\8QOZjy {<gv1Yht 内容简介 IJGw<cB]+ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
15Mtlb 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
^ZQMRNP{r 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
Z>g>OPu 讯技科技股份有限公司
ApeqbD5g&
!Z:XSF[T )/>BgXwH 目录 b-VygLN Preface 1
3;BIwb_ 内容简介 2
3PU_STSix 目录 i
4-x<^
ev= 1 引言 1
8.B'O>\T 2 光学薄膜基础 2
f|q/2}Bqb 2.1 一般规则 2
MmjZq 2.2 正交入射规则 3
#\lvzMjCC 2.3 斜入射规则 6
y'!OA+ob 2.4 精确计算 7
w/m@(EBK 2.5 相干性 8
jjj<B'zt 2.6 参考文献 10
[A84R04_% 3 Essential Macleod的快速预览 10
_Pqq* 4 Essential Macleod的特点 32
OLb s~
>VA 4.1 容量和局限性 33
~?ezd0 4.2 程序在哪里? 33
MZ,1 mR 4.3 数据文件 35
8eS(gKD 4.4 设计规则 35
)dhR&@r*w 4.5 材料数据库和
资料库 37
F1@Po1VTD 4.5.1材料损失 38
G9Uc
}z 4.5.1材料数据库和导入材料 39
xjo`u:BH 4.5.2 材料库 41
HD=F2p 4.5.3导出材料数据 43
(O0 Ry2uk 4.6 常用单位 43
KM?4J6jH 4.7 插值和外推法 46
w g?}c ;
4.8 材料数据的平滑 50
V'XEz;Ze 4.9 更多光学常数模型 54
QLO;D)fC 4.10 文档的一般编辑规则 55
R<&Euph 4.11 撤销和重做 56
gE2(E0H 4.12 设计文档 57
5 qfvHQ ~M 4.10.1 公式 58
~o^| >] 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
fAULuF 4.10.3 沉积密度 59
hI86WP9* 4.10.4 平行和楔形介质 60
;pW8a? 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
TI7$J# 4.10.4 性能 61
1z6aMd6. 4.10.5 保存设计和性能 64
KNAvLcg 4.10.6 默认设计 64
N3L$"g5^ 4.11 图表 64
@ar%`+_ 4.11.1 合并曲线图 67
f1_; da 4.11.2 自适应绘制 68
eA!Z7 ' 4.11.3 动态绘图 68
7@;*e=v 4.11.4 3D绘图 69
_k2R^/9Ct% 4.12 导入和导出 73
gLv+L]BnhH 4.12.1 剪贴板 73
]\xt[/?{ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
I+& T}R
4.12.3 不通过剪贴板导出 76
{:gx*4}q8 4.13 背景 77
FTZ=u0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
d*^JO4' 4.15 生成Rugate 84
J=3{<Xl 4.16 参考文献 91
b\(f>g[ 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
~JL
qh 5.1 Jobs 92
D",L. 5.2 创建一个新Job(工作) 93
;-u]@35 5.3 输入材料 94
d%P2V>P 5.4 设计数据文件夹 95
oWY3dc 5.5 默认设计 95
#,#_" 6 细化和合成 97
Z{^!z 6.1 优化介绍 97
#7 O7O~ 6.2 细化 (Refinement) 98
$\P/
%eP 6.3 合成 (Synthesis) 100
bPOPoq1# 6.4 目标和评价函数 101
daKZ*B| 6.4.1 目标输入 102
#'&-S@/nQs 6.4.2 目标 103
` 7iA?; 6.4.3 特殊的评价函数 104
QlGK+I>y; 6.5 层锁定和连接 104
K:U=Y$ x 6.6 细化技术 104
_;PQt" ] 6.6.1 单纯形 105
v"1&xe^4 6.6.1.1 单纯形
参数 106
u;t<rEC2 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
0cHcBxdF 6.6.2.1 Optimac参数 108
([q>.[WbH] 6.6.3 模拟退火算法 109
bra2xHK@ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
,9ueHE 6.6.4 共轭梯度 111
QIkFX.^ 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
s1_Y~<yX 6.6.5 拟牛顿法 112
\ZcI{t'a 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
%DiQTg7V, 6.6.6 针合成 113
Wmd@%K 6.6.6.1 针合成参数 114
]x
metv|7 6.6.7 差分进化 114
Hj
>fg2/ 6.6.8非局部细化 115
3J"`mQ 6.6.8.1非局部细化参数 115
q<E7qY+ 6.7 我应该使用哪种技术? 116
k5\V:P=# 6.7.1 细化 116
Ja3#W
K 6.7.2 合成 117
l5w^rj 6.8 参考文献 117
Lmjd,t 7 导纳图及其他工具 118
J8~hIy6] 7.1 简介 118
w~B1TfqNo 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
_W(xO
|,M 7.2.1 四分之一
波长规则 119
'QE8 7.2.2 导纳图 120
)2).kL> 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
wBpt
