;du},>T$n bM5V=b_H 内容简介 Q\}-MiI/ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
CshME\/ 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
|c8\alw 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
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:*h1ik4t
J)yg<*/3 Hc@_@G 目录 Cse`MP Preface 1
fMUh\u3 内容简介 2
! [1aP, 目录 i
*k; bkd4x 1 引言 1
Fbu4GRgJ3 2 光学薄膜基础 2
%7 yQ0'P 2.1 一般规则 2
0G-obHe0 2.2 正交入射规则 3
#]5KWXC'~ 2.3 斜入射规则 6
kaQNcMcq 2.4 精确计算 7
2L;=wP2?{ 2.5 相干性 8
DBsoa0w 2.6 参考文献 10
4i{Xs5zk 3 Essential Macleod的快速预览 10
7FPSBvU#/ 4 Essential Macleod的特点 32
/YUW)?o!^N 4.1 容量和局限性 33
QEbf]U= 4.2 程序在哪里? 33
mjg@c|rTG 4.3 数据文件 35
{4A,&pR 4.4 设计规则 35
S>h\D4. 4.5 材料数据库和
资料库 37
eR>8V8@ 4.5.1材料损失 38
6nE/8m 4.5.1材料数据库和导入材料 39
spm)X-[1 4.5.2 材料库 41
?!jJxhK<h 4.5.3导出材料数据 43
eGg6wd 4.6 常用单位 43
D@9 +yu=S 4.7 插值和外推法 46
1$Q[%9 4.8 材料数据的平滑 50
OomC%9/=, 4.9 更多光学常数模型 54
?Y
-;781 4.10 文档的一般编辑规则 55
;92xSe"Ww 4.11 撤销和重做 56
gg rYf* 4.12 设计文档 57
F)X`CG ;t 4.10.1 公式 58
|n tWMm:( 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
<yX u! 4.10.3 沉积密度 59
8@LWg d 4.10.4 平行和楔形介质 60
9O-~Ws ; 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
J^7M0A4K 4.10.4 性能 61
60{DR >S 4.10.5 保存设计和性能 64
f 42F@M(: 4.10.6 默认设计 64
r ~UDK]?V 4.11 图表 64
pO7OP"q1 4.11.1 合并曲线图 67
:x[()J~N 4.11.2 自适应绘制 68
CUG"2K9 4.11.3 动态绘图 68
!*~QB4\2b 4.11.4 3D绘图 69
elhP!"G 4.12 导入和导出 73
M_UmnqN1C 4.12.1 剪贴板 73
4FZR }e\ 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
`Rfe*oAf 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
j7Y7&x" 4.13 背景 77
b(R.&X 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
l#T%N@X 4.15 生成Rugate 84
|5dNJF8;Q 4.16 参考文献 91
U`EOun, 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
|hi,]D^Kc 5.1 Jobs 92
/D;ugc*3 5.2 创建一个新Job(工作) 93
X>uLGr> 5.3 输入材料 94
i}C%8}% 5.4 设计数据文件夹 95
56c[$ q 5.5 默认设计 95
yv]|Ce@8A 6 细化和合成 97
'v0rnIsI? 6.1 优化介绍 97
`W@jo~y< 6.2 细化 (Refinement) 98
!idVF!xG 6.3 合成 (Synthesis) 100
?yjg\S?L 6.4 目标和评价函数 101
G;vj3#u? 6.4.1 目标输入 102
O/Hj-u6&A 6.4.2 目标 103
Yl'8"
\HF 6.4.3 特殊的评价函数 104
O%>*=h`P 6.5 层锁定和连接 104
0U*f"5F 6.6 细化技术 104
c;"e&tW 6.6.1 单纯形 105
9)S3{i6w 6.6.1.1 单纯形
参数 106
j}/).O 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
<XDnAv0t 6.6.2.1 Optimac参数 108
"62g!e}!c 6.6.3 模拟退火算法 109
nIlTzrf6 6.6.3.1
模拟退火参数 109
AhA&=l
i; 6.6.4 共轭梯度 111
*My9r.F5o 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
`@1e{?$ 6.6.5 拟牛顿法 112
DBaZ cO(U 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
u
