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J'^H@L/E [tYly`F 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
(t'hWS )6U&^9= 建模任务 K6<@DP+/
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{~NiGHY u&Q2/Y 观测倾斜平面 S^nshQI
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-o c@$*t |uo<<-\jTO 观测柱面 /V@~Vlww
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w@&g9e6E Z)E[Bv= 观测球面 yZ?|u57
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BR\3ij H9'Y` -r 走进VirtualLab Fusion uNnx
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/ J 3 (p4|,\+ VirtualLab Fusion的工作流程 u&MlWKCi 设置输入场
DY2r6bcn` 5!WQ 使用表面构造真实元件
#$q~ZKB J9s4lsea 定义元件的位置和方向
eu!B
, -h=K]Y{` 为非序列场追迹设置合适的通道
2c?-_OCy; 8@`"Zz M $`7cs}#
DRS68^ o$dnp`E VirtualLab Fusion技术 IIC1T{D}v k-5Enbkr