[技术]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 oT*qMLdn  
Cn.x:I@r  
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mH9_HK.C  
建模任务 L)3JTNiB  
HB9|AQ4K  
J'@`+veE  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) en-HX3'  
     cc:,,T/i  
某一位置的Talbot图样 TSUT3'&~p  
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LIfYpn6  
   kGW4kuh)/q  
某一位置的Talbot图样 UJk/Lxv  
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不同位置的Talbot图样 o$k9$H>Na  
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不同位置的Talbot图样 Kd;)E 9Ti  
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沿Z轴的强度 #9(L/)^  
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走进VirtualLab Fusion HD153M,  
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VirtualLab Fusion的工作流程 E{xcu9  
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 构建光栅结构 l1eF&wNC  
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 通过参数运行计算不同位置的强度 Z^O_7I<5E  
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VirtualLab Fusion技术 BTDUT%Yfg  
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