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2tw[6M l/=2P_8+Z 内容简介 FG-v71!h# Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
$!~R'N c 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
#Az#dt]H 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
BQ X6Q< 讯技科技股份有限公司
%[1\d)
{VBn@^'s N)F&c!anh 目录 pKSn
3-A Preface 1
;3 N0) 内容简介 2
4r'QP .h 目录 i
f9+J} 1 引言 1
i=m5M]Ef 2 光学薄膜基础 2
HC%tJ:G 2.1 一般规则 2
A`|Z2 2.2 正交入射规则 3
18(hrj 2.3 斜入射规则 6
wR7Ja
cKv 2.4 精确计算 7
M
@|n"(P 2.5 相干性 8
-4rXOmiA 2.6 参考文献 10
+XaRwcLC. 3 Essential Macleod的快速预览 10
P}YtT3.K 4 Essential Macleod的特点 32
O)0}yF$0 4.1 容量和局限性 33
}OQaQf9V{ 4.2 程序在哪里? 33
1z . 4.3 数据文件 35
|E%i
t?3M 4.4 设计规则 35
d|P,e;m- 4.5 材料数据库和
资料库 37
I:~KF/q 4.5.1材料损失 38
cRR[ci34k 4.5.1材料数据库和导入材料 39
\a_75^2 4.5.2 材料库 41
K;:_UJ>t 4.5.3导出材料数据 43
^M:Y$9r_s 4.6 常用单位 43
JEw+5MO@ 4.7 插值和外推法 46
pKxsK^O5[ 4.8 材料数据的平滑 50
JJIlR{WY_ 4.9 更多光学常数模型 54
%anY'GK 4.10 文档的一般编辑规则 55
qocN:Of1 4.11 撤销和重做 56
q
<, b 4.12 设计文档 57
(D\7EH\9,] 4.10.1 公式 58
>MTrq%. 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
a#huK~$~ 4.10.3 沉积密度 59
$#ve^.VHv 4.10.4 平行和楔形介质 60
9<e%('@[ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
m;_gNh8 Ee 4.10.4 性能 61
#[
H4`hZ 4.10.5 保存设计和性能 64
(6y[,lYH 4.10.6 默认设计 64
} @)r\t4m 4.11 图表 64
(G>S`B 4.11.1 合并曲线图 67
I pp#{'Do 4.11.2 自适应绘制 68
'-,$@l# 4.11.3 动态绘图 68
[NxC7p:Lo 4.11.4 3D绘图 69
KQf=t0Z=Ce 4.12 导入和导出 73
J]!&E~Y 4.12.1 剪贴板 73
s6DmZ^Y% 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Kl'u 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
>3C4S 4.13 背景 77
7J[DD5 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
7R4t%^F 4.15 生成Rugate 84
^vj} 4.16 参考文献 91
|Ix{JP"Lk 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
Daw;6f: 5.1 Jobs 92
vcmB)P-T`O 5.2 创建一个新Job(工作) 93
s|`Z V^R 5.3 输入材料 94
iL$~d@AEn 5.4 设计数据文件夹 95
&'V1p4' 5.5 默认设计 95
PM?F;mj 6 细化和合成 97
<Jf[N= 6.1 优化介绍 97
QX`T-)T e 6.2 细化 (Refinement) 98
%W(/W9B$/F 6.3 合成 (Synthesis) 100
X([8TR 6.4 目标和评价函数 101
S"@/F-
81 6.4.1 目标输入 102
mA?fCs 6.4.2 目标 103
fi,h`mdT? 6.4.3 特殊的评价函数 104
sTSNu+ 6.5 层锁定和连接 104
1_jd1UT 6.6 细化技术 104
vG{lxPIj 6.6.1 单纯形 105
x 8/I"!gI 6.6.1.1 单纯形
参数 106
'!DS3zEeLS 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
$(r/N"6)O2 6.6.2.1 Optimac参数 108
^.pd'
6.6.3 模拟退火算法 109
^[6S]Ft( 6.6.3.1
模拟退火参数 109
S;8gX1Uf 6.6.4 共轭梯度 111
}eK.\_t= 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
q` 0wG3 6.6.5 拟牛顿法 112
4Zn" K}q 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
mm:g9j 6.6.6 针合成 113
E*Z # fa 6.6.6.1 针合成参数 114
+V `* 6.6.7 差分进化 114
9 WO|g[Y3 6.6.8非局部细化 115
fP KFU 6.6.8.1非局部细化参数 115
s# 9*`K 6.7 我应该使用哪种技术? 116
\Q!I; 6.7.1 细化 116
YAsE,M+ 6.7.2 合成 117
cuoZ:Wh 6.8 参考文献 117
y2o~~te 7 导纳图及其他工具 118
V#,jUH| 7.1 简介 118
)j+G4 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
y,xJ5BI$ 7.2.1 四分之一
波长规则 119
=L]GQ=d 7.2.2 导纳图 120
c9:8KMF) 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
