4ow)vS( !h2ZrT9
_ 内容简介 POc<
G^ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
RaAi9b[/S 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
>U9* 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
pHY~_^B4& 讯技科技股份有限公司
g!<@6\RB
1P4jdp=~ W\zg#5fmK 目录 $CO^dFf Preface 1
}}Eko7'^ 内容简介 2
A[Juv]X 目录 i
-.1x! ~.jX 1 引言 1
vI#\Qe 2 光学薄膜基础 2
eQno]$-\ 2.1 一般规则 2
Jk|c!,! 2.2 正交入射规则 3
b3x!tuQn 2.3 斜入射规则 6
3t(nV4uDF 2.4 精确计算 7
6.2_UN^< 2.5 相干性 8
eM+]KG)} 2.6 参考文献 10
wCvtw[6 3 Essential Macleod的快速预览 10
Dq
Kk9s;6_ 4 Essential Macleod的特点 32
t&wtw 4.1 容量和局限性 33
Sq}hx 4.2 程序在哪里? 33
R|ViLt y 4.3 数据文件 35
1/3Go97/qV 4.4 设计规则 35
MMD4b}p 4.5 材料数据库和
资料库 37
^:\|6`{n 4.5.1材料损失 38
ykxjT@[ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
1-1x,U7w 4.5.2 材料库 41
'd^U!l 4.5.3导出材料数据 43
E:f0NV3"1 4.6 常用单位 43
Lc f =)GL 4.7 插值和外推法 46
<jQ?l%\ 4.8 材料数据的平滑 50
gpe^G64c` 4.9 更多光学常数模型 54
T c4N\Cy 4.10 文档的一般编辑规则 55
M&~3fRb4 4.11 撤销和重做 56
OO]~\j 4.12 设计文档 57
j Aw&5, 4.10.1 公式 58
r
Ka7[/ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
!%_Z>a 4.10.3 沉积密度 59
@O5-w 4.10.4 平行和楔形介质 60
9;k_"@A6 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
gdRwh 4.10.4 性能 61
X5cl'J(j9 4.10.5 保存设计和性能 64
wLPL9 4.10.6 默认设计 64
cj`g)cX| 4.11 图表 64
@mW: FVI 4.11.1 合并曲线图 67
0"(5\T 4.11.2 自适应绘制 68
j` 9pZAF 4.11.3 动态绘图 68
{j+w|;dZF 4.11.4 3D绘图 69
# nwEF QA
4.12 导入和导出 73
w-2p'u['Z 4.12.1 剪贴板 73
r
ioNP( 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
Qa~o'
4.12.3 不通过剪贴板导出 76
[nJ),9$z_ 4.13 背景 77
{O*WLZ {0 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
9w^1/t&=04 4.15 生成Rugate 84
$*V:;-H 4.16 参考文献 91
\C5 YVl# 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
jwgXq( 5.1 Jobs 92
o"->RC 5.2 创建一个新Job(工作) 93
w?d~c*4+ 5.3 输入材料 94
`$\g8Mo 5.4 设计数据文件夹 95
N W :_)1 5.5 默认设计 95
;t{Ew+s 6 细化和合成 97
E%t_17,=j 6.1 优化介绍 97
_nOJ.G 6.2 细化 (Refinement) 98
Sg(fZ' - 6.3 合成 (Synthesis) 100
`9n%Dy< 6.4 目标和评价函数 101
$73 7oV< 6.4.1 目标输入 102
l69&-Nyg 6.4.2 目标 103
wN\%b}pp 6.4.3 特殊的评价函数 104
T$5u+4>" 6.5 层锁定和连接 104
0f}zm8p7. 6.6 细化技术 104
f^z~{|%l! 6.6.1 单纯形 105
Fq>=0 ) 6.6.1.1 单纯形
参数 106
CpNnywDRwU 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
4HQP, 6.6.2.1 Optimac参数 108
tfW/Mf 6.6.3 模拟退火算法 109
'^)Ve:K-. 6.6.3.1
模拟退火参数 109
-B-?z?+(O 6.6.4 共轭梯度 111
j}7as& 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
R]O!F)_/' 6.6.5 拟牛顿法 112
/. GHR 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
Q?-HU,RBO 6.6.6 针合成 113
23 j{bK 6.6.6.1 针合成参数 114
99w;Q 2k 6.6.7 差分进化 114
GO{o #} 6.6.8非局部细化 115
DG,CL8bv 6.6.8.1非局部细化参数 115
@RGVcfCG) 6.7 我应该使用哪种技术? 116
xP%`QTl\ 6.7.1 细化 116
)nmLgsg 6.7.2 合成 117
px;5X4U 6.8 参考文献 117
}6ObQa43 7 导纳图及其他工具 118
y`O !,kW 7.1 简介 118
g"v g
{Q 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
iU3)4(R 7.2.1 四分之一
波长规则 119
B7r={P!0 7.2.2 导纳图 120
4+%;eY.A 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
