n7,LfO#
#RWmP$+#= &&TAX 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
hOr4C4 >$_@p(w 建模任务 WjF#YW\
tREC)+*\
VcORRUp %!V =noo 观测倾斜平面 T%@qlEmf
gjP bhY=C[
f=Kt[|%'e 43/!pW 观测柱面 dRXdV7-!
otJHcGv
Rqun}v} }EJ'tio] 观测球面 ~uw eBp~O
Wq/0 }W.
&` weW M%N_4j. 走进VirtualLab Fusion r&O:Bt}x
FSyeDC^@
Wf9K+my p&cJo<]=LE VirtualLab Fusion的工作流程 `l<pH<F 设置输入场
{>zQW{! ^Z G 3{> 使用表面构造真实元件
Qh,Dcg2ZM" G/?j$T 定义元件的位置和方向
j(`V&S I.'sK9\Zp 为非序列场追迹设置合适的通道
KL+, [M@ F Y%YPR=j~ & zXT[}J VV
]tO9< a+p_47 xa VirtualLab Fusion技术 ?KXgG'!! 82~ZPZG