#`/KF_a3\>
un[Z$moN" _.Y?BAQ 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
"j9,3yJT 5-}4jwk 建模任务 E'e#axF;
^zQ;8)ng
b:>(U. TE0hVw0c 观测倾斜平面 jGEUl=W
Y*0%lq({H
lC.Yu$O5 MZE8Cvq0 观测柱面 Fy<dk}@
=_8
:a3Pnq$]E w1aa5-aF 观测球面 J(S.iTD
A[Juv]X
bxO8q57 )2z
(l-$. 走进VirtualLab Fusion iD_NpH q
]xA;*b;|h
eQno]$-\ kVQKP U VirtualLab Fusion的工作流程 ;]MHU/ 设置输入场
w:&m_z#M [z`U9J 使用表面构造真实元件
U=p,drF,A ./)A6O*# 定义元件的位置和方向
6.2_UN^< J
\1&3r|R 为非序列场追迹设置合适的通道
x\!Qe\lE '6fMF#X4F Q! ]
4)-LlYS_d< S?*v p= VirtualLab Fusion技术 rFSLTbTf R|ViLt y