9s)YPlDz yS/ovd 内容简介 qv3L@"Ub Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
Yg%V 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
#m9V)1"wB 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
EAFKf*K= 讯技科技股份有限公司
57+^T}/>
}/G~"&N[ ja2LQe@Q 目录 <u44YvLBm Preface 1
NW=j>7 内容简介 2
F!{N4X>%T 目录 i
&eY$(o-Hw 1 引言 1
+7+
VbsFG 2 光学薄膜基础 2
T$%u=$E%F 2.1 一般规则 2
FQi"OZHq
2.2 正交入射规则 3
X %,;IW]a 2.3 斜入射规则 6
B!<{s' 2.4 精确计算 7
n2-R[W^ 2.5 相干性 8
cZL"e 2.6 参考文献 10
C%#C|X193 3 Essential Macleod的快速预览 10
]8YHA}P 4 Essential Macleod的特点 32
>T~{_|N 4.1 容量和局限性 33
~C=`yj 4.2 程序在哪里? 33
c#9 zw[y-L 4.3 数据文件 35
r3ZY`zf 4.4 设计规则 35
Q}]:lmqH 4.5 材料数据库和
资料库 37
r3Z-mJ$: 4.5.1材料损失 38
2ok>z$Y 4.5.1材料数据库和导入材料 39
{b/60xl? 4.5.2 材料库 41
@]*z!>1 4.5.3导出材料数据 43
aqs'] 4.6 常用单位 43
*goi^Xp 4.7 插值和外推法 46
R|NmkqTK~( 4.8 材料数据的平滑 50
7"4|`y^# 4.9 更多光学常数模型 54
)X\3bPDJR 4.10 文档的一般编辑规则 55
TQ@*eoJj 4.11 撤销和重做 56
X?rJO~5 4.12 设计文档 57
!0Xes0gK0 4.10.1 公式 58
Jc9SHCJ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
{yVi/*;f^ 4.10.3 沉积密度 59
jy@}$g{ 4.10.4 平行和楔形介质 60
`-ENKr] 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
m!;mEBL{ 4.10.4 性能 61
!;CY
@= 4.10.5 保存设计和性能 64
h"%6tpV- 4.10.6 默认设计 64
V^L;Nw5h 4.11 图表 64
#C%<g:F8 4.11.1 合并曲线图 67
oL}FD !} 4.11.2 自适应绘制 68
=K8`[iH 4.11.3 动态绘图 68
GUat~[lUrj 4.11.4 3D绘图 69
!h9 An 4.12 导入和导出 73
f.+e 4.12.1 剪贴板 73
N@)4H2_u \ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
eMz,DYa/G 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
9zO;sg;3 4.13 背景 77
z8z U3? 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
7Oxvq^[ 4.15 生成Rugate 84
P!bm$h*3? 4.16 参考文献 91
={maCYlE. 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
r="X\ [on 5.1 Jobs 92
TqbKH08i/ 5.2 创建一个新Job(工作) 93
-JwH^*Ad 5.3 输入材料 94
M;Vx[s,#, 5.4 设计数据文件夹 95
XTW/3pB 5.5 默认设计 95
<Bu*: O 6 细化和合成 97
"t_] Qu6 6.1 优化介绍 97
+oQ@E<)H 6.2 细化 (Refinement) 98
3'&]v6| 6.3 合成 (Synthesis) 100
uF(-h~ 6.4 目标和评价函数 101
uvA}7L{UO 6.4.1 目标输入 102
E) z g,7Y 6.4.2 目标 103
QG9 2^ 6.4.3 特殊的评价函数 104
7CG_UB 6.5 层锁定和连接 104
O Zt 'ovY 6.6 细化技术 104
2N)vEUyDV 6.6.1 单纯形 105
9pjk3a 6.6.1.1 单纯形
参数 106
NpRC3^ 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
3*arW|Xm 6.6.2.1 Optimac参数 108
U}Hmzb 6.6.3 模拟退火算法 109
#lVVSrF,- 6.6.3.1
模拟退火参数 109
,sLV6DM 6.6.4 共轭梯度 111
]Uxx_1$, 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
54}s:[O 6.6.5 拟牛顿法 112
U_I'Nz!^t 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
f4w| 6.6.6 针合成 113
8:M~m]Z+| 6.6.6.1 针合成参数 114
H
uE*jQ 6.6.7 差分进化 114
{n1o)MZ]R 6.6.8非局部细化 115
i!,>3 6.6.8.1非局部细化参数 115
*Li;:b"t 6.7 我应该使用哪种技术? 116
+Tu:zCv. 6.7.1 细化 116
;\iQZ~ 6.7.2 合成 117
ied<1[~S 6.8 参考文献 117
5Vvy:<.la 7 导纳图及其他工具 118
LQ{4r1,u] 7.1 简介 118
$fh?(J 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
&$+yXN 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Y,&)%Eo< 7.2.2 导纳图 120
Tp0Tce/ 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
