IEI&PRD
M~Er6Zg 1:u~T@;" ` 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
X]\; f J'L6^-gV 建模任务 \`-xxhb?e
"tDB[?
B&EUvY ' `dl^)4J 观测倾斜平面 a\B?J
`nc=@" 1
CE|
*&G f Avh!g 观测柱面 'I>geW?{QK
V,?])=Ax
'mF&`BN}b 6J cXhlB` 观测球面 @Yw42`>!s
_b *gg
*fLVzYpo R(f%*S4 走进VirtualLab Fusion {Wr5F9q
k[*> nE
k?
,/om1 X8~?uroq VirtualLab Fusion的工作流程 SF"r</c[ 设置输入场
A+fXt`YNM r*FAUb`bG 使用表面构造真实元件
#;;A~d:V "wxyY^" 定义元件的位置和方向
_! ?a9 { /
,?3 为非序列场追迹设置合适的通道
V%`\x\Xat 3XncEdy_ 2cZgG^
`y{[e j {c<cSrfI VirtualLab Fusion技术 "DX2Mu= iRV=I,