[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

 |LcN_,}6  
G-Sw`HHo  
I=D`:u\H  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 H[*.Jd  
5ii`!y  
建模任务 NrgN{6u;  
AQbbIngo  
*Mg=IEu-6[  
Vd)iv\a  
观测倾斜平面 NqkRR$O  
6}L[7~1  
Zul]ekv  
"%A/bv\u  
观测柱面 zO9$fU  
6.Ef
M^[  
>pv~$  
j &,vju  
观测球面 gEO#-tMjOQ  
 3i?{E^  
6IPhy.8  

kkyn>Wxv  
走进VirtualLab Fusion 6%U1%
;  
I =qd\  
@-kzSm  
     G&/}P$  
VirtualLab Fusion的工作流程 Z:,HB]&;9  
 设置输入场 ;
#EB0TK  
}}cVPB7  
 使用表面构造真实元件 9V.)=*0hp  
uEVRk9nb  
 定义元件的位置和方向 q0`Vw%  
mXz-#Go(  
 为非序列场追迹设置合适的通道 .#5<ZAh/?  
Rk"VFe
>r  
]B3 0d  
=H>rX 2k  
     K\IS"b3X  
VirtualLab Fusion技术 lr+Kwve  
E0ud<'3<