15.6.2 反演工程提取折射率 327 Z!ub`coV[ 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329 NB>fr#pb 16.1 光学性质的热致偏移 329 )WBTqML[ 16.2 应力工具 335 q,+d\-+ 16.3 均匀性误差 339 y&SueU= 16.3.1 圆锥工具 339 CRS/qso[Q' 16.3.2 波前问题 341 y=q\1~] Z 16.4 参考文献 343 1'}~;?_ 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345 yyBy|7QgO 17.1 引言 345 :}j{ NM# 17.2 操作数 345 b~cN#w
# 18 如何在Function中编写脚本 351 O[q {y 18.1 简介 351 ` NcWy 18.2 什么是脚本? 351 3VKArv- 18.3 Function中脚本和操作数对比 351 [['un\~r~ 18.4 基础 352 iGm[fxQ| 18.4.1 Classes(类别) 352 e>MC
3D`5 18.4.2 对象 352 rbs:qLa% 18.4.3 信息(Messages) 352 qM]eK\q 1 18.4.4 属性 352 q *-q5FE 18.4.5 方法 353 \J:/l|h 18.4.6 变量声明 353 Lymy/9 18.5 创建对象 354 Rl -Sr 18.5.1 创建对象函数 355 `|Tr"xavf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355 j@Z4(XL 18.5.3 丢弃对象 356 @R>J\> 18.5.4 总结 356 @e+QGd;} 18.6 脚本中的表格 357 K^w(WE;db 18.6.1 方法1 357 t|d9EC]c( 18.6.2 方法2 357 "M1[@xog 18.7 2D Plots in Scripts 358 IU/dY`J1 18.8 3D Plots in Scripts 359 vA:1z$m 18.9 注释 360 AEhh
6v 18.10 脚本管理器调用Scripts 360 T/uj5pMG 18.11 一个更高级的脚本 362 $^}?98m 18.12 <esc>键 364 r#3(;N{= 18.13 包含文件 365 mq su8ti 18.14 脚本被优化调用 366 B&`#`] 18.15 脚本中的对话框 368 05.^MU?^U 18.15.1 介绍 368 t%V!SvT8+ 18.15.2 消息框-MsgBox 368 jBarY g 18.15.3 输入框函数 370 $#8dtF 18.15.4 自定义对话框 371 jL>IX`,+6 18.15.5 对话框编辑器 371 s9@/(_ 18.15.6 控制对话框 377 U,~\}$<I 18.15.7 更高级的对话框 380 z45ImItH 18.16 Types语句 384 ON\_9\kv 18.17 打开文件 385 -6(C^X% 18.18 Bags 387 pQ!NhzQ 18.13 进一步研究 388 ,QdUfM 19 vStack 389 iE!\)7y 19.1 vStack基本原理 389 c54oQ1Q&" 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391 nYLq%7}k 19.3 五棱镜 393 VE6
V^6SL 19.4 光束距离 396 V*2uW2\} 19.5 误差 399 a4Fe MCvV9 19.6 二向分色棱镜 399 I_oJx 19.7 偏振泄漏 404 oM M`7wJw 19.8 波前误差—相位 405 nM>oG'm[n 19.9 其它计算参数 405 OV_Y`u7YR 20 报表生成器 406 nGZZCsf < 20.1 入门 406 yL7D;<!S& 20.2 指令(Instructions) 406 4U*J{''L 20.3 页面布局指令 406 540-l Me 20.4 常见的参数图和三维图 407 /Q8E12 20.5 表格中的常见参数 408 wKIQK!B)mF 20.6 迭代指令 408 ?k
CK$P 20.7 报表模版 408
pQKR 20.8 开始设计一个报表模版 409 6*J`2U9Q 21 一个新的project 413 aqSHo2]DX9 21.1 创建一个新Job 414 Zui2O-L?V 21.2 默认设计 415 N0,wT6. 21.3 薄膜设计 416 DpI)qg#>V 21.4 误差的灵敏度计算 420 /GD4GWv : 21.5 显色指数计算 422 u^8:/~8K 21.6 电场分布 424 6sJN@dFA 后记 426
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