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    [技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2022-10-20
    在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 ClZ:#uMbN  
    aD)XxXwozm  
    VQA}!p  
    x|C[yu^c  
    建模任务 (s`oJLW>  
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    MR:GH.uM:  
        结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <Th) &  
         d67Q@ ')00  
    某一位置的Talbot图样 k+Ew+j1_  
    n/*BK;  
    v[4A_WjT  
       Zq wxi1  
    某一位置的Talbot图样 FgA'X<  
    uLFnuK  
    TTB1}j+V6  
    IO/%X;Y_  
    不同位置的Talbot图样 +|6 '7Z(9  
    [4Tiukk(  
    UykOQ-2-n  
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    不同位置的Talbot图样 ACQbw)tiv}  
    #m 2Ss  
    i"|="O0v5  
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    沿Z轴的强度 R7axm<PR=  
    Ut"~I)S{LT  
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    Lbb{z  
    走进VirtualLab Fusion dMkDNaH,  
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         0sxZa+G0o  
    VirtualLab Fusion的工作流程 bpq2TgFj  
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     构建光栅结构 *5KV DOd  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 j TVh`d< N  
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         ;uw`6 KJ  
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    VirtualLab Fusion技术 gcLwQ-  
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