X)S4rW% 8%B @[YDe 内容简介 T@.CwV Macleod软件自带的用户手册功能全面,其介绍涵盖了
软件的方方面面,能够使用户快速的了解和熟悉软件的基本操作。然而,为了顺应目前
薄膜行业的需求,急需一本能够契合软件设计和实际加工需要的专业书籍,以能够帮助薄膜领域的同行高效的完成相关工作,因此,我们特别推出了《基于Essential Macleod软件的
光学薄膜设计技术》。
hz|$3*q 《基于Essential Macleod软件的光学薄膜设计技术》(原著第二版)是世界著名光学薄膜专家Macleod先生40多年丰富工作经验的总结,结合当前市场占有率极高的光学薄膜设计与分析软件Essential Macleod,其内容丰富,实用性强。书中不仅有成熟的光学薄膜理论基础、计算公式和分析方法,还有关于光学薄膜技术讨论和解决方案以及全面考虑了薄膜的设计、分析、制造等各方面问题,如第8章中40个经典案例分析。本书共设置21章节,首先,从光学薄膜的基本理论出发(第2章),为大家介绍了设计一个薄膜所必备的基础知识。其次,在第3至第7章主要介绍了Macleod软件的相关操作,以帮助大家在较短的时间快速熟悉软件操作界面。最后,从第9章至21章开始重点阐述软件中的反演工程、提取光学常数、公差分析、薄膜颜色、Runsheet、Simulator、Stack等功能及模块如何与实际相结合,从而使大家将理论知识与实际经验结合起来,对实际镀膜提出实用的建议,以减少设计时间并降低生产成本。
"G:>}cs%? 薄膜光学涵盖范围很广,书中并附设计光盘和参考文献,有兴趣者可依此深入研究,为精准起见,在不影响理解的情况下,尽最大可能保留原文意思。译者希望本书能够对从事薄膜行业的人员有所帮助,通过学习之后能够较好地完成其所承担的光学任务。然而由于个人能力之局限,书中错误纰漏之处在所难免,本书若有不周之处,尚请读者不吝赐教。
^,gKA\Wli 讯技科技股份有限公司
%iNDRLR%I
7[\B{N9&W @VAhmYz 目录 usip>y Preface 1
Lb/_ULo6-V 内容简介 2
?a}~yz#B( 目录 i
] $*cmk(Y 1 引言 1
A{vG@Pwc: 2 光学薄膜基础 2
z?^p(UH 2.1 一般规则 2
+Xk!)Ge5E* 2.2 正交入射规则 3
rO~D{)Nu 2.3 斜入射规则 6
;I0/zeM% 2.4 精确计算 7
%JZIg! 2.5 相干性 8
V
RL6F2 >6 2.6 参考文献 10
i%iU_` 3 Essential Macleod的快速预览 10
RVe3@|9(G 4 Essential Macleod的特点 32
o2L/8q. 4.1 容量和局限性 33
xXtDGP 4.2 程序在哪里? 33
Tq+pFEgQ`@ 4.3 数据文件 35
)mU)7@! 4.4 设计规则 35
\wd~Y 4.5 材料数据库和
资料库 37
%lxo?s@GE 4.5.1材料损失 38
\BDNF<_ 4.5.1材料数据库和导入材料 39
E =E 4.5.2 材料库 41
%-dGK)? 4.5.3导出材料数据 43
2iu;7/ 4.6 常用单位 43
-?[:Zn~$a 4.7 插值和外推法 46
aSj$62G" 4.8 材料数据的平滑 50
S@_GjCpn 4.9 更多光学常数模型 54
mP-+];gg 4.10 文档的一般编辑规则 55
J=sQ].EK 4.11 撤销和重做 56
x;I*Ho 4.12 设计文档 57
UkUdpZ.[il 4.10.1 公式 58
k"6^gup(U 4.10.2 更多关于膜层厚度 59
7@`(DU`z 4.10.3 沉积密度 59
%$08*bAtB7 4.10.4 平行和楔形介质 60
l\eq/yg_ 4.10.5 渐变折射率和散射层 60
vgV0a{u" 4.10.4 性能 61
x>K em$z 4.10.5 保存设计和性能 64
S=o/n4@} 4.10.6 默认设计 64
_%x|,vo`( 4.11 图表 64
'=r.rW5 4.11.1 合并曲线图 67
q7;)&_' 4.11.2 自适应绘制 68
84k;d; 4.11.3 动态绘图 68
@!-= :<h 4.11.4 3D绘图 69
OG.`\G| 4.12 导入和导出 73
61]6N;kJ; 4.12.1 剪贴板 73
_Nd\Cm 4.12.2 不通过剪贴板导入 76
607#d):Y 4.12.3 不通过剪贴板导出 76
4):\,>%pK 4.13 背景 77
8=$@azG 4.14 扩展公式-生成设计(Generate Design) 80
7HzKjR=B 4.15 生成Rugate 84
jN[Z mJz' 4.16 参考文献 91
umi#Se3& 5 在Essential Macleod中建立一个Job 92
xKxWtZ0 5.1 Jobs 92
PW}Yts7p 5.2 创建一个新Job(工作) 93
