U<#$w{d:
_S[Rvb1e +^o3}` 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
UeIqAG 8 il 8A&`% 建模任务 E0WrpGZ
C"V?yDy2~
Phk`=:xh |~1rKzZwF
观测倾斜平面 OoA5!HEh
l[ZQ7$kL
D~t"9Z\ !ds"88:5^ 观测柱面 t(LlWd
rZwf%}
tOp:e KN H-PW( 观测球面
QmDhZ04f
Q*oA{eZY
kfG 65aa>_ gXJ19zB+ 走进VirtualLab Fusion Gh chfI.
UGezo3}
'IqK M '/n%}=a= VirtualLab Fusion的工作流程 9|?(GG 设置输入场
2*3B~" hc31+TL 使用表面构造真实元件
519:yt NC[GtAPD3 定义元件的位置和方向
OGD8QD ;^*+:e 为非序列场追迹设置合适的通道
Ra15d^ LgD{! MSrY*)n!>O
8M(|{~~3: +p%5/smfs VirtualLab Fusion技术 wb}N-8x nP3;<*T P0