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+Il=gL1 -4]6tt'G 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
dw-r}Qioe ^o 5q- ;a 建模任务 !>tXib]:
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,P|PPx%@ ?aCR>AY5X 观测倾斜平面 A9#2.5
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"hvw2lyp3 .28*vkH%C= 观测柱面 'e*C^(6
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0KZ 3h|4lP EW`3h9v~ 观测球面 (xTHin$
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LF0~H}S;6B _RmrjDk 走进VirtualLab Fusion k5($b{
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+$-a:zx`l 4MIVlg9 VirtualLab Fusion的工作流程 Np<Aak 设置输入场
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E 使用表面构造真实元件
\ Q6Ip@? ':,LZ A8A 定义元件的位置和方向
wFvilF
V mVkn~LD:0 为非序列场追迹设置合适的通道
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~ce.&C7cR 1/i| VirtualLab Fusion技术 TKE)NIa _:gV7>S?