e94csTh= 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
7`WK1_rR\ 7.5 斜入射导纳图 141
$!fz87-p> 7.6 对称周期 141
U\b,W&%P 7.7 参考文献 142
0q62 {p7 8 典型的镀膜实例 143
6xj&Qo 8.1 单层抗反射薄膜 145
v=X\@27= ? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
8Ipyr%l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
s'K0C8'U 8.4 W-膜层 148
"kN5AeRg 8.5 V-膜层 149
%OzxR9 8.6 V-膜层高折射基底 150
K):)bL(B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
+$<m ;@mZ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
6w@l#p 8.9 四层抗反射薄膜 153
^Nc\D7( l 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
12rr:(#%s 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
Kk/qd)nk 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
`#l_`j=r$ 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
OY@/18D<> 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Z~P5SEg 8.15十五层宽带抗反射膜 159
(2a~gQGD 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
Cjwg1?^RZ 8.17 1/4波长堆栈 162
sa*hoL18 8.18 陷波滤波器 163
-$mzzYH 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
7qnw.7p 8.20 褶皱 165
o!j? )0d 8.21 消偏振分光器1 169
$aVcWz% 8.22 消偏振分光器2 171
pG|DT ? 8.23 消偏振立体分光器 172
]C'r4Ch^ 8.24 消偏振截止滤光片 173
b9"Q.*c<Z^ 8.25 立体偏振分束器1 174
7ZJYT#>b 8.26 立方偏振分束器2 177
=MoPOib\n 8.27 相位延迟器 178
30B!hj$C 8.28 红外截止器 179
3 i>uKU1 8.29 21层长波带通滤波器 180
$)PNf'5Zg 8.30 49层长波带通滤波器 181
N b+zP[C 8.31 55层短波带通滤波器 182
*DU86JL` 8.32 47 红外截止器 183
t/nu/yz5E 8.33 宽带通滤波器 184
XV!P8n 8.34 诱导透射滤波器 186
a}=)b#T` 8.35 诱导透射滤波器2 188
ON!1lS 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
'Z;R!@Dm 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Z}XA(;ck 8.35 增益平坦滤波器 193
)kg^.tP 8.38 啁啾反射镜 1 196
`A?/Ww>; 8.39 啁啾反射镜2 198
i\N,4Fdor 8.40 啁啾反射镜3 199
sx|=*j,_ 8.41 带保护层的铝膜层 200
,.DU)Wi?} 8.42 增加铝反射率膜 201
M|e@N 8.43 参考文献 202
T}U`?s`) 9 多层膜 204
539[,jH 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
rw58bkh6 9.2 内部透过率 204
%/~Sq?f-9@ 9.3 内部透射率数据 205
RD,`D! 9.4 实例 206
{:!*1L 9.5 实例2 210
_W&.{
7 9.6 圆锥和带宽计算 212
d+z8^$z" 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
*y u|]T 10 光学薄膜的颜色 216
X(N!y"z 10.1 导言 216
OBu$T& 10.2 色彩 216
9'T
nR[> 10.3 主波长和纯度 220
ofRe4
*\j 10.4 色相和纯度 221
gh3_})8c 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
qJrK?:O; 10.6 色差 226
n{=vP`V_ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
.y|* 10.8 颜色渲染指数 234
EtKy?]i 10.9 色差计算 235
| [P!9e 10.10 参考文献 236
U%m,:b6V 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
;5dJ5_ } 11.1 短脉冲 238
PWmFY'= 11.2 群速度 239
@2Z{en? 11.3 群速度色散 241
qN[U|3k 11.4 啁啾(chirped) 245
#8rLB( 11.5 光学薄膜—相变 245
qgDd^0 11.6 群延迟和延迟色散 246
_KLKa/3 11.7 色度色散 246
FL9Dz4 11.8 色散补偿 249
f{G
^b&x 11.9 空间
光线偏移 256
c7,p5[ 11.10 参考文献 258
M;-PrJdyt 12 公差与误差 260
Wi)Y9frE 12.1 蒙特卡罗模型 260
<V>]-bl/ 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
sA#}0>`3S 12.2.1 误差工具 267
<0T|RhbY 12.2.2 灵敏度工具 271
