与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
9`? M-U 8U4In[4
!4 lN[ X\i;j!;d 设计任务 @ `mke4>_
"<%J^Z9G
FN (O 6':Egh[; 仅位相透射设计(IFTA) pF8+<
T3y
3preBs#i
Dca,IaT' Y]uVA`%"b 仅位相透射设计(IFTA) *X}2
M-q5Jfm
aygK$.wos !$!%era` 超表面晶胞分析 ]<c\+9
^\Q%VTM
%Nob B g-NrxyTBlx 构建超光栅 pK"Z9y&
_={mKKoHs
\=&Z_6Mu =qL^#h83y 初始超表面设计的评估 T7O)
G-;EB
RZ ?SiwE _#{qDG= 参数优化 3SPXJa\i
dxtG3
XV`8Vb "}H2dn2n 优化超光栅设计的评估 8s-X H
, q{~lf-
*~b~y7C B7.&yXWgn 走进VirtualLab <E^;RG
xe3Jxo!U
Rtl1eJ- ZA@zs,o% VirtualLab Fusion的工作流程 2 &_>2"=<@ 分析超表面晶胞
yx ;K&> "QD>:G;u 构造超光栅
~@[<y1g?nG 分析光栅衍射效率
uss!E!_%,
:m/qR74+" 光栅
结构参数优化
GJHJ?^% p1mAoVxR
=wD&hDn4 :_,3")-v VirtualLab Fusion技术 y|3("&)"S kX:1=+{xg
Pj{I}4P`