?$4 PVI} TarY|P7_ 内容简介 C;^X[x%h7$ Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
KPUV@eQ, 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
d7bS
wL 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
<wD-qT W 讯技科技股份有限公司
}0Ed]
f4|rVP|x IjnU?Bf 目录 `<d }V2rdz Preface 1
X=&KayD 内容简介 2
13x p_j 目录 i
>fQMXfoY 1 引言 1
h<<v^+m 2 光学薄膜基础 2
^^ixa1H< 2.1 一般规则 2
8YSAf+{FtK 2.2 正交入射规则 3
IJcsmNWm 2.3 斜入射规则 6
uoh7Sz5!^ 2.4 精确计算 7
4BpZJ~(p 2.5 相干性 8
- 1gVeT& 2.6 参考文献 10
uQKT 3 Essential Macleod的快速预览 10
bV3|6]k^ 4 Essential Macleod的特点 32
Cq~dp/V 4.1 容量和局限性 33
b@hqz!)l` 4.2 程序在哪里? 33
88$8d>- 4.3 数据文件 35
pOoEI+t 4.4 设计规则 35
$/Uq0U 4.5 材料数据库和
资料库 37
F*ylnB3z 4.5.1材料损失 38
]3Sp W{=^( 4.5.1材料数据库和导入材料 39
inp7K41 4.5.2 材料库 41
,Ma^ &ypH 4.5.3导出材料数据 43
+9sQZB# ( 4.6 常用单位 43
Yrq~5)% 4.7 插值和外推法 46
(KZ{^X?a 4.8 材料数据的平滑 50
(X*^dO 4.9 更多光学常数模型 54
=>~:<X., 4.10 文档的一般编辑规则 55
3F^Q51:t 4.11 撤销和重做 56
*.w9c 4.12 设计文档 57
#&e-|81H 4.10.1 公式 58
Dk5 1z@ 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
yyTnL 2Y9 4.10.3 沉积密度 59
="l/ klYV 4.10.4 平行和楔形介质 60
)MT}+ai 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
5146kp|1 4.10.4 性能 61
&s!@29DXR 4.10.5 保存设计和性能 64
5~DJWi, 4.10.6 默认设计 64
m+z&Q 4.11 图表 64
s_p!43\J 4.11.1 合并曲线图 67
S~G]~gt 4.11.2 自适应绘制 68
t\O16O7S 4.11.3 动态绘图 68
Bdpy:'fJn 4.11.4 3D绘图 69
<<O$ G7c 4.12 导入和导出 73
R`-S/C 4.12.1 剪贴板 73
<qt|d& 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
C\hM =% 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
JC}D`h 4.13 背景 77
}"%N4(Kd 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
_Y m2/3! 4.15 生成Rugate 84
y$M%2mh` 4.16 参考文献 91
@BMx!r5kn 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
4E}Yt$| 5.1 Jobs 92
HTTCTR 5.2 创建一个新Job(工作) 93
pT6$DB# 5.3 输入材料 94
Qn2&nD%zi 5.4 设计数据文件夹 95
YtLt*Ig% 5.5 默认设计 95
M X]n& 6 细化和合成 97
9}
.z;prz 6.1 优化介绍 97
*/S_Icf 6.2 细化 (Refinement) 98
[{/jI\?v 6.3 合成 (Synthesis) 100
ChQxa 6.4 目标和评价函数 101
)D%~`,#pQ 6.4.1 目标输入 102
J]r^W)O 6.4.2 目标 103
I)HPO,7 6.4.3 特殊的评价函数 104
%A0/1{( 6.5 层锁定和连接 104
z\4.Gm- 6.6 细化技术 104
b%c9oR's^ 6.6.1 单纯形 105
>=w)x,0yX 6.6.1.1 单纯形
参数 106
fI|$K)K 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
.x&%HA 6.6.2.1 Optimac参数 108
K)iF>y|{*q 6.6.3 模拟退火算法 109
_,*r_D61S 6.6.3.1
模拟退火参数 109
&BSn? 6.6.4 共轭梯度 111
;qV>L=a 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
G^@5H/) 6.6.5 拟牛顿法 112
|6y 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
?Q;=v~-Q 6.6.6 针合成 113
+
>!;i6| 6.6.6.1 针合成参数 114
Vi|#@tC' 6.6.7 差分进化 114
U
#0Cx-E 6.6.8非局部细化 115
(**oRwr% 6.6.8.1非局部细化参数 115
-$g#I 6.7 我应该使用哪种技术? 116
?gXp*>Kg[ 6.7.1 细化 116
b#o|6HkW 6.7.2 合成 117
/g.U&oI]D 6.8 参考文献 117
o5)<$P43 7 导纳图及其他工具 118
iU:cW=W|M\ 7.1 简介 118
"ocyK}l.?
7.2 薄膜作为导纳的变换 118
tQ601H>o 7.2.1 四分之一
波长规则 119
Wa~=bH 7.2.2 导纳图 120
IAyp 2 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
]I6 J7A[ 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
.jK4?}] 7.5 斜入射导纳图 141
?&uu[y 7.6 对称周期 141
8xMX 7.7 参考文献 142
5`_SN74o 8 典型的镀膜实例 143
2 ? 4!K. 8.1 单层抗反射薄膜 145
#p{4^ 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
5Ynd c)Z 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
u]G\H!WkQ 8.4 W-膜层 148
c1gQ cqF 8.5 V-膜层 149
"EJ~QCW*Yh 8.6 V-膜层高折射基底 150
^kSqsT" 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
!TcJ)0
8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
23jwAsSo 8.9 四层抗反射薄膜 153
7x8
yxE 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
o;RI*I 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
,tRj4mx 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
DIUjn;>k8 8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
TJ*T:?>e 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
q0\6F^;M 8.15十五层宽带抗反射膜 159
@KUWxFak 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
^/k*h J{ 8.17 1/4波长堆栈 162
>C~6\L`c 8.18 陷波滤波器 163
8JUwf 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
(Awm9|.{+ 8.20 褶皱 165
wS3'?PRX 8.21 消偏振分光器1 169
{Hk}Kow 8.22 消偏振分光器2 171
W(/h Vt 8.23 消偏振立体分光器 172
lUMdrt0@z 8.24 消偏振截止滤光片 173
%N_%JK\{@ 8.25 立体偏振分束器1 174
|gY^)9ei 8.26 立方偏振分束器2 177
wUM0M?_p[ 8.27 相位延迟器 178
a-J.B.A$Z/ 8.28 红外截止器 179
N4HqLh23H 8.29 21层长波带通滤波器 180
7IM@i>p% 8.30 49层长波带通滤波器 181
\lNN Msd& 8.31 55层短波带通滤波器 182
Z5]>pJFq, 8.32 47 红外截止器 183
!Xw5<J3L- 8.33 宽带通滤波器 184
A+?`?pOm& 8.34 诱导透射滤波器 186
An/|+r\ 8.35 诱导透射滤波器2 188
t.C5+^+% 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
Ssg&QI 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
J4U1t2@)9 8.35 增益平坦滤波器 193
/z $u]X 8.38 啁啾反射镜 1 196
^LzF@{ G 8.39 啁啾反射镜2 198
h!9ei6 8.40 啁啾反射镜3 199
S`Rs82> 8.41 带保护层的铝膜层 200
kg\>k2h 8.42 增加铝反射率膜 201
zp?`N; 8.43 参考文献 202
I1&aM}y{G 9 多层膜 204
}SCM I4\ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
Y\'}a+:@Ph 9.2 内部透过率 204
Y`wSv NU 9.3 内部透射率数据 205
.6 ?U@2 9.4 实例 206
Ilm^G}GB 9.5 实例2 210
UJ6v(:z< 9.6 圆锥和带宽计算 212
C+&l<
fM& 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
%vi83%$'4 10 光学薄膜的颜色 216
hehFEyx 10.1 导言 216
jmW7)jT8: 10.2 色彩 216
?=pT7M 10.3 主波长和纯度 220
b5n'=doR/I 10.4 色相和纯度 221
)@bQu~Y 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
,UE83j8D^ 10.6 色差 226
@pU)_d!pJ 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
\Y}8S/] 10.8 颜色渲染指数 234
^5
Tqy(M 10.9 色差计算 235
d m%8K6| 10.10 参考文献 236
<1M-Ro?5k 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
y4fdq7i~}9 11.1 短脉冲 238
;gr9/Vl 11.2 群速度 239
r",GC] 11.3 群速度色散 241
qJUK_6|3 11.4 啁啾(chirped) 245
@U}1EC{A 11.5 光学薄膜—相变 245
Pk)1WK7E 11.6 群延迟和延迟色散 246
~61v5@ 11.7 色度色散 246
VVOd]2{ 11.8 色散补偿 249
8}| (0mC 11.9 空间
光线偏移 256
M\Kx'N 11.10 参考文献 258
G,w(d@ 12 公差与误差 260
JqiP>4Uwm^ 12.1 蒙特卡罗模型 260
v|2T%y_
u 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
<Q?F?.^e 12.2.1 误差工具 267
V3j= Kf 12.2.2 灵敏度工具 271
bA->{OPkT 12.2.2.1 独立灵敏度 271
5/Uy{Xt 12.2.2.2 灵敏度分布 275
!%0 *z 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
,zY$8y] 12.3 参考文献 276
i
K? w6 13 Runsheet 与Simulator 277
kMd.h[X~ 13.1 原理介绍 277
H7:] ]j1 13.2 截止滤光片设计 277
N87B8rDl 14 光学常数提取 289
B^9j@3Ux 14.1 介绍 289
?6Y?a2 | 14.2 电介质薄膜 289
3m)y|$R 14.3 n 和k 的提取工具 295
-3Vx76Y 14.4 基底的参数提取 302
|$b}L7_ 14.5 金属的参数提取 306
~e@z;]CiY 14.6 不正确的模型 306
V "h
+L7T 14.7 参考文献 311
L;I]OC^J 15 反演工程 313
8X|-rM{ 15.1 随机性和
系统性 313
^J;bso` 15.2 常见的系统性问题 314
b SU~XGPB 15.3 单层膜 314
'b{]:Y 15.4 多层膜 314
<UQbt N-B\ 15.5 含义 319
[hj6N*4y 15.6 反演工程实例 319
@sC`!Rmy'- 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
n7-6-
# 15.6.2 反演工程提取折射率 327
[IhYh<i 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
^DwYOo 2B 16.1 光学性质的热致偏移 329
CizX<Cr} 16.2 应力工具 335
emN*l]N 16.3 均匀性误差 339
?.;c$' 16.3.1 圆锥工具 339
)P|),S,;Z 16.3.2 波前问题 341
oM`0y@QCf 16.4 参考文献 343
Q$Q([Au 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
Y/zj[> 17.1 引言 345
j8lb~0JD 17.2 操作数 345
#O dJ"1A| 18 如何在Function中编写脚本 351
6V01F8&w 18.1 简介 351
SI-Ops~e 18.2 什么是脚本? 351
R/z=p_6p7` 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
j eP 18.4 基础 352
!d0kV,F: 18.4.1 Classes(类别) 352
v^ VitLC 18.4.2 对象 352
hx]?&zT@ 18.4.3 信息(Messages) 352
Z>5b;8 18.4.4 属性 352
E09:E 18.4.5 方法 353
fmDCP kj 18.4.6 变量声明 353
}S<2A7)el 18.5 创建对象 354
7E~;xn; 18.5.1 创建对象函数 355
@t_=Yl2; 18.5.2 使用ThisSession和其它对象 355
HCC#j9UN6 18.5.3 丢弃对象 356
VS8Rx.? 18.5.4 总结 356
Z@PmM4F@S 18.6 脚本中的表格 357
}Ud*TOo ` 18.6.1 方法1 357
L0WN\|D 18.6.2 方法2 357
|4 0`B% Z 18.7 2D Plots in Scripts 358
Zba2d,8/ 18.8 3D Plots in Scripts 359
Gu\q%'I 18.9 注释 360
6G""I]uT 18.10 脚本管理器调用Scripts 360
<l E<f+ 18.11 一个更高级的脚本 362
n8ZZ#}Nhg 18.12 <esc>键 364
1NA.nw. 18.13 包含文件 365
N64dO[op 18.14 脚本被
优化调用 366
x-&@wMqkc 18.15 脚本中的对话框 368
CdjI` 18.15.1 介绍 368
Fyatd 18.15.2 消息框-MsgBox 368
CN8Y\<Ar 18.15.3 输入框函数 370
Vb]=B~ ^` 18.15.4 自定义对话框 371
$C$V%5aA 18.15.5 对话框编辑器 371
mb^~qeRQ 18.15.6 控制对话框 377
+*/Zu`kzX 18.15.7 更高级的对话框 380
0{}8( 18.16 Types语句 384
<k'h:KB?` 18.17 打开文件 385
PP33i@G 18.18 Bags 387
R|87%&6'] 18.13 进一步研究 388
*d4eK+U$5 19 vStack 389
LIF7/$,0 19.1 vStack基本原理 389
:emiQ 19.2 一个简单的系统——直角棱镜 391
^ Q ? 19.3 五棱镜 393
dn$!& 19.4 光束距离 396
Gm^U;u}=f 19.5 误差 399
N)\. [v 19.6 二向分色棱镜 399
}Sh?S]]` 19.7 偏振泄漏 404
N]=q|D 19.8 波前误差—相位 405
,w:U#r~s" 19.9 其它计算参数 405
HJ[c M6$2 20 报表生成器 406
9w"4K. 20.1 入门 406
<
!C)x 20.2 指令(Instructions) 406
4*cEag 20.3 页面布局指令 406
a![{M<Y~ 20.4 常见的参数图和三维图 407
B7E:{9l~s{ 20.5 表格中的常见参数 408
#r~# I}U 20.6 迭代指令 408
q\4Xs$APq 20.7 报表模版 408
B Qxs~ 20.8 开始设计一个报表模版 409
Zaf:fsj> 21 一个新的project 413
.2Elr(&*h 21.1 创建一个新Job 414
?ri?GmI| 21.2 默认设计 415
LxSpctiNx 21.3 薄膜设计 416
,Np0wg0 21.4 误差的灵敏度计算 420
,K"U>& 21.5 显色指数计算 422
W/bQd)Jvk 21.6 电场分布 424
:zke %Yx 后记 426
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