W2jA 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
%@:>hQ2; 7.5 斜入射导纳图 141
G%~V b 7.6 对称周期 141
c(hC'Cp 7.7 参考文献 142
&;ddnxFI
8 典型的镀膜实例 143
-btNwE6[. 8.1 单层抗反射薄膜 145
&pI\VIx ? 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
|5;,]lbt 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
KN_n :`cH{ 8.4 W-膜层 148
O])vR< [ 8.5 V-膜层 149
|E K6txRb 8.6 V-膜层高折射基底 150
3)VO{Cj! 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
c= 2E/x? 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
9'p| [?]v 8.9 四层抗反射薄膜 153
+jrx;xwot 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
`P\H{ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
;,U@zB;\%( 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
jF6Q:`k 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
a)2l9 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
7x`$ A 8.15十五层宽带抗反射膜 159
?:vg`m!* 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
9Y2u/|!.3 8.17 1/4波长堆栈 162
*}:P 8.18 陷波滤波器 163
]kNxytH\o 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
bzpi7LKN 8.20 褶皱 165
}%wP^6G*x\ 8.21 消偏振分光器1 169
P:6K 8.22 消偏振分光器2 171
%tkqWK: 8.23 消偏振立体分光器 172
lg-`zV3 8.24 消偏振截止滤光片 173
_RcEfT
8.25 立体偏振分束器1 174
e#5WX 8.26 立方偏振分束器2 177
<*iFVjSI( 8.27 相位延迟器 178
<8%+-[(
8.28 红外截止器 179
X ([^i;mr 8.29 21层长波带通滤波器 180
TH4f"h+B3" 8.30 49层长波带通滤波器 181
q:up8-LAr 8.31 55层短波带通滤波器 182
8Ie0L3d- 8.32 47 红外截止器 183
Y]R=z*i% 8.33 宽带通滤波器 184
LL:N/1ysG 8.34 诱导透射滤波器 186
8u[.s`^ 8.35 诱导透射滤波器2 188
,^4"e
( 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
oBai9 [+ 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
6R m d t 8.35 增益平坦滤波器 193
:OU(fz] 8.38 啁啾反射镜 1 196
Pi[]k]XA\ 8.39 啁啾反射镜2 198
0F!Uai1 8.40 啁啾反射镜3 199
eiOAbO#U 8.41 带保护层的铝膜层 200
dG3?(}p+ 8.42 增加铝反射率膜 201
$hJ 4=F 8.43 参考文献 202
X%!?\3S 9 多层膜 204
3|e~YmZx 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
!U5Cwq 9.2 内部透过率 204
s!09cS 9.3 内部透射率数据 205
r_ 9"^Er 9.4 实例 206
!b K;/) 9.5 实例2 210
6UN{Vjr%` 9.6 圆锥和带宽计算 212
L) _ VdB 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
E]{0lG`l 10 光学薄膜的颜色 216
!
,]Fx 10.1 导言 216
U2_; 10.2 色彩 216
T}p|_)&y 10.3 主波长和纯度 220
JKYtBXOl 10.4 色相和纯度 221
fm%4ab30T 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Qc9[/4R> 10.6 色差 226
P'5Lu 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
4wS!g10 } 10.8 颜色渲染指数 234
muK)Yw[#N 10.9 色差计算 235
UQ e1rf 10.10 参考文献 236
I`{=[.c 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
ciHTnC 11.1 短脉冲 238
K/(Z\lL 11.2 群速度 239
B
4e}% 11.3 群速度色散 241
5*"WS $ 11.4 啁啾(chirped) 245
5=poe@1g 11.5 光学薄膜—相变 245
'wLW`GX. 11.6 群延迟和延迟色散 246
q<g!bW% 11.7 色度色散 246
<1V>0[[e 11.8 色散补偿 249
>]bS"S 11.9 空间
光线偏移 256
,E(M<n|. 11.10 参考文献 258
&6Wim<* 12 公差与误差 260
iQh:y:Jo1& 12.1 蒙特卡罗模型 260
F>u/Lh! 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
kx0w?A8- 12.2.1 误差工具 267
:OaGdL 12.2.2 灵敏度工具 271
s;[64ca]Q 12.2.2.1 独立灵敏度 271