L%"&_v#a^ 5.3 输入材料 94
`VHm,g2 5.4 设计数据文件夹 95
'=oV 5.5 默认设计 95
i"-j:b:c< 6 细化和合成 97
9:P)@UF 6.1 优化介绍 97
cu
Nwv(P 6.2 细化 (Refinement) 98
,[A} 86 6.3 合成 (Synthesis) 100
iVFnt! 6.4 目标和评价函数 101
sh0O~%]g 6.4.1 目标输入 102
%j=7e@ 6.4.2 目标 103
-V9Cx_]y 6.4.3 特殊的评价函数 104
Y.-i ;Mmu 6.5 层锁定和连接 104
k07O.9> 6.6 细化技术 104
/q]WV^H 6.6.1 单纯形 105
(\]_/ W 6.6.1.1 单纯形
参数 106
:`_wy-}V 6.6.2 最佳参数(Optimac) 107
bo]k9FC 6.6.2.1 Optimac参数 108
/OViqZ;9 6.6.3 模拟退火算法 109
L)Kn8 6.6.3.1
模拟退火参数 109
1[!Idl ?m 6.6.4 共轭梯度 111
LG;xZQx' 6.6.4.1 共轭梯度参数 111
BKN]DxJ6 6.6.5 拟牛顿法 112
pPh$Jvo] 6.6.5.1 拟牛顿参数: 112
&4]%&mX)- 6.6.6 针合成 113
7m1*Q@D 6.6.6.1 针合成参数 114
Y#uf 2>J 6.6.7 差分进化 114
\"n&|_SZ\ 6.6.8非局部细化 115
nHA2p`T 6.6.8.1非局部细化参数 115
0O[q6!&] 6.7 我应该使用哪种技术? 116
n] &fod 6.7.1 细化 116
)]v vp{ 6.7.2 合成 117
%!WQ;( 6.8 参考文献 117
'*K/K],S] 7 导纳图及其他工具 118
+^`c"qJo 7.1 简介 118
!I:6L7HdwB 7.2 薄膜作为导纳的变换 118
!]W6i]p 7.2.1 四分之一
波长规则 119
}Za[<t BWS 7.2.2 导纳图 120
z.7 UfLV9 7.3 用Essential Macleod绘制导纳轨迹 124
X\M0Q%8 7.4 全介质抗反射薄膜中的应用 125
N!hp^V<7 7.5 斜入射导纳图 141
IUwY/R9Q 7.6 对称周期 141
rGx1>xd(k 7.7 参考文献 142
5Pn$@3 8 典型的镀膜实例 143
R D)dw 8.1 单层抗反射薄膜 145
#*?a" 8.2 1/4-1/4抗反射薄膜 146
~bgFU 8.3 1/4-1/2-1/4抗反射薄膜 147
V<+d o|@F 8.4 W-膜层 148
jo+T!CUM' 8.5 V-膜层 149
='>k|s: 8.6 V-膜层高折射基底 150
Pf]L`haGN 8.7 V-膜层高折射率基底b 151
KWM.b"WnXr 8.8 高折射率基底的1/4-1/4膜层 152
@aI`ru+a 8.9 四层抗反射薄膜 153
C}wmoYikV 8.10 Reichert抗反射薄膜 154
1Hzj-u&N/ 8.11 可见光和1.06 抗反射薄膜 155
}&ZO
q'B 8.12 六层宽带抗反射薄膜 156
>a
Q;8
8.13 宽波段八层抗反射薄膜 157
%$S.4#G2 8.14 宽波段25层抗反射薄膜 158
Hz28L$ 8.15十五层宽带抗反射膜 159
N9_9{M{ 8.16 四层2-1 抗反射薄膜 161
p-MQI } 8.17 1/4波长堆栈 162
z9E*Mh(NE 8.18 陷波滤波器 163
ZCV&v47\p_ 8.19 厚度调制陷波滤波器 164
mR?OSeeB 8.20 褶皱 165
."cC^og
8.21 消偏振分光器1 169
g5_]^[upw 8.22 消偏振分光器2 171
V&[|%jm& 8.23 消偏振立体分光器 172
y1FS?hSD0 8.24 消偏振截止滤光片 173
vA"yy"B+ V 8.25 立体偏振分束器1 174
(7&[!PS 8.26 立方偏振分束器2 177
9qW^@5
m 8.27 相位延迟器 178
iwrS>Sm 8.28 红外截止器 179
@>&UoH}2 8.29 21层长波带通滤波器 180
Ig*!0(v5$ 8.30 49层长波带通滤波器 181
[Nsv]Yz 8.31 55层短波带通滤波器 182
#*XuU8q? 8.32 47 红外截止器 183
]#KZ
W)M 8.33 宽带通滤波器 184
J!~?}Fq/z 8.34 诱导透射滤波器 186
pv;}Sv$
]- 8.35 诱导透射滤波器2 188
D<C ZhYJ 8.36 简单密集型光波复用(DWDM)滤波器 190
[iB`- dE, 8.37 高级密集型光波复用技术(DWDM)滤波器 192
Qgf\gTF$r+ 8.35 增益平坦滤波器 193
P]1`=- 8.38 啁啾反射镜 1 196
