[技术]用于光学检测的斐索干涉仪 [复制链接]

 $YL}rM  
+}z T][9w  
,{YC|uB  
斐索干涉仪是工业上常用的一种光学测量仪器，常用于高精度的光学表面质量检测。利用VirtualLab Fusion的非序列追迹技术，我们建立了斐索干涉仪，并将其用于测试不同的光学表面，如柱面和球面，可以发现由此产生的干涉条纹对表面轮廓很敏感。 4yjAi@ /2  
C$rZn%dp(  
建模任务 H2|w  
>oLM2VJ  
j^:\a\-1  
@p}H@#/u\  
观测倾斜平面 {"s9A&  
u;y1leG  
TS@EE&Wq  
D*_ F@}=  
观测柱面 vO <;Gnh~  
bQ_i&t\yzB  
Rm6<"SLV  
Cc9<ABv?  
观测球面 +Hv%m8'0|  
vR#A7y @!  
^oaG.)3  
<g,xc)[  
走进VirtualLab Fusion 4dl?US[-  
cLJ|VD7  
4AUY8Pxp  
     4 YI,:  
VirtualLab Fusion的工作流程 |yw-H2k1  
 设置输入场 )FE'#\  
|+ @  
 使用表面构造真实元件 W9.ZhpM  
)p ,-TtV  
 定义元件的位置和方向 B*K%&w10~  
pHKj*Y  
 为非序列场追迹设置合适的通道 _d)w, ;m#  
IjD: hR@
 
#_4L/LV  
!0E$9Xon  
     C$M^<z  
VirtualLab Fusion技术 p8o%H-Xk
 
EGU?54