m!4ndO;0vh
uK#4(eY=W "Hb"F?Yb 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
7he,?T)vD
(GuzN 建模任务 5k3n\sqZA
BNl5!X^{
HU}7zK2 1onM j 观测倾斜平面 ^f
&XQQY
:O?MSS;~
pb?c$n$u* Zq|I,l0+E 观测柱面 FQ2
*{@Nq=fE
)uIe&B
Xy&A~F 观测球面 }bpQq6ZF
el<s8:lA
9J*\T(W mpEK (p 走进VirtualLab Fusion $s c
N/'b$m5=
S
OU(8V^. i2U{GV<K-r VirtualLab Fusion的工作流程 v
~?qz5:K~ 设置输入场
cLJ$M`e C12Fl 使用表面构造真实元件
|&nS|2.' &yTqZ*Yuk 定义元件的位置和方向
| '8Nh '8.r-`l( 为非序列场追迹设置合适的通道
+nhLIO{{L o>i4CCU+ /cdC'g
R)(T^V`{ V)-+Fd,= VirtualLab Fusion技术 V`d,qn)i j'<<4.(