与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
YG)7+94 +ZV?yR2yn
7|Iq4@IT Ih;D-^RQ 设计任务 /Ao.b|mm
6UuM`eu
~q}]/0-m Ri}JM3\J 仅位相透射设计(IFTA) }:1qK67S
Vg
mYm~y'
9WHarv2 @ 2P{! n#" 仅位相透射设计(IFTA) o =F!&]+
w( ic$
vkW;qt}yO $N|Spp0 超表面晶胞分析 RER93:(
?}jjBJ&
q~X}&}UT zOJzQZ~ 构建超光栅 db3.X~Cn#s
2%MS$Fto
RhE|0N= g%D.sc)69 初始超表面设计的评估 APU~y5vG (
SL_JA
SL<EZn0F9 =S\pI 参数优化 Hq,NOP
'o7V6KG
0.1?hb|p5T wB<