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>H5_,A}f kx%\Cz 斐索
干涉仪是工业上常用的一种
光学测量
仪器,常用于高
精度的光学表面质量检测。利用
VirtualLab Fusion的非
序列追迹技术,我们建立了斐索
干涉仪,并将其用于测试不同的光学表面,如柱面和球面,可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。
':|E$@$W G:!3X) b 建模任务 # AH gY.
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U!jRF Mw`S.M. B 观测倾斜平面 X`C ozyYuD
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mKJO?7tj 0DaKd<Scv 观测柱面 0.wNa~_G|
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W'PW;., [:/mjO K 观测球面 5Mp$u756
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)TcD-Jr 7O~hA*Z 走进VirtualLab Fusion A
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^Wm03w VirtualLab Fusion的工作流程 N97WI+` 设置输入场
Bxf&gDwjgr RgD:"zeM 使用表面构造真实元件
*|,ye5" K_Kz8qV.? 定义元件的位置和方向
bSW~hyI w x|*m ok 为非序列场追迹设置合适的通道
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*iUR1V Y _z@_.%P\ VirtualLab Fusion技术 m[%P3 :m0pm@