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0VM> } LLnJl~Z 内容简介 ^R.kThG Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
p!^.;c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
("(:wYR% 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
zlC|Sp af 讯技科技股份有限公司
'f0*~Wq|
S-{3'D[Nj yi`Z(j; 目录 eekp&H$'s Preface 1
"Ka2jw, 内容简介 2
jEr/*kv 目录 i
R*~<?}Rr 1 引言 1
sM)qzO2wh 2 光学薄膜基础 2
C' x?riJ/ 2.1 一般规则 2
iHy=92/Ww 2.2 正交入射规则 3
L'k) 2.3 斜入射规则 6
_^cDB1I? 2.4 精确计算 7
rZ<n0w 2.5 相干性 8
=!{7ZSu\ 2.6 参考文献 10
p%) 1(R8qM 3 Essential Macleod的快速预览 10
4$Oakl*l 4 Essential Macleod的特点 32
t,$4J6 4.1 容量和局限性 33
Y<%)Im6v/ 4.2 程序在哪里? 33
p9w<|ZQ]: 4.3 数据文件 35
W]Z;=-CBr 4.4 设计规则 35
dL%?k@R 4.5 材料数据库和
资料库 37
FoY_5/ 4.5.1材料损失 38
QixEMX4< 4.5.1材料数据库和导入材料 39
Hts.G~~8 4.5.2 材料库 41
S]3K5Z| 4.5.3导出材料数据 43
v%O KOrJ 4.6 常用单位 43
&Rw4ub3 4.7 插值和外推法 46
hKP7p 4.8 材料数据的平滑 50
#"{wm 4.9 更多光学常数模型 54
;Awt: jF 4.10 文档的一般编辑规则 55
: vN'eL|# 4.11 撤销和重做 56
"~~Js~ 4.12 设计文档 57
0#}Ed Q 4.10.1 公式 58
!#0Lo->OO 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
5S4kn.3 4.10.3 沉积密度 59
PCzC8~t 4.10.4 平行和楔形介质 60
po@=$HK 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
]A oRK=aH 4.10.4 性能 61
hM~9p{O 4.10.5 保存设计和性能 64
Y r6wYs(% 4.10.6 默认设计 64
$'D|}=h<Y 4.11 图表 64
b77Iw%x7 4.11.1 合并曲线图 67
_U}pdzX? 4.11.2 自适应绘制 68
G'b*.\= 4.11.3 动态绘图 68
E^kB|; Ki 4.11.4 3D绘图 69
$10"lM[ 4.12 导入和导出 73
(]*
Ro 8 4.12.1 剪贴板 73
``*iK 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
=6FA(R|QU 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
LWG%]m|C 4.13 背景 77
AlP}H~|M7 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
eUP.:(E 4.15 生成Rugate 84
Fc{M
N" 4.16 参考文献 91
wc?`QX}I 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
OwhMtYq 5.1 Jobs 92
Wk1o H 5.2 创建一个新Job(工作) 93
1?:/8l%V 5.3 输入材料 94
u#9 H 5.4 设计数据文件夹 95
cXM4+pa=% 5.5 默认设计 95
Z$qLY<aV 6 细化和合成 97
t>nx#ErS 6.1 优化介绍 97
HCOv<k 6.2 细化 (Refinement) 98
1/b5i8I2v 6.3 合成 (Synthesis) 100
DIrQ5C 6.4 目标和评价函数 101
quXL'g 6.4.1 目标输入 102
P)7:G?OTx 6.4.2 目标 103
)anprhc 6.4.3 特殊的评价函数 104
~z;G$jd 6.5 层锁定和连接 104
AQAZ+g(IK 6.6 细化技术 104
tf1iRXf8 6.6.1 单纯形 105
44e:K5;]7 6.6.1.1 单纯形
参数 106
TsiI5'tx 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
Uwj|To&QR 6.6.2.1 Optimac参数 108
=$kSvCjP 6.6.3 模拟退火算法 109
&lnr?y^ 6.6.3.1
模拟退火参数 109
,x (?7ZW> 6.6.4 共轭梯度 111
l1_hD,4 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
B=vBJC) 6.6.5 拟牛顿法 112
eK8y'VY 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
c,
IAz 6.6.6 针合成 113
2'> 6.6.6.1 针合成参数 114
{=3&_/9s){ 6.6.7 差分进化 114
-jXO9Q 6.6.8非局部细化 115
{,:yZ&( 6.6.8.1非局部细化参数 115
;ZOu-B]q 6.7 我应该使用哪种技术? 116
3^!Y9$y1 6.7.1 细化 116
|aD8 6.7.2 合成 117
LN=6u 6.8 参考文献 117
4%refqWK 7 导纳图及其他工具 118
4$~A%JN3 7.1 简介 118
c&>S 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
_!qi`A 7.2.1 四分之一
波长规则 119
)4O>V?B 7.2.2 导纳图 120
T?lp:~d 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
