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E+z18Lf? gfm;xT/y 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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/b 建模任务 xg} ug[
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qOi5WX6F/ XVF^,Yf 观测倾斜平面 zP&q7 t;>
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's.~$ MRs,l' 观测柱面 74_xR
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O3Uh+gKQ qg4fR' i 观测球面 YjLe(+WQ
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sAYV)w3u" 7)J6/(' 走进VirtualLab Fusion {zP#woz2Q
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i3PKqlp. 5V @&o`!=h VirtualLab Fusion的工作流程 %iJ|H(P 设置输入场
vCb]%sd-U W2eAhz& 使用表面构造真实元件
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rN"Xz 定义元件的位置和方向
Pz@/|&] 8QF2^*RZ7z 为非序列场追迹设置合适的通道
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k|FSz#Y 62kb2C VirtualLab Fusion技术 %LQ/q3?_ -=)-s m'