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(V#*}eGy #E@X'jwu 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
K"g`,G6S GFgh{'| 建模任务 >on' y+
Zie t-@}
gbN@EJ f^ 6da6Z 观测倾斜平面 MTeCmFe0;
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GE |P )VO `g:bvIV5x> 观测柱面 Q7SRf$4
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"Sd2VSLg BnIZ+fg= 观测球面 `&>CK`%Xu
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(R2@ 走进VirtualLab Fusion 07A2@dx
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?Fj>7 @-Ln* 3n VirtualLab Fusion的工作流程 DK }1T 设置输入场
)*_n/^m j8{,u6w)- 使用表面构造真实元件
{b90c'8?a d> L*2 g 定义元件的位置和方向
=.f<"P51k b'TkYa^ 为非序列场追迹设置合适的通道
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AX2On}&bf -'Y@yIb VirtualLab Fusion技术 h,)UB1 OQa;EBO