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m/W K?x,T8<aW 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
Myat{OF f}c\_}( 建模任务 6Sj6i^"
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}0hL~i I&9S;I$ 观测倾斜平面 Wx'Kp+9'
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TWWj- 观测柱面 fBtm%f
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Rr(* aC2P /T^ JS 走进VirtualLab Fusion r5&I?
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nq}Q SxgYjIa- VirtualLab Fusion的工作流程 .N4 设置输入场
t HD '+'CbWgY 使用表面构造真实元件
3XiO@jzre f"#m=_Xm 定义元件的位置和方向
'J*<iA*W SQsSa1 为非序列场追迹设置合适的通道
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k@>\LR/v k?BJdg)xJ VirtualLab Fusion技术 WlB'YL-`g ;cQW sTfT