>vfLlYx 12.2.2.2 灵敏度分布 275
wzI*QXV2s 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
9Xh<vh8& 12.3 参考文献 276
H~<wAer,Op 13 Runsheet 与Simulator 277
Iak06E 13.1 原理介绍 277
ciPaCrV 13.2 截止滤光片设计 277
Im`R2_(] 14 光学常数提取 289
B<!wh 14.1 介绍 289
P_N},Xry 14.2 电介质薄膜 289
{2&MyxV 14.3 n 和k 的提取工具 295
Zvz}Z8jW 14.4 基底的参数提取 302
p_sqw~)^% 14.5 金属的参数提取 306
xO
1uHaL 14.6 不正确的模型 306
6nk.q|n:g 14.7 参考文献 311
R<>uCF0 15 反演工程 313
41XXL$ 15.1 随机性和
系统性 313
M<)Vtn 15.2 常见的系统性问题 314
~qW"v^< 15.3 单层膜 314
.V^h< d{ 15.4 多层膜 314
L:_pJP 15.5 含义 319
B{_-k 15.6 反演工程实例 319
Uv3Fe%> 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
-F-,Gcos 15.6.2 反演工程提取折射率 327
i ;YRE&X 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
#mv~1tL 16.1 光学性质的热致偏移 329
Mw $.B# 16.2 应力工具 335
Z@>WUw@F 16.3 均匀性误差 339
FiN B$A 16.3.1 圆锥工具 339
D|5Fo'O^AV 16.3.2 波前问题 341
EG!):P 16.4 参考文献 343
cNuBWLG 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
)0@&pEObm 17.1 引言 345
.$-%rU:*} 17.2 操作数 345
(<5&<JC{ 18 如何在Function中编写脚本 351
R 9Yk9v 18.1 简介 351
.*w3 ryQ 18.2 什么是脚本? 351
{cYbM[}U" 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
{&Sr<d5 18.4 基础 352
Js8d{\0\ 18.4.1 Classes(类别) 352
;hU~nj+{ 18.4.2 对象 352
kv/mqKVr 18.4.3 信息(Messages) 352
yNmzRH u 18.4.4 属性 352
rexy*Xv`2p 18.4.5 方法 353
e/u(Re 18.4.6 变量声明 353
a{8g9a4 18.5 创建对象 354
_M}}H3 18.5.1 创建对象函数 355
7tz#R:
18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
0f|nI8,z 18.5.3 丢弃对象 356
u'EzYJ7 18.5.4 总结 356
EPwM+#|e- 18.6 脚本中的表格 357
`BZX\LPHm 18.6.1 方法1 357
|zSoA=7? 18.6.2 方法2 357
FZhjI 8+,~ 18.7 2D Plots in Scripts 358
0_-NE4SM/ 18.8 3D Plots in Scripts 359
nHi6$}
I 18.9 注释 360
3P2L phW 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
HvVS<Ke 18.11 一个更高级的脚本 362
})@LvYK 18.12 <esc>键 364
cn!Y7LVr 18.13 包含文件 365
L%O(
I 18.14 脚本被
优化调用 366
p^QB^HEV 18.15 脚本中的对话框 368
)OcG$H NK 18.15.1 介绍 368
o5 eFLJ6 18.15.2 消息框-MsgBox 368
e!~x-P5M` 18.15.3 输入框函数 370
rN^P// 18.15.4 自定义对话框 371
~,.}@XlgT. 18.15.5 对话框编辑器 371
r6eApKZ>f6 18.15.6 控制对话框 377
}7jg>3ng( 18.15.7 更高级的对话框 380
%7bZnK`C 18.16 Types语句 384
t{)J#8:g 18.17 打开文件 385
BPzlt 18.18 Bags 387
?rgk 18.13 进一步研究 388
)Dq/fW 19 vStack 389
YV0K&d 19.1 vStack基本原理 389
{$mj9?n=v 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
FsYsQ_,R3 19.3 五棱镜 393
(Q09$ 19.4 光束距离 396
.)eX(2j\ 19.5 误差 399
j;']L}R 19.6 二向分色棱镜 399
9fL48f$ 19.7 偏振泄漏 404
Lcyj,R 19.8 波前误差—相位 405
\hwz;V.J" 19.9 其它计算参数 405
%,M(-G5j; 20 报表生成器 406
77ID
82 20.1 入门 406
7o]p0iLej 20.2 指令(Instructions) 406
c}>p" 20.3 页面布局指令 406
lx&ME#~ 20.4 常见的参数图和三维图 407
qrmJJSJ 20.5 表格中的常见参数 408
U0:tE>3` 20.6 迭代指令 408
+wwK#ocw 20.7 报表模版 408
7BhRt8FSD+ 20.8 开始设计一个报表模版 409
IuQY~! 21 一个新的project 413
T;%ceLD 21.1 创建一个新Job 414
M6J/S 21.2 默认设计 415
"sf]I[a 21.3 薄膜设计 416
,4wZ/r>
d 21.4 误差的灵敏度计算 420
jci'q=Vpu 21.5 显色指数计算 422
jpCQ2 XD: 21.6 电场分布 424
Sgt@G=_o 后记 426
Px)/`'D 有兴趣扫码联系