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k;B[wEW@ b"aF-,M> 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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观测倾斜平面 80=LT-%#
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Q6HghG &b`'RZe 观测柱面 nE +H)%p
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Wco2i m b}DC|?~M 观测球面 -u(,*9]cJ*
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y 走进VirtualLab Fusion Do7 7V5
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41]a{A7q <S=(`D VirtualLab Fusion的工作流程 3"zPG~fY{ 设置输入场
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",&QO7_ 使用表面构造真实元件
zrqI^i"c X0iy 定义元件的位置和方向
t=X=",)f P6Y+ u 为非序列场追迹设置合适的通道
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SswcO9JCX3 ;<q2 VirtualLab Fusion技术 Z1jxu;O( <{k`K[)