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TH_Vw,) [al, UO 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
R|PFGhi6"A yZf+*j/a7 建模任务 xrbDqA.b
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m5HP56a ]h0Fv-[A 观测倾斜平面 K&(}5`H0=
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#JAU5d NB]T~_?]* 观测柱面 v:s.V>{"S
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MF>1u% @;>TmLs VirtualLab Fusion的工作流程 l6b3i
v, 设置输入场
hw`+,_ g 1Yt;1k' 使用表面构造真实元件
uHdrHP {r2-^QHF 定义元件的位置和方向
Zmf\A EK:!.Fl 为非序列场追迹设置合适的通道
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-Z&6PT7 L2>UA<@mZ VirtualLab Fusion技术 q|J3]F !n jREj]V>