ynudO 6.6.6 针合成 113
%{ rb,6 6.6.6.1 针合成参数 114
wN%lc3[/z2 6.6.7 差分进化 114
mejNa(D ^ 6.6.8非局部细化 115
O wu?ND 6.6.8.1非局部细化参数 115
t}Td$K7 6.7 我应该使用哪种技术? 116
sxRKWM@4 6.7.1 细化 116
ackeq# 6.7.2 合成 117
%vZHHBylu 6.8 参考文献 117
/8l@ndZf 7 导纳图及其他工具 118
6E1~dK0t 7.1 简介 118
U<sGj~"# 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
O9?.J,,mVh 7.2.1 四分之一
波长规则 119
F|m &n& 7.2.2 导纳图 120
=Gzs+6A8 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
McS]aJfrk 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
2NjgLXP 7.5 斜入射导纳图 141
W(Sni[c{ 7.6 对称周期 141
C<T6l'S{? 7.7 参考文献 142
iQ2}*:Jc$ 8 典型的镀膜实例 143
M"p%CbcI] 8.1 单层抗反射薄膜 145
d(RMD 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
NV(jp'i~ 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
k%Tp9x$ 8.4 W-膜层 148
I;wxgWOP 8.5 V-膜层 149
W"vkmk 8.6 V-膜层高折射基底 150
7_j t =sr 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
IOC$jab@ 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
PbS1`8|4 8.9 四层抗反射薄膜 153
<=6F=u3PtU 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
$iy!:Did 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
c1FSQ
m81 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
)l
m7ly8a| 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
+eH`mI0f 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
q&?hwX
Z7 8.15十五层宽带抗反射膜 159
G;wh).jG5 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
)
] Ro 8.17 1/4波长堆栈 162
G~u$BV' 8.18 陷波滤波器 163
_!,2"dS 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
;3& wO~lW 8.20 褶皱 165
>)*d/ ^ 8.21 消偏振分光器1 169
gs i2 8.22 消偏振分光器2 171
H$^9#{ 8.23 消偏振立体分光器 172
f9Xa}* 8.24 消偏振截止滤光片 173
6+ptL-Zt< 8.25 立体偏振分束器1 174
e2V;6N 8.26 立方偏振分束器2 177
$gYGnh_,Q 8.27 相位延迟器 178
vyWx{@ 8.28 红外截止器 179
_ Dz*% 8.29 21层长波带通滤波器 180
$39TP@?:Z) 8.30 49层长波带通滤波器 181
CXz9bhn<4 8.31 55层短波带通滤波器 182
Z<AZO ^ 8.32 47 红外截止器 183
%q;y74 8.33 宽带通滤波器 184
<liprUFsn 8.34 诱导透射滤波器 186
d^tY?*n 8.35 诱导透射滤波器2 188
u-jc8W`Zd 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
_PC<Td>nm 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
C{t}q*fG
5 8.35 增益平坦滤波器 193
p^w)@^f 8.38 啁啾反射镜 1 196
:iE`=( o 8.39 啁啾反射镜2 198
y,jpd#Y 8.40 啁啾反射镜3 199
xqlnHf<G 8.41 带保护层的铝膜层 200
1\/vS$bi( 8.42 增加铝反射率膜 201
Si23w'T 8.43 参考文献 202
7tJ#0to 9 多层膜 204
GeB-4img 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
8
ks\-38n1 9.2 内部透过率 204
RHvKWt 9.3 内部透射率数据 205
iDgc$'%? 9.4 实例 206
In:V.'D/>t 9.5 实例2 210
%M8Q6 9.6 圆锥和带宽计算 212
4/3w
* 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