msf%i ! 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
H6o_*Y 7.5 斜入射导纳图 141
&9j*Y 7.6 对称周期 141
SN#Cnu} 7.7 参考文献 142
h^ o@=%b 8 典型的镀膜实例 143
J?R\qEq% 8.1 单层抗反射薄膜 145
rt8"U<~ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
zWO!z= 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
IjaFNZZC! 8.4 W-膜层 148
rq(9w*MW: 8.5 V-膜层 149
(R^qY"H
2 8.6 V-膜层高折射基底 150
i>j(Ds v 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
K=K]R01/o 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
7!;48\O]w 8.9 四层抗反射薄膜 153
?1afW)`a.v 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
td!YwN* 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
&s0_^5B0 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
Pt=@U: 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
;{j@ia 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
9z'(4U 8.15十五层宽带抗反射膜 159
r"4&.&6 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
;owU]Xk%8K 8.17 1/4波长堆栈 162
"wi}/,) 8.18 陷波滤波器 163
9O4\DRe5c 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
;;>G}pG 8.20 褶皱 165
[wkSY>Gu 8.21 消偏振分光器1 169
z(dDX%k@ 8.22 消偏振分光器2 171
APUpqY 8.23 消偏振立体分光器 172
cgV5{|P 8.24 消偏振截止滤光片 173
n!?^:5=s 8.25 立体偏振分束器1 174
D b&=
N 8.26 立方偏振分束器2 177
%|(Cb!ySX 8.27 相位延迟器 178
fG"4\A 8.28 红外截止器 179
XjFaP { 8.29 21层长波带通滤波器 180
{>h,@ 8.30 49层长波带通滤波器 181
Ue&I]/?;$ 8.31 55层短波带通滤波器 182
jBr3Ay@< 8.32 47 红外截止器 183
ALi3JU 8.33 宽带通滤波器 184
0f;`Zj0l8 8.34 诱导透射滤波器 186
tSX,*cz 8.35 诱导透射滤波器2 188
R+<M"LriR& 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
~Q2,~9Dkc 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
wDt9Lf
O 8.35 增益平坦滤波器 193
?WBA:?=$58 8.38 啁啾反射镜 1 196
}JM02R~I 8.39 啁啾反射镜2 198
$h|8z 8.40 啁啾反射镜3 199
fX/k;0l 8.41 带保护层的铝膜层 200
Ih_=yk 8.42 增加铝反射率膜 201
2>F`H7W 8.43 参考文献 202
l<UJ@XID$ 9 多层膜 204
{(5M)|> 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
7hAc6M$h; 9.2 内部透过率 204
Gj- *D7X5 9.3 内部透射率数据 205
XQStlUw8+ 9.4 实例 206
yv(\5)XF 9.5 实例2 210
*?R<gWCF 9.6 圆锥和带宽计算 212
Clmz}F 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
tD+K4
^ 10 光学薄膜的颜色 216
JQ<9~J 10.1 导言 216
YPmgR]=6 10.2 色彩 216
yIf>8ed]# 10.3 主波长和纯度 220
vq8&IL 10.4 色相和纯度 221
t}fU 2Yb 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
f}:W1&LhI? 10.6 色差 226
~+&Z4CYb 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
+`+r\*C5 10.8 颜色渲染指数 234
.]LP327u 10.9 色差计算 235
2X`5YN; 10.10 参考文献 236
7b
hJt_`Q 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
V~4yS4 11.1 短脉冲 238
m<GJ1)%3i 11.2 群速度 239
K&;;{~md. 11.3 群速度色散 241
3.V-r59 11.4 啁啾(chirped) 245
L=)Arj@q 11.5 光学薄膜—相变 245
- %`iLu 11.6 群延迟和延迟色散 246
b\^9::oY 11.7 色度色散 246
x`Ik747^v 11.8 色散补偿 249
lk%W2N5 11.9 空间
光线偏移 256
!A#(bC 11.10 参考文献 258
Z:Nm9m 12 公差与误差 260
qAirH1# 12.1 蒙特卡罗模型 260
&)F#cVB 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
i4\m/&of3y 12.2.1 误差工具 267
>-4kO7.V 12.2.2 灵敏度工具 271