v$c*3H.seM 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
CA%p^ 4Q 7.5 斜入射导纳图 141
?O(KmDH 7.6 对称周期 141
?&$??r^i 7.7 参考文献 142
7|4hs:4mD 8 典型的镀膜实例 143
"^E/N},%u5 8.1 单层抗反射薄膜 145
,4W|e! 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
(O {5L( 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
'PPVM@)fU 8.4 W-膜层 148
W:D'k^u 8.5 V-膜层 149
Td tn- 8.6 V-膜层高折射基底 150
9Fb|B 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
YT7,=k _ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
JTbg8b 8.9 四层抗反射薄膜 153
)9'eckt 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
F02S(WWo; 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
lF-;h{
8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
=f'MiU!p6 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
wn*<.s 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
V_Z ~$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
w?_y;&sbR 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
p&1IK8i" 8.17 1/4波长堆栈 162
2q}M1-^ 8.18 陷波滤波器 163
Co6ghH7T 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
ECHl9;
+ 8.20 褶皱 165
VYw
vT0 8.21 消偏振分光器1 169
8joJe>9VJ 8.22 消偏振分光器2 171
e*5TZ7. 8.23 消偏振立体分光器 172
zrfE'C8O 8.24 消偏振截止滤光片 173
U9:?d>7 8.25 立体偏振分束器1 174
(lv|-Phc. 8.26 立方偏振分束器2 177
;{b 1' 8.27 相位延迟器 178
&.k'Dj2hf 8.28 红外截止器 179
9/Q_Jv-Q 8.29 21层长波带通滤波器 180
4ujw/`:/m 8.30 49层长波带通滤波器 181
Hbogi1!al| 8.31 55层短波带通滤波器 182
_Y@'<S. 8.32 47 红外截止器 183
oQJK}9QR 8.33 宽带通滤波器 184
}9T$ XF~ 8.34 诱导透射滤波器 186
$LUNA. 8.35 诱导透射滤波器2 188
v8!
1"FYL 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
/7Z0|Zw] 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
>W2Z]V
8.35 增益平坦滤波器 193
]9z{
95 8.38 啁啾反射镜 1 196
k#k !AcC 8.39 啁啾反射镜2 198
@]lKQZ^2& 8.40 啁啾反射镜3 199
v ?@Ys+V 8.41 带保护层的铝膜层 200
@
?y(\> 8.42 增加铝反射率膜 201
,lm.~% }P* 8.43 参考文献 202
~ar8e 9 多层膜 204
+=I_3Wtth 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
8EZ"z
d`n/ 9.2 内部透过率 204
MNip;S_j 9.3 内部透射率数据 205
(1\!6 9.4 实例 206
Eugt~j3 9.5 实例2 210
hnS
~r4 9.6 圆锥和带宽计算 212
}8 A] 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
,c_[`q\ 10 光学薄膜的颜色 216
ry}CND(nB 10.1 导言 216
h
&9Ld:p 10.2 色彩 216
#:L|-_=a 10.3 主波长和纯度 220
e#L/ 10.4 色相和纯度 221
k{Yj!C>
# 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
C$ cX{hV 10.6 色差 226
Fs_V3i3|L 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
zllY$V&<! 10.8 颜色渲染指数 234
7(na?Z$
10.9 色差计算 235
yNdtq\h 10.10 参考文献 236
Sai_rNRWB 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
-fVeE<[ 11.1 短脉冲 238
nab:y(]$/ 11.2 群速度 239
(.7_`T6QG 11.3 群速度色散 241
*>rpcS<l 11.4 啁啾(chirped) 245
qQ%zSJ? 11.5 光学薄膜—相变 245
D:'|poH 11.6 群延迟和延迟色散 246
GEfX,9LF & 11.7 色度色散 246
i>r4R z! 11.8 色散补偿 249
\\
M2_mT 11.9 空间
光线偏移 256
Z'<=06 11.10 参考文献 258
s0v?*GRX 12 公差与误差 260
;Avd$&:: 12.1 蒙特卡罗模型 260
wA)
NB 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
o\h[K<^>) 12.2.1 误差工具 267
c`mJrS: 12.2.2 灵敏度工具 271
cH'*J/ 12.2.2.1 独立灵敏度 271
