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c:hK$C)T EbK0j? 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
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VxO$A, +wfVL|.Wq 观测倾斜平面 ]\c,BWC@e
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v;2CU L'A)6^d@S 走进VirtualLab Fusion dF@)M
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^4>k%d `dkV_ O0 VirtualLab Fusion的工作流程 #bnb': f 设置输入场
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dV\ B 使用表面构造真实元件
On_@HQ/FI blt'={Z?.x 定义元件的位置和方向
x?,9_va] kuMKX`_ 为非序列场追迹设置合适的通道
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eEw.'B IyUdZ,ba VirtualLab Fusion技术 OM83S|1s hf<J
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