=g
UOHH 12.2.2.1 独立灵敏度 271
0EKi?vP@y7 12.2.2.2 灵敏度分布 275
#8i DM5:EQ 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
l|j 12.3 参考文献 276
}&F|u0@b 13 Runsheet 与Simulator 277
X0.k Q 13.1 原理介绍 277
:Ugf3%sQ 13.2 截止滤光片设计 277
_<qe= hie! 14 光学常数提取 289
d)1 d0ES 14.1 介绍 289
,` 6O{Z~ 14.2 电介质薄膜 289
DS%~'S 14.3 n 和k 的提取工具 295
9sJ=Nldq 14.4 基底的参数提取 302
~}pc&jz>q 14.5 金属的参数提取 306
";yey ] 14.6 不正确的模型 306
ose(#n4 0 14.7 参考文献 311
m}hEi 15 反演工程 313
OD]`oJ| 15.1 随机性和
系统性 313
< KGq 15.2 常见的系统性问题 314
+saXN6 15.3 单层膜 314
N?`V;`[ 15.4 多层膜 314
VddHK 15.5 含义 319
JlR$"GU 15.6 反演工程实例 319
hK+6S3-Ez 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
q=(%
]BK 15.6.2 反演工程提取折射率 327
%;_94!(hC 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
\Kr8k`f 16.1 光学性质的热致偏移 329
FkE)~g 16.2 应力工具 335
B>.x@(}V~ 16.3 均匀性误差 339
0v+-yEkw 16.3.1 圆锥工具 339
N,W ?} 16.3.2 波前问题 341
/9ctmW1!< 16.4 参考文献 343
_Z7`tUS-j 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
YLJ^R$pi 17.1 引言 345
7zM9K+3L 17.2 操作数 345
z_93j3# 18 如何在Function中编写脚本 351
%5RR<[_/; 18.1 简介 351
e[
yN 18.2 什么是脚本? 351
`6$|d,m5 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
V56WgOBxz 18.4 基础 352
UodBK7y 18.4.1 Classes(类别) 352
p<1y$=zS 18.4.2 对象 352
TZ&X0x8 18.4.3 信息(Messages) 352
c+D< 18.4.4 属性 352
mww<Xm' 18.4.5 方法 353
Z_Wzm!: 18.4.6 变量声明 353
}@eIO| 18.5 创建对象 354
m/z,MT74*J 18.5.1 创建对象函数 355
jr,N+K(@T 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
'2GnA ws^ 18.5.3 丢弃对象 356
#u}%r{T 18.5.4 总结 356
m9vX8;. 18.6 脚本中的表格 357
k&2=-qgVR 18.6.1 方法1 357
h PL]B_< 18.6.2 方法2 357
|lt]9>| 18.7 2D Plots in Scripts 358
!_vxbfZO 18.8 3D Plots in Scripts 359
)adV`V%=> 18.9 注释 360
AdVc1v&> 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
l+[:Cni 18.11 一个更高级的脚本 362
x-"8V( 18.12 <esc>键 364
%xN${4)6 18.13 包含文件 365
1W\E`)Z}] 18.14 脚本被
优化调用 366
Y=p!xr> 18.15 脚本中的对话框 368
>))CXGE 18.15.1 介绍 368
ki?h7 18.15.2 消息框-MsgBox 368
-8xf}v~u 18.15.3 输入框函数 370
u<Y#J,p`e 18.15.4 自定义对话框 371
hTa(^ 18.15.5 对话框编辑器 371
V\o7KF 18.15.6 控制对话框 377
zw['hqW 18.15.7 更高级的对话框 380
`J1HQ!Z 18.16 Types语句 384
'C/yQvJ
18.17 打开文件 385
;xZjt4M1 18.18 Bags 387
'`3#FCg 18.13 进一步研究 388
)rq |t9kix 19 vStack 389
C,An\lsT 19.1 vStack基本原理 389
yEq7ueJ' 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
T9C_=0(hn 19.3 五棱镜 393
$#q`Y+;L2 19.4 光束距离 396
*!%lBt{2 19.5 误差 399
+{1.kb
Zq 19.6 二向分色棱镜 399
X/yq<_ g 19.7 偏振泄漏 404
_p^"l2%D/ 19.8 波前误差—相位 405
L-T,[;bl 19.9 其它计算参数 405
H+4j.eVzZU 20 报表生成器 406
qx t0Jr8 20.1 入门 406
Iko]c_W0 20.2 指令(Instructions) 406
]K"&Vd 20.3 页面布局指令 406
1@DC#2hPr 20.4 常见的参数图和三维图 407
u.|Z3=?VG 20.5 表格中的常见参数 408
Nob(D'vSr 20.6 迭代指令 408
;f=m+QXU 20.7 报表模版 408
Y !?'[t 20.8 开始设计一个报表模版 409
L=l&,ENy 21 一个新的project 413
Qc; kj 21.1 创建一个新Job 414
b6bs . 21.2 默认设计 415
flsejj$ 21.3 薄膜设计 416
"f,{d}u 21.4 误差的灵敏度计算 420
9af.t 21.5 显色指数计算 422
KwuucY 21.6 电场分布 424
p+;& Gg54 后记 426
{~3QBMx6 有兴趣扫码联系