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1Ev+':% slmxit 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
N7jRdT2k% =J'?>-B 建模任务 &4%J35~
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dDuA%V0 |zT0g]WH 观测倾斜平面 z$V8<&q
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G_<[sMC8 =dw1Q 观测柱面 dB,#`tc=,
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*u>\&`h= 4Qo1f5>N VirtualLab Fusion的工作流程 4a |Fx 设置输入场
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\W0ZH \xZBu" 使用表面构造真实元件
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