yE[#ze
?T+q/lt4 L_=3<nE 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
{43>m)8+ "HE^v_p 建模任务 ys 5&PZg*
UfS%71l.$
y
WV#Up S[WG$ 观测倾斜平面 C8z{XSo
8 r_>t2$
C z\Pp q UTXSeNP 观测柱面 vWGwVH/K
(}}S9 K
`ZC<W]WYX/ Yw#2uh 观测球面 M(/r%-D
B^g ?=|{
)7h$G-fe 2RSt)3!}, 走进VirtualLab Fusion 8By|@LO
)"pF R4
"~'b 6F e34n]m VirtualLab Fusion的工作流程 pR~U`r5z 设置输入场
i':C)7 fkac_X$7 使用表面构造真实元件
ocs+d\ TqnTS0fx 定义元件的位置和方向
kh`"WN Nt rS;Dmm 为非序列场追迹设置合适的通道
x&0vKo; P-9<YN RsYU59_Y
&Y }N|q- <_7*67{ VirtualLab Fusion技术 BqT y~{)+ N0r16# -g