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G[z4 $0f je^=g nq 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
n0%]dKCB 3YOYlb %j 建模任务 YO`V'6\
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u:s[6T0 d{G*1l(X 观测倾斜平面 M*lCoJ
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iF'qaqHWY4 3zuYN-; 观测柱面 z)U/bjf
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{ x/~gp ftwn<B 观测球面 wj#A#[e
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86<[!ZM brt1Kvu8( 走进VirtualLab Fusion 2qxede
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m6^n8% 78-D/WY/X VirtualLab Fusion的工作流程 ;ro%Wjg`} 设置输入场
kcN#g-0 QC^#ns& 使用表面构造真实元件
>%{H>?Hn p`2w\P3;) 定义元件的位置和方向
^L"ENsOs yV/A%y-P 为非序列场追迹设置合适的通道
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qxW^\u!< t2 0Es VirtualLab Fusion技术 .P5OUK akB+4?+s)