6%B) 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
}{S+C[:_ 7.5 斜入射导纳图 141
J=t@2 7.6 对称周期 141
pGdFeEkB/ 7.7 参考文献 142
Tl!}Rw~Pg 8 典型的镀膜实例 143
~wFiq)v( 8.1 单层抗反射薄膜 145
!zQbF&> 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
_]t^F9l 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
5Ly Wg2 8.4 W-膜层 148
!Z!X]F-fY 8.5 V-膜层 149
AF\gB2^ 8.6 V-膜层高折射基底 150
xO{$6M3-~ 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
928uGo5 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
V0G"Z6 8.9 四层抗反射薄膜 153
XM57 UG 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
?`/DFI'_G 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
6qd?&.=r 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
F#)@ c 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
IKVFbTX:y 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
f;=<$Y>i 8.15十五层宽带抗反射膜 159
Ih<.2 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
6hiWgbE 8.17 1/4波长堆栈 162
*6aIDFNl 8.18 陷波滤波器 163
se@?:n1) 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
?Q~o<%U7 8.20 褶皱 165
0fog/c#q( 8.21 消偏振分光器1 169
a7}O.NDf 8.22 消偏振分光器2 171
mu{\_JX.A 8.23 消偏振立体分光器 172
LDY3Ya`6m 8.24 消偏振截止滤光片 173
}u]7 x:lh 8.25 立体偏振分束器1 174
-BC`p 8 8.26 立方偏振分束器2 177
1\Z/}FT 8.27 相位延迟器 178
rcz9\@M 8.28 红外截止器 179
<!q_C5>XJ 8.29 21层长波带通滤波器 180
K/0Wp % 8.30 49层长波带通滤波器 181
-sxu7I 8.31 55层短波带通滤波器 182
lx<!*2
-^ 8.32 47 红外截止器 183
0{(5J,/BF 8.33 宽带通滤波器 184
Al+}4{Q+? 8.34 诱导透射滤波器 186
8 .t3`FGH 8.35 诱导透射滤波器2 188
tz9"#=}0 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
a"D'QqtH 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
.dsB\C 8.35 增益平坦滤波器 193
# TZ` 8.38 啁啾反射镜 1 196
#A&49a3^1 8.39 啁啾反射镜2 198
s+E:
7T9P 8.40 啁啾反射镜3 199
g&rz*)|/ 8.41 带保护层的铝膜层 200
DMA`Jx 8.42 增加铝反射率膜 201
{ u3giB 8.43 参考文献 202
& zv!cf 9 多层膜 204
U%n>(!d 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
_+OCI%=: 9.2 内部透过率 204
P9)L1l<3I 9.3 内部透射率数据 205
~;}uYJ 9.4 实例 206
-TS5g1 9.5 实例2 210
W[:CCCDL 9.6 圆锥和带宽计算 212
$IqubC>O 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
Gkm{b[ 10 光学薄膜的颜色 216
[)?yH3 10.1 导言 216
%c@PTpAM 10.2 色彩 216
Q^8/"aV\ 10.3 主波长和纯度 220
=E62N7_`= 10.4 色相和纯度 221
hi/Z>1ZOX 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
Z*'<9l_1 10.6 色差 226
3oV2Ek<d 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
LkWY6
?$U 10.8 颜色渲染指数 234
-<:w{cV 10.9 色差计算 235
@F/,~|{iM 10.10 参考文献 236
ZK h4:D 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
urg^>n4V] 11.1 短脉冲 238
eo~b]D 11.2 群速度 239
`Hqgahb{P 11.3 群速度色散 241
WmkCV+thA 11.4 啁啾(chirped) 245
??f,(om 11.5 光学薄膜—相变 245
^VEaOKMr 11.6 群延迟和延迟色散 246
|I;]fH,+ 11.7 色度色散 246
r>gf&/Pl 11.8 色散补偿 249
U6.hH%\}@ 11.9 空间
光线偏移 256
<{j;']V; 11.10 参考文献 258
N' CWSf.e 12 公差与误差 260
xXfv({ 12.1 蒙特卡罗模型 260
CjEzsjqe<I 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
.Rt~d^D@ 12.2.1 误差工具 267
Y;@]G=a
12.2.2 灵敏度工具 271
P`avn
12.2.2.1 独立灵敏度 271
