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F0o18k_" hGaYQgGq 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
iR4,$Nn> OkO@BWL 建模任务 9BgQoK@
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RWEgUDX^/ 5E!|on 观测柱面 5tbiNm^X
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=*O9)$b @o-evH;G 观测球面 i~M.F=I5
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l.t. ,: ?)ZLxLV:: 走进VirtualLab Fusion rBL_]\$7}
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MJk:s[o {N8rZ [Oo VirtualLab Fusion的工作流程 lVKF^-i 设置输入场
>5YYij5Aj d`rDEa 使用表面构造真实元件
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`rt" 定义元件的位置和方向
cVt$#A) 9H Bx[2& 为非序列场追迹设置合适的通道
SZ1pf#w! CX@HG)l eXtF[0f
)I1V2k$n :Y&W)V- VirtualLab Fusion技术 Zi '8~iEH n ;fTx