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    [技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-31
     fW~r%u .y  
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    斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器,常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术,我们建立了斐索干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 w!,~#hbt6  
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    建模任务 ~2@+#1[g8z  
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    观测倾斜平面 y!&6"l$K]  
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    观测柱面 N_(qMW  
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    观测球面 uDvZ]Q|.  
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    走进VirtualLab Fusion J5e  
    #\3(rzQVO  
    OPOL-2<wiy  
         MKzIY:u g  
    VirtualLab Fusion的工作流程 21Mr2-#z  
     设置输入场 m<qPj"g~L  
    n`gW&5,,z  
     使用表面构造真实元件 , 7-@eZ  
    Kq& b1x  
     定义元件的位置和方向 YaU)66=u  
    %ub\+~  
     为非序列场追迹设置合适的通道 qp$Td<'Y  
    NrA?^F  
    V| 9<*  
    m%au* 0p  
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    VirtualLab Fusion技术 !o+[L  
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