;0Mg\~T~' 12.2.2.1 独立灵敏度 271
&BkdC,o 12.2.2.2 灵敏度分布 275
`dm}|$X| 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
PJ'.s
12.3 参考文献 276
#RVN7-x 13 Runsheet 与Simulator 277
B$&&'i% 13.1 原理介绍 277
{"@E_{\ 13.2 截止滤光片设计 277
"Rq)%o$Z 14 光学常数提取 289
_?~)B\@~0 14.1 介绍 289
rEY5,'?YHv 14.2 电介质薄膜 289
t.6gyrV7>< 14.3 n 和k 的提取工具 295
zH1:kko 14.4 基底的参数提取 302
YN($rAkL 14.5 金属的参数提取 306
\"AzT{l!; 14.6 不正确的模型 306
8~eYN-#W& 14.7 参考文献 311
X.hVMX2B 15 反演工程 313
mFeoeI,Jv 15.1 随机性和
系统性 313
<|c[
#f
15.2 常见的系统性问题 314
-?PXj)< 15.3 单层膜 314
d ~3GEK 15.4 多层膜 314
c(!8L\69V} 15.5 含义 319
}q<%![% 15.6 反演工程实例 319
&Ez]pKjB 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
Q(7M_2e7 15.6.2 反演工程提取折射率 327
M,/{ 53 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
7) e#b 16.1 光学性质的热致偏移 329
A Z& ]@Ao 16.2 应力工具 335
?R\:6x< 16.3 均匀性误差 339
ey! { 16.3.1 圆锥工具 339
~@N0$S 16.3.2 波前问题 341
}5a$Ka- 16.4 参考文献 343
Hsi<!g. 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
nN[gAM ( 17.1 引言 345
;OY*`(Id 17.2 操作数 345
)kuw&SH, 18 如何在Function中编写脚本 351
X/-u$c 18.1 简介 351
BuIly&qbm< 18.2 什么是脚本? 351
LSN%k5G7. 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
P},d`4Ty@ 18.4 基础 352
*m9,_~t 18.4.1 Classes(类别) 352
xXm:S{I 18.4.2 对象 352
>5+]~[S 18.4.3 信息(Messages) 352
U2)y fhI 18.4.4 属性 352
$jtXNE? 18.4.5 方法 353
"8YXFg 18.4.6 变量声明 353
7n*[r*$ 18.5 创建对象 354
7d"gRM; 18.5.1 创建对象函数 355
~Y /55uC 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
E#A}J: 18.5.3 丢弃对象 356
^lCQHz 18.5.4 总结 356
%?~`'vYoi 18.6 脚本中的表格 357
r%^J3 18.6.1 方法1 357
6m!%X GZT 18.6.2 方法2 357
xBW{Wyh 18.7 2D Plots in Scripts 358
I]OVzM 18.8 3D Plots in Scripts 359
Z2wgfP` 18.9 注释 360
m_n*_tX 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
X`E3lgfqT 18.11 一个更高级的脚本 362
WG?;Z 18.12 <esc>键 364
\"^.>+ 18.13 包含文件 365
T($6L7 j9 18.14 脚本被
优化调用 366
ZQQ0} 18.15 脚本中的对话框 368
FELTmQUV 18.15.1 介绍 368
sHi *\ 18.15.2 消息框-MsgBox 368
}xE}I<M 18.15.3 输入框函数 370
&@anv.D 18.15.4 自定义对话框 371
>!7 \Rx 18.15.5 对话框编辑器 371
(aa}0r5 18.15.6 控制对话框 377
i9%cpPrg8 18.15.7 更高级的对话框 380
:4,
OA 18.16 Types语句 384
Q-,,Kn 18.17 打开文件 385
(iw)C)t*u 18.18 Bags 387
Q+]9Glz9 18.13 进一步研究 388
)^'g2gVK+p 19 vStack 389
]E/~PV 19.1 vStack基本原理 389
MU/3**zoW 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
y Ddi+ 19.3 五棱镜 393
E")g1xGaK 19.4 光束距离 396
'YaD="" 19.5 误差 399
k_}aiHdG 19.6 二向分色棱镜 399
]sf1+3 19.7 偏振泄漏 404
!33)6*s 19.8 波前误差—相位 405
!=w&=O0( 19.9 其它计算参数 405
hL8GW> `a 20 报表生成器 406
D+"-(k 20.1 入门 406
YrWC\HR_ 20.2 指令(Instructions) 406
yd-Kg zm8n 20.3 页面布局指令 406
_:Jra 20.4 常见的参数图和三维图 407
YLEa;MR 20.5 表格中的常见参数 408
u{_jweZ 20.6 迭代指令 408
Z[{k-_HgAm 20.7 报表模版 408
zu@5,AH 20.8 开始设计一个报表模版 409
RXF%A5FXh 21 一个新的project 413
609_ZW;) 21.1 创建一个新Job 414
UD@u hL 21.2 默认设计 415
_Ka6! 9 21.3 薄膜设计 416
+"Ui@^ 21.4 误差的灵敏度计算 420
M_Qv{ 21.5 显色指数计算 422
apxY2oE& 21.6 电场分布 424
dmkd.aP4 后记 426
,py:e>+^t 有兴趣扫码联系