与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
%Y#W#G ;F%EW`7
xi,fm bYhG`1,$-a 设计任务 n^qwE
e iH&<AH
Abmi=]\bx ^aJ]|*m 仅位相透射设计(IFTA) vGJw/ij'X
`GY]JVW
vs$.i /=#~8 仅位相透射设计(IFTA) l;aO"_E1m
aDLlL?r3
%7\l+g, i"DyXIrk2 超表面晶胞分析 6y?uH;SL
0d~?|Nv -
E2.!|u2 5yV>-XT+- 构建超光栅 HuSE6an
?f:0GE7
[z;}^ 3b 1guiuR4 初始超表面设计的评估 7g o Rj
4QiV@#o:
*|L;&XM&/ *9F{+)A 参数优化 hHOx ]
F6+4Yy+
rJ6N'vw> &wkbr2P 优化超光栅设计的评估 ,^v_gc
<{Rz1CMc
K}whqe]j )7E7K%:b, 走进VirtualLab tgeXX1Eq!
UhU+vy6)/
+j8-l-o KYg'=({x VirtualLab Fusion的工作流程 rC/z8m3z 分析超表面晶胞
AuB BSk8($ RO'b)J:j9 构造超光栅
c47.,oTo 分析光栅衍射效率
wwa)VgoS[ ^O"o-3dte 光栅
结构参数优化
pYUQSsqC iWe'|Br
wo86C[ 1wggYX VirtualLab Fusion技术 w(y
9y9r] $TAsb>W!(
S1i~r+jf