[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 WJTc/  
":!1gC  
Xf{ht%b  
J;*2[o.N  
建模任务 k
7kPeq  
g#l
MT%  
vlC$0P  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) h!J|4Qa  
     Aaug0X  
某一位置的Talbot图样 C8
KV<k  
%:N;+
1  
t03T1.:(Mg  
   UK5u"@T  
某一位置的Talbot图样 6Z<|L^  
oer3DD(  
FBeo@  
6%Pvh- ~_  
不同位置的Talbot图样 e/b | sl  
p]rV\,Yss  
3?Fe(!@  
G * =>  
不同位置的Talbot图样 3}5Ya\x  
*r)dtI*  
,wZq~;2  
N{H#j6QW  
沿Z轴的强度 "Pl.G[Buc-  
tQE<'94A  
 PckAL  
HdRwDW@7=  
走进VirtualLab Fusion -ND1+`yD  
/^$n&gI  
xg;vQKS6  
     J\hqK*/8  
VirtualLab Fusion的工作流程 qRL45[ K  
|]eWO#vs  
 构建光栅结构 ]JQ}9"p=5  
r0s(MyI  
DfX~}km  
     }b^x#HC  
 通过参数运行计算不同位置的强度 1L%$\0B4hm  
#xw3a<z?u  
     7LsVlT[  
q;.LK8M  
     ,V[|c$
 
VirtualLab Fusion技术 S59^$  
 \|C*b<