与传统
光栅相比，尤其是在非傍轴情况下，超光栅具有优势。在此示例中，我们设计了一个将入射
光束分成3x3光束的二维（2D）超光栅。超光栅由圆形
纳米柱构成，并且在
VirtualLab Fusion中，我们使用FMM / RCWA评估超光栅的
衍射效率。 并且，我们展示了如何使用
参数优化工具来提高衍射效率的均匀性。
O +o%C*`K s^t1PfP(, 
]>4Qs 5 EuJ 设计任务 3F'dT[;
@[b:([
MqBATW.pmJ 7n 95>as 仅位相透射设计（IFTA） y yR8VO{
x5 ~E'~_
\HQb#f, "A1yqK 仅位相透射设计（IFTA） cf!k
9x9Z
3Q~&xNf
VUv.Tx]Z[ K<w5[E9V. 超表面晶胞分析 |AfQ_iT6c
?{z$ { bD
z57papo 0?Wf\7 构建超光栅 i|,A1c"*
0o=)&%G
4qz{ D"M OK J%M]< 初始超表面设计的评估 %y7wF'_Y
kJeOlO[
5)v^
cR?& K ':pU1 参数优化 f -nC+
%dU'$)
7%}3Ghc% ,L:)ZZgN 优化超光栅设计的评估 +}0*_VW
:(p
rx
[}>6n72gNh +2 o|#`)i 走进VirtualLab m.a1
lKwT5ma7
@Be: +01z !X < n:J VirtualLab Fusion的工作流程 !skiD}zd1 分析超表面晶胞
hPpXB:(-0 S^VV^O5 ^ 构造超光栅
QIV~)`; 分析光栅衍射效率
GXK?7S0H 3M*[a~ 光栅
结构参数优化
oNsx Fi: ^k< $N 
p2vUt (a!,) VirtualLab Fusion技术 mT~>4xi0 w&cyGd D5 
f4I9H0d;!
