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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 \TnK<83  
    qsN_EMgbdn  
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    建模任务 k^cnNx  
    T,Q7 YI  
    K6)IBV;  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) U#sv.r/L}3  
         ( Rp5g}b  
    某一位置的Talbot图样 p2fzbBt  
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    某一位置的Talbot图样 O<mA+yk  
    Eh|6{LDn!  
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    O*N:.|dUw  
    不同位置的Talbot图样 EM1HwapD  
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    不同位置的Talbot图样 FPZ@6  
    V$iA3)7W%  
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    沿Z轴的强度 |%rRALIY  
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    走进VirtualLab Fusion +# !?+'A  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 U[q39FR  
    u@+^lRGFh  
     构建光栅结构 }dqOE-"I"n  
    U+(qfa5(  
    *IF ~ab2  
         *+2BZ ZwT  
     通过参数运行计算不同位置的强度 '!4\H"t  
    unnuSW#v=  
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    h CV(O2jL  
         sebuuL.l0<  
    VirtualLab Fusion技术 1-<?EOYaE  
    Wh"xt:  
     
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