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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 RFPcH8-u7  
    wZVLpF+7  
    !P3y+;S  
    Jl<pWjkZZ  
    建模任务 P9W?sPnC5  
    5mX^{V&^  
    WO6R04+WV  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) E24j(>   
         k$GtzjN  
    某一位置的Talbot图样 p'A43  
    D$+g5u)  
    3L36 2  
       jq%}=-%KE  
    某一位置的Talbot图样 ~OWpk)Vq  
    m d `=2l  
    f@2F!  
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    不同位置的Talbot图样 Ehxu`>@N  
    %aV~RB#  
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    不同位置的Talbot图样 nok-![  
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    I4KE@H"%7  
    v#EFklOP  
    沿Z轴的强度 OZA^L;#>  
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    走进VirtualLab Fusion `Tei  
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         t)= dKC  
    VirtualLab Fusion的工作流程 M2\c0^R  
    F]fXS-@ c  
     构建光栅结构 P| hwLM  
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    ~nb(e$?N  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 `:C2Cj  
    =k>fW7e  
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    VirtualLab Fusion技术 bDm7$ (  
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