4y5Q5)j 10 光学薄膜的颜色 216
b 5K"lPr 10.1 导言 216
l$HBYA\Qh 10.2 色彩 216
-cn`D2RP 10.3 主波长和纯度 220
ih75C" 10.4 色相和纯度 221
?l
@=}WN 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
e iH&<AH 10.6 色差 226
I'n}6D.M 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
MX!N?k#KhP 10.8 颜色渲染指数 234
n
>E1\($ 10.9 色差计算 235
qn{9vr 10.10 参考文献 236
c;yp}k]\ 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
pxyFM@Z]( 11.1 短脉冲 238
pR`nQM-D 11.2 群速度 239
)N3/;U; 11.3 群速度色散 241
!VudZ]Sg 11.4 啁啾(chirped) 245
O\]{6+$fm! 11.5 光学薄膜—相变 245
wJgGw5 11.6 群延迟和延迟色散 246
0d~?|Nv - 11.7 色度色散 246
[(8s\>T 11.8 色散补偿 249
H#nJWe_9A 11.9 空间
光线偏移 256
&g*1 If 11.10 参考文献 258
?f:0GE7 12 公差与误差 260
[z;}^ 3b 12.1 蒙特卡罗模型 260
nS.qK/.s 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
Pu BE=9, 12.2.1 误差工具 267
qI74a F 12.2.2 灵敏度工具 271
1[a#blL6W 12.2.2.1 独立灵敏度 271
2Mw` 12.2.2.2 灵敏度分布 275
\l5G 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
8yZs>Og? 12.3 参考文献 276
3_i29ghv 13 Runsheet 与Simulator 277
{=3'H?$ 13.1 原理介绍 277
Ne1W!0YLK 13.2 截止滤光片设计 277
r=RiuxxTq 14 光学常数提取 289
brqmi<*9"[ 14.1 介绍 289
dg0WH_# 14.2 电介质薄膜 289
*J4\KU 14.3 n 和k 的提取工具 295
bi-z%!Z 14.4 基底的参数提取 302
t|UM2h 14.5 金属的参数提取 306
cvtn,Ml6 14.6 不正确的模型 306
zE}ry!{ 14.7 参考文献 311
}^odUIj 15 反演工程 313
Q+U" % 15.1 随机性和
系统性 313
k&u5`F 15.2 常见的系统性问题 314
1dy" 15.3 单层膜 314
.NF3dC\ 15.4 多层膜 314
@zt "Y~9i 15.5 含义 319
~qA\u5sB9@ 15.6 反演工程实例 319
|F~U 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
$TAsb>W!( 15.6.2 反演工程提取折射率 327
S\k(0Sv9D 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
q((%sWp 16.1 光学性质的热致偏移 329
`w"ooK 16.2 应力工具 335
{k'$uW` 16.3 均匀性误差 339
9wC=' 16.3.1 圆锥工具 339
-Ji uq 16.3.2 波前问题 341
~Hb0)M@y7 16.4 参考文献 343
]<_v;Q<t 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
p%\&M bA 17.1 引言 345
h4~VzCR4x\ 17.2 操作数 345
9A\\2Zz6F 18 如何在Function中编写脚本 351
,A0v 5Q< 18.1 简介 351
WBD"d<>' 18.2 什么是脚本? 351
!}"P Hby5N 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
0v3
8LBH) 18.4 基础 352
;s$
P?(' 18.4.1 Classes(类别) 352
*E/CNMn=E 18.4.2 对象 352
\LM{.gzT 18.4.3 信息(Messages) 352
lO1]P&@ 18.4.4 属性 352
O<?.iF% 18.4.5 方法 353
~(.&nysZ- 18.4.6 变量声明 353
StLbX?d 6 18.5 创建对象 354
ofCN[u 18.5.1 创建对象函数 355
qcBamf 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
Yjx4H 18.5.3 丢弃对象 356
aq^OzKP? 18.5.4 总结 356
^8g<>,$ 18.6 脚本中的表格 357
1#vi]CX 18.6.1 方法1 357
v
5&8C 18.6.2 方法2 357
<;!#+|L/ 18.7 2D Plots in Scripts 358
i%r+/D)KvG 18.8 3D Plots in Scripts 359
mbIHzzW> 18.9 注释 360
W3B:)<