g}|a- 12.2.2.2 灵敏度分布 275
%Nd|VAe 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
=A9>Ej/ 12.3 参考文献 276
xeo;4c#S5 13 Runsheet 与Simulator 277
l@4hBq 13.1 原理介绍 277
$1.iMHb
13.2 截止滤光片设计 277
Mkko1T=6 14 光学常数提取 289
D4G*K*z,w4 14.1 介绍 289
#B"ki{Se* 14.2 电介质薄膜 289
s
,\w00-: 14.3 n 和k 的提取工具 295
AvRZf-Geg 14.4 基底的参数提取 302
cQzd0X 14.5 金属的参数提取 306
>},O_qx 14.6 不正确的模型 306
= t<!W 14.7 参考文献 311
f[.RAHjk 15 反演工程 313
ch1EF/" 15.1 随机性和
系统性 313
DUEA"m h 15.2 常见的系统性问题 314
Ud^+a H 15.3 单层膜 314
HcUivC 15.4 多层膜 314
X}0NeG^'O 15.5 含义 319
KCq qwGM 15.6 反演工程实例 319
R+P,kD? 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
C"k8M\RW? 15.6.2 反演工程提取折射率 327
LTS3[=AB 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
].pz 16.1 光学性质的热致偏移 329
8<0H(lj7_ 16.2 应力工具 335
K:z|1V 16.3 均匀性误差 339
Otj=vGr0 16.3.1 圆锥工具 339
iBwl(,)?m2 16.3.2 波前问题 341
ruS/Yh 16.4 参考文献 343
5ap}(bO 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
QB#f'X 17.1 引言 345
zOLt)2-< 17.2 操作数 345
H&[ CSc 18 如何在Function中编写脚本 351
Ko\m8\3?fK 18.1 简介 351
.=3Sm% 18.2 什么是脚本? 351
U&C\5N] 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
3T# zxu 18.4 基础 352
)_NQ*m 18.4.1 Classes(类别) 352
PQWo<Uet 18.4.2 对象 352
m0paGG 18.4.3 信息(Messages) 352
<\8dh(> 18.4.4 属性 352
x@m"[u 18.4.5 方法 353
<4^ _dJ9= 18.4.6 变量声明 353
@NlnZfMu 18.5 创建对象 354
9x ?" %b 18.5.1 创建对象函数 355
#lM!s 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
U;i:k%Bzy 18.5.3 丢弃对象 356
t#&^ -; 18.5.4 总结 356
%.pX!jL 18.6 脚本中的表格 357
9j49#wG0"B 18.6.1 方法1 357
64#~ p) 18.6.2 方法2 357
LV0g *ng 18.7 2D Plots in Scripts 358
'-D-H}%;}M 18.8 3D Plots in Scripts 359
:)g=AhBF 18.9 注释 360
/e|`mu% 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
IJD'0/R'c 18.11 一个更高级的脚本 362
nFzhj%Pt; 18.12 <esc>键 364
"6Nma)8 18.13 包含文件 365
}LM^>M% 18.14 脚本被
优化调用 366
&~6Z)} 18.15 脚本中的对话框 368
16ke CG\ 18.15.1 介绍 368
pHsp]a 18.15.2 消息框-MsgBox 368
B:n9*<v( 18.15.3 输入框函数 370
b}9K"GT 18.15.4 自定义对话框 371
ZJP.-` U 18.15.5 对话框编辑器 371
Fw!5hR`, 18.15.6 控制对话框 377
!z{bqPlFGG 18.15.7 更高级的对话框 380
e3F)FTG& 18.16 Types语句 384
n~8-+$6OR 18.17 打开文件 385
yh]#V"W3 18.18 Bags 387
.J%}ROm 18.13 进一步研究 388
X
z2IAiAs' 19 vStack 389
Zul]ekv 19.1 vStack基本原理 389
u&STGc[ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
}qc[ysDK] 19.3 五棱镜 393
d7It}7@9 19.4 光束距离 396
OB6I8n XW 19.5 误差 399
WyA>OB<Zeq 19.6 二向分色棱镜 399
yHCQY4/ 19.7 偏振泄漏 404
J^
P/2a#a 19.8 波前误差—相位 405
{Ylj] 19.9 其它计算参数 405
}-V .upl 20 报表生成器 406
!g=,O6 20.1 入门 406
>f'nl 20.2 指令(Instructions) 406
7T_g?!sdMh 20.3 页面布局指令 406
,BW^j.7 20.4 常见的参数图和三维图 407
1^}()H62} 20.5 表格中的常见参数 408
RW,ew!Z
20.6 迭代指令 408
KT{<iz_ 20.7 报表模版 408
.Z8 x!!Q* 20.8 开始设计一个报表模版 409
/A_</GYs 21 一个新的project 413
#T#&qo# 21.1 创建一个新Job 414
.{5)$w> 21.2 默认设计 415
#8;^ys1f 21.3 薄膜设计 416
D<L]' 21.4 误差的灵敏度计算 420
m?;)C~[ 21.5 显色指数计算 422
w][
; 21.6 电场分布 424
?Sn$AS I
后记 426
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