与传统
光栅相比,尤其是在非傍轴情况下,超光栅具有优势。在此示例中,我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维(2D)超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成,并且在
VirtualLab Fusion中,我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且,我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
A)`M*(~ xFpJ#S&
r5s*"z xPb`CY7 设计任务 X='4N<
@&EP&
$*
\ g0 ;nh7Elk 仅位相透射设计(IFTA) Q| xPm:
?C $_?Qi
6b]vHT|p ||!k 3t#< 仅位相透射设计(IFTA) X;6X
K$"
GbL,k?ey
7gJy xQ GGLVv) 超表面晶胞分析 wkIH<w|jb
UyF]gO
lcUL7
Pt1Htt:BE 构建超光栅 L1D%vu`
a(J~:wgd
H>Fy 2w q g%<>B&" 初始超表面设计的评估 .d8~]@U!<
h[lh01z
"arbUX~d ](a<b@p 参数优化 ^T<<F}@q
_C*}14
"3
XDI@mQmzB Fe/*U4xU 优化超光栅设计的评估 ;XTP^W!6f
Pd@?(WQ
|H
|ewVUY EL+}ab2S 走进VirtualLab n=yFw\w'
4)"jg[
"urQUpF /sYD+*a VirtualLab Fusion的工作流程 ].Et&v 分析超表面晶胞
=UYc~VUYnT U~T/f-CT 构造超光栅
f-23.]`v 分析光栅衍射效率
Qb SX'mx< +1cK (Si 光栅
结构参数优化
:ox+WY N}^\$sVu_
r<~1:/F|
,ur_n7+LH VirtualLab Fusion技术 mk0rAN hx:x5L>
5X[=Q>