[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 xLoQ0rt 6  
iD_y@+iz  
YFB>GQ;  
V)/J2-w  
建模任务 fy"}# 2  
ySO\9#Ho  
7mMGH(  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) &Z]}rn  
     ~>=.^  
某一位置的Talbot图样 65~E<)UJ  
NC-K`)  
5<ruN11G  
   >{Hg+
/  
某一位置的Talbot图样 >bZ-mX)j\0  
&F~d~;G"q  
kpn|C 9r  
8Zsaq1S  
不同位置的Talbot图样 sS}:Od  
wX]$xZ!s  
*%KIq/V  
63u%=-T%a  
不同位置的Talbot图样 Q+ 
V<&  
v~
L\[&|_  
JnBc@qnP6  
.i4aM;Qy  
沿Z轴的强度 `~u=[}w  
}bS1M  
I&La0g_E  
Ex p?x  
走进VirtualLab Fusion o1(;"5MM  
VR>!Ch  
Ie^Ed`  
     'M"z3j]m-,  
VirtualLab Fusion的工作流程 ?(=|!`IoO  
apa&'%7  
 构建光栅结构 q\o#<'F1J  
$oQOOa@;i)  
Zwc&4:5%  
     tz;o6,eb  
 通过参数运行计算不同位置的强度 u5}:[4N%I  
\T_ZcV  
     w
ea  
-6- sI  
     u9S*2'  
VirtualLab Fusion技术 [
l5jPL}6  
ESV./~K