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</3Shq EbZRU65J}O 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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$ 建模任务 a;jXMR
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![YLY&}s sDL@e33Yb 观测倾斜平面 .{%~4$yu7
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{%.FIw k ^tc2?T 观测柱面 mojD
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Fsv:SL+5 ?&W1lYY 观测球面 K<'L7>s3lA
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P#H|at 28>PmH]7 走进VirtualLab Fusion m`l3@Z
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WDc2Qt <8nl}^d5 VirtualLab Fusion的工作流程 {Hxvt~P 设置输入场
iTJSW Ta^l1]9.* 使用表面构造真实元件
E#?*6/ teh$W<C 定义元件的位置和方向
m2{3j[ q|,cMPS3 为非序列场追迹设置合适的通道
gU1E6V-Jm \lwYDPY: <+ 0cQq=2
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=sq ov>Rvy VirtualLab Fusion技术 EooQLZ e]R`B}vO