7K1_$vd 12.2.2.2 灵敏度分布 275
>7r%k,` 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
86>@.:d 12.3 参考文献 276
1bjz :^ 13 Runsheet 与Simulator 277
<fE^S 13.1 原理介绍 277
M9G?^mW1sT 13.2 截止滤光片设计 277
bokr,I3 14 光学常数提取 289
-d-xsP}
s 14.1 介绍 289
;p7R~17 14.2 电介质薄膜 289
{0% 14.3 n 和k 的提取工具 295
[930=rF* 14.4 基底的参数提取 302
.[+}nA,g%~ 14.5 金属的参数提取 306
UXh%DOq
14.6 不正确的模型 306
VK!HuO9l 14.7 参考文献 311
<{h\Msx% 15 反演工程 313
OO</d: 15.1 随机性和
系统性 313
{-Gh 62hDg 15.2 常见的系统性问题 314
_ gGA/ 15.3 单层膜 314
hAt4+O&P 15.4 多层膜 314
' 6)Yf}I 15.5 含义 319
fhyoSRLR: 15.6 反演工程实例 319
i'.D=o 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
yo8mfH_, 15.6.2 反演工程提取折射率 327
9GsG* $-I 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
>I-rsw2 16.1 光学性质的热致偏移 329
<Mu T7x- 16.2 应力工具 335
t/_\w" 16.3 均匀性误差 339
i6$HwRZm# 16.3.1 圆锥工具 339
2%pU'D: 16.3.2 波前问题 341
e1y#p3 @d 16.4 参考文献 343
Yf/e(nV 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
{{B'65Wu 17.1 引言 345
:iGK9I 17.2 操作数 345
VLVDi>0i 18 如何在Function中编写脚本 351
2.N)N%@ 18.1 简介 351
zg'.f UZ 18.2 什么是脚本? 351
!D ?(}nag 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
"?kDR1=7A 18.4 基础 352
4GH &u, 18.4.1 Classes(类别) 352
mnBTZ/ZjS 18.4.2 对象 352
o5sw]R5 18.4.3 信息(Messages) 352
^Epup$ 18.4.4 属性 352
mkfDDl2 GP 18.4.5 方法 353
X&h?1lMJ / 18.4.6 变量声明 353
T1R~^x1 18.5 创建对象 354
We\i0zUU 18.5.1 创建对象函数 355
cLRzm9 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
3ZI:EZ5 18.5.3 丢弃对象 356
.5AFAGv_c 18.5.4 总结 356
UG_PrZd 18.6 脚本中的表格 357
8B]\;m 18.6.1 方法1 357
<6s@eare8 18.6.2 方法2 357
X
@pm !c# 18.7 2D Plots in Scripts 358
54B`T/>R:E 18.8 3D Plots in Scripts 359
+>%51#2.Q 18.9 注释 360
6 !?]
( 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
KhP_U{)D 18.11 一个更高级的脚本 362
4[&&E7]EX 18.12 <esc>键 364
WW+F9~S 18.13 包含文件 365
p Q!lY 18.14 脚本被
优化调用 366
dA E85 18.15 脚本中的对话框 368
/ 9,'. 18.15.1 介绍 368
w\UAKN60 18.15.2 消息框-MsgBox 368
jl]3B 18.15.3 输入框函数 370
Q`NdsS2 18.15.4 自定义对话框 371
cNFHbMd 18.15.5 对话框编辑器 371
mXS"nd30bD 18.15.6 控制对话框 377
Qa\,)<'D: 18.15.7 更高级的对话框 380
(:o:_U 18.16 Types语句 384
(+0(A777M 18.17 打开文件 385
7ku=roPoF 18.18 Bags 387
nP<u.{q
L 18.13 进一步研究 388
CE!cZZ 19 vStack 389
:475FPy] 19.1 vStack基本原理 389
<RpTk*Yo^= 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
i(.V`G= 19.3 五棱镜 393
2y|n!p
T 19.4 光束距离 396
W}"tf
L8
19.5 误差 399
$E[M[1j 19.6 二向分色棱镜 399
n~BQq-1 19.7 偏振泄漏 404
_Pa@%/ 19.8 波前误差—相位 405
,3c25.,* 19.9 其它计算参数 405
Oo-4WqRJ 20 报表生成器 406
%'=2Jy6h 20.1 入门 406
ssS"X@VZ
\ 20.2 指令(Instructions) 406
mPqKk 20.3 页面布局指令 406
h-sO7M0E] 20.4 常见的参数图和三维图 407
c0HPS9N\ 20.5 表格中的常见参数 408
jUl_ToX 20.6 迭代指令 408
6J#R1.h 20.7 报表模版 408
jJNl{nyq 20.8 开始设计一个报表模版 409
O!hp=`B,jf 21 一个新的project 413
n/ :#: 21.1 创建一个新Job 414
Wd+G)Mu_= 21.2 默认设计 415
N6p0` 21.3 薄膜设计 416
e==/+ 21.4 误差的灵敏度计算 420
EkRx/ 21.5 显色指数计算 422
Q4*{+$A 21.6 电场分布 424
ki }Li*)7 后记 426
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