与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
Fe8JsB- S |SN3)
hT :+x3 -"J6|Y#8 设计任务 0ox
8_l
~3k& =3d]
W_k;jy_{9 52+;j[ ]/O 仅位相透射设计(IFTA) e.pm`%5bO
R?aE:\A
6u-@_/O5R3 QoZ7l]^ 仅位相透射设计(IFTA) K:PzR,nn
08)X:@ w?
jG($:>3a@ l#7].-/ 超表面晶胞分析 z@!z Q Vp
`J*~B
|$[WnYP ]y&w