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yiK 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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;~1JbP H/Q)zDP VirtualLab Fusion的工作流程 J7vpCw2ni 设置输入场
QovC*1' 3kY4V*9@- 使用表面构造真实元件
.YF-t`{ $ :wM'&M 定义元件的位置和方向
q+~CA[H5K zmRK%a( 为非序列场追迹设置合适的通道
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koZp~W- ]E^f8s0#V VirtualLab Fusion技术 DA~ELje^j I_7EfAqg(