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$Z [lS'GszA 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
{eIE| jR@-h"2*A 建模任务 a&L8W4
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i2)SSQ rZGbU&ZM8 观测倾斜平面 9<7Q {
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RfN5X}&A Y+/ofk" 观测柱面 P%Q}R[Q
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SKLQAE5 Z I}m~7 观测球面 5`x9+XvoN
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b@1QE dUb(C1h 走进VirtualLab Fusion I_pA)P*Q(6
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BD4.sd+H, Q2rZMK VirtualLab Fusion的工作流程 G#dpSNV3| 设置输入场
L@a-"(TN+ 9D<^)ShY 使用表面构造真实元件
^~BJu#uVyy NLz$jk%=g 定义元件的位置和方向
GrM~%ng @Zq,mPaR$ 为非序列场追迹设置合适的通道
6h+/C]4 VKik8)/. =PZs'K
r4D66tF \re.KB#R VirtualLab Fusion技术 t9K.Jc0 <5$= Ta