#|xK>; 8.39 啁啾反射镜2 198
d%\en&:la 8.40 啁啾反射镜3 199
mQ:lj$Gf 8.41 带保护层的铝膜层 200
!Zlvz%X 8.42 增加铝反射率膜 201
/a(xUm @. 8.43 参考文献 202
NDm3kMa 9 多层膜 204
ze{ 9.1 多层膜基本原理—堆栈 204
="JLUq*]s 9.2 内部透过率 204
CZuV{Oh}? 9.3 内部透射率数据 205
Ws{2+G~ 9.4 实例 206
Tz:mj 9.5 实例2 210
u#ag|b/C: 9.6 圆锥和带宽计算 212
oX8e} 9.7 在Design中加入堆栈进行计算 214
mtvfG 10 光学薄膜的颜色 216
0_J<=T?\"s 10.1 导言 216
Yx>=(B 10.2 色彩 216
zkA"2dh 10.3 主波长和纯度 220
&Vd,{JU 10.4 色相和纯度 221
i9 8T+{4 10.5 薄膜的颜色和最佳颜色刺激 222
2<y!3OeN 10.6 色差 226
ZEiW\ V 10.7 Essential Macleod中的色彩计算 227
@Q
8E)k@ 10.8 颜色渲染指数 234
[f!sBJ! 10.9 色差计算 235
]SA]{id+ 10.10 参考文献 236
ckHHD| 11 镀膜中的短脉冲现象(Short-Pluse Phenomena) 238
^/h,C^/; 11.1 短脉冲 238
tH`!? 11.2 群速度 239
9|jk=`4UK 11.3 群速度色散 241
I&,gCZ# 11.4 啁啾(chirped) 245
i?.MD+f8 11.5 光学薄膜—相变 245
b%z4u0 11.6 群延迟和延迟色散 246
7`9J.L&,; 11.7 色度色散 246
R/VrBiw 11.8 色散补偿 249
TO ^}z 11.9 空间
光线偏移 256
pdUrVmW "' 11.10 参考文献 258
<DxUqCE 12 公差与误差 260
}\!&3^I 12.1 蒙特卡罗模型 260
D~P I_*h. 12.2 Essential Macleod 中的误差分析工具 267
HTA@en[5 12.2.1 误差工具 267
G|*^W;(Z 12.2.2 灵敏度工具 271
mR\rK&'6 12.2.2.1 独立灵敏度 271
{9S=: 12.2.2.2 灵敏度分布 275
QVA)&k'T, 12.2.3 Simulator—更高级的模型 276
zUF%`CR 12.3 参考文献 276
$[x2L
s~ 13 Runsheet 与Simulator 277
,HO~NqmB4 13.1 原理介绍 277
]@wee 08 13.2 截止滤光片设计 277
|]kcgLqj 14 光学常数提取 289
v1*Lf/ 14.1 介绍 289
G}<%%U D 14.2 电介质薄膜 289
bKRz=$P? 14.3 n 和k 的提取工具 295
p~1!O]qLt 14.4 基底的参数提取 302
;4tmnC>OnA 14.5 金属的参数提取 306
%eW[`uyV 14.6 不正确的模型 306
I
CCmE#n 14.7 参考文献 311
>|1.Z'r/ 15 反演工程 313
?0QoYA@.$ 15.1 随机性和
系统性 313
J\VG/)E 15.2 常见的系统性问题 314
nG
hFY Ql 15.3 单层膜 314
mF7T=pl 15.4 多层膜 314
G9"2h
\ 15.5 含义 319
a"ZBSg( 15.6 反演工程实例 319
Q}.zE+ 15.6.1 边缘滤波片的逆向工程 320
ig(dGKD\=9 15.6.2 反演工程提取折射率 327
>T:
Yp< 16 应力、张力、温度和均匀性工具 329
Z:7X=t= 16.1 光学性质的热致偏移 329
=
zJY5@^'7 16.2 应力工具 335
K89 AZxH 16.3 均匀性误差 339
m/vwM" 16.3.1 圆锥工具 339
o_C
j o 16.3.2 波前问题 341
ozv:$>v@" 16.4 参考文献 343
f7NK0kuA 17 如何在Function(模块)中编写操作数 345
OT/*|Pn9 17.1 引言 345
#Q320}]{ 17.2 操作数 345
<4V]>[{W 18 如何在Function中编写脚本 351
WPLM*]6 18.1 简介 351
2@ 4^ 81 18.2 什么是脚本? 351
yv2BbrYyy 18.3 Function中脚本和操作数对比 351
0tV" X 18.4 基础 352
BCN<l +u 18.4.1 Classes(类别) 352
?L.c~w;l 18.4.2 对象 352
;/.ZjTRw 18.4.3 信息(Messages) 352
Eo)w f=rE9 18.4.